【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉导流筒
本专利技术涉及单晶体制备领域，具体涉及一种单晶炉导流筒。
技术介绍
当前，单晶炉导流筒普遍由石墨制成，并分为内外两层。它在单晶硅棒拉制过程中，起着高温气体导流的作用，这既要求其具有良好的耐热性能和力学性能，又要求它具有一定的保温性能，以保持导流筒内单晶硅棒区与熔融的多晶硅液区的温差。但是，由于石墨本身的强度较低，其抗折强度约为13MPa左右，在导流过程中，外层导流筒极有可能发生断裂坠埚现象，这就会导致埚内的原料硅液报废，并影响直拉生产的继续进行，从而产生极大的浪费。
技术实现思路
本专利技术针对现有技术的不足之处，提供一种单晶炉导流筒。本专利技术解决现有技术问题的方案是：一种单晶炉导流筒，包括外筒、内筒，所述内筒上设有凸起，外筒上设有凹槽。上述方案的优选，所述的外筒、内同为圆台形。上述方案的优选，所述的外筒底部直径小于顶部直径。上述方案的优选，所述的内筒底部直径小于顶部直径。上述方案的优选，所述的凸起与内筒采用焊接结构。上述方案的优选，所述的凹槽与内筒采用焊接结构。上述方案的优选，所述凸起和凹槽通过嵌合方式连接。上述方案的优选，所述凸起的长度大于凹槽的长度。采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本专利技术在内外层导流筒上分别设有凸起和凹槽，凸起和凹槽通过嵌合方式连接，当外层导流筒发生断裂时，其凹槽可以咬住内层导流筒的凸起，从而避免坠埚，保证原料硅液不受污染以及直拉生产的继续进行。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；图2是本专利技术的外层导流筒的结构示意图；图3是本专利技术的内层导流筒的结构示意图；图中：1、外筒；2、内筒；3、凹槽；4、凸起...
【技术保护点】
1.一种单晶炉导流筒，包括外筒、内筒，其特征在于：所述内筒上设有凸起，外筒上设有凹槽。
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉导流筒，包括外筒、内筒，其特征在于：所述内筒上设有凸起，外筒上设有凹槽。2.如权利要求1所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述的外筒、内同为圆台形。3.如权利要求1，2所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述的外筒底部直径小于顶部直径。4.如权利要求1，2所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述的内筒底部直径小于顶...
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