一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉，包括炉体，所述炉体的上表面设置有冷凝水注入口，且炉体的上表面靠近冷凝水注入口一侧位置处设置有冷凝水排出口，所述炉体的外部安装有防护装置，且炉体的外部靠近防护装置下方位置处设置有限位块，本实用新型专利技术中底座和干燥剂的设置，增加了炉体放置时的稳定性，使得炉体底部处于干燥的环境中，避免潮湿环境的因素而锈蚀，具备良好的保护性；冷凝水注入口和冷凝水排出口的设置，能够对炉体进行快速降温，提高了炉体的使用寿命；防护装置的设置，能够对炉体进行防护，避免工作时炉体对人员造成烫伤，还可以对炉体进行保护，该单晶炉设计合理，操作简单，消耗成本低，便于推广。

【技术实现步骤摘要】
一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉
：本技术涉及单晶炉领域，具体是一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉。
技术介绍
：单晶硅生长炉是通过直拉法生产单晶硅的制造设备，主要由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成，单晶硅的工作方式为：首先，把高纯度的多晶硅原料放入高纯石英坩埚，通过石墨加热器产生的高温将其熔化；然后，对熔化的硅液稍做降温，使之产生一定的过冷度，再用一根固定在籽晶轴上的硅单晶体(称作籽晶)插入熔体表面，待籽晶与熔体熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶体便会在籽晶下端生长；接着，控制籽晶生长出一段长为100mm左右、直径为3～5mm的细颈，用于消除高温溶液对籽晶的强烈热冲击而产生的原子排列的位错，这个过程就是引晶；随后，放大晶体直径到工艺要求的大小，一般为75～300mm，这个过程称为放肩；接着，突然提高拉速进行转肩操作，使肩部近似直角；然后，进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体；最后，待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，称为收尾工艺，这样一个单晶拉制过程就基本完成，进行一定的保温冷却后就可以取出。中国专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉，包括炉体(1)，其特征在于，所述炉体(1)的上表面设置有冷凝水注入口(2)，且炉体(1)的上表面靠近冷凝水注入口(2)一侧位置处设置有冷凝水排出口(3)，所述炉体(1)的外部安装有防护装置(4)，且炉体(1)的外部靠近防护装置(4)下方位置处设置有限位块(5)，所述炉体(1)的下方安装有底座(6)，所述炉体(1)的内部设置有内胆(7)，且炉体(1)与内胆(7)之间设置有保温层(8)，所述底座(6)的内壁上开设有限位槽(9)，且底座(6)的内部放置有干燥剂(10)。

【技术特征摘要】
1.一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉，包括炉体(1)，其特征在于，所述炉体(1)的上表面设置有冷凝水注入口(2)，且炉体(1)的上表面靠近冷凝水注入口(2)一侧位置处设置有冷凝水排出口(3)，所述炉体(1)的外部安装有防护装置(4)，且炉体(1)的外部靠近防护装置(4)下方位置处设置有限位块(5)，所述炉体(1)的下方安装有底座(6)，所述炉体(1)的内部设置有内胆(7)，且炉体(1)与内胆(7)之间设置有保温层(8)，所述底座(6)的内壁上开设有限位槽(9)，且底座(6)的内部放置有干燥剂(10)。2.根据权利要求1所述的一种用于生产单晶硅棒的直拉式硅单晶炉，其特征在于，所述防护装置(4)包括第一卡箍(41)、第二卡箍(42)、弹簧(43)、防护板(44)和固定螺栓(45)，所述防护装置(4)内部安装有第一卡箍(41)，所述第一卡箍(41)的一侧安装有第二卡箍(42)，且第一卡箍(41)的一侧连接有弹簧(43)，所述弹簧(43)的一侧安装有防护板(44)，所述第二卡箍(42...

【专利技术属性】
技术研发人员：贠书印，罗园，陶建涛，高贻刚，李婷，
申请(专利权)人：内蒙古赛宝伦科技有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古,15