【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶炉的热场
本专利技术涉及单晶炉
,具体的涉及一种用于单晶炉的热场。
技术介绍
目前,单晶80炉内一般使用的是18寸的热场,热场内的三瓣埚内径尺寸一般为57mm,最大装料量单晶炉一次55kg。而随着生产水平的提高,对生产设备的需求也在不断加大,所以现有的单晶80炉不仅容量不能满足生产需求,而且生产成本高,不能灵活地适应市场需求。
技术实现思路
本专利技术在坩埚内设置有搅拌装置,通过搅拌装置把坩埚内底层的原料翻转至上方,使坩埚内所有的原料都能够得到充分的加热,提高了热场的工作效率,而提供一种用于单晶炉的热场。为解决上述的技术问题,本专利技术提供了一种用于单晶炉的热场,其特征在于:包括炉体、加热套筒和坩埚,所述的炉体的底部设置有支撑脚,所述的炉体的顶部安装有密封盖,所述的炉体内设置有分隔板,所述的分隔板将炉体1的内部空间分隔成上下两层,其中上层为加热室,下层为燃烧室,所述的加热套筒安装在加热室内,所述的坩埚通过高度调节机构连接在加热套筒内,分隔板的底部安装有抽风机,所述的抽风机通过送风管与加热套筒的内部空间相连通,所述的坩埚内还设置有搅拌装置。进一步:所述的搅拌装置包括伺服电机、搅拌轴、连接筒和搅拌框架,所述的搅拌轴转动连接在坩埚内,所述的伺服电机安装在坩埚的外壁上,伺服电机的出轴端伸入至坩埚内并与搅拌轴相连,所述的搅拌框架通过连接筒连接在搅拌轴上。又进一步:所述的加热套筒的内壁上嵌入式地连接有电加热管。又进一步:所述的炉体1上端的侧壁上连接有热气回收管道,所述的热气回收管道的一端与加热室相连通,所述的炉体内壁内还开设有空腔,所述的热气回收管道的另 ...
【技术保护点】
1.一种用于单晶炉的热场,其特征在于:包括炉体、加热套筒和坩埚,所述的炉体的底部设置有支撑脚,所述的炉体的顶部安装有密封盖,所述的炉体内设置有分隔板,所述的分隔板将炉体1的内部空间分隔成上下两层,其中上层为加热室,下层为燃烧室,所述的加热套筒安装在加热室内,所述的坩埚通过高度调节机构连接在加热套筒内,分隔板的底部安装有抽风机,所述的抽风机通过送风管与加热套筒的内部空间相连通,所述的坩埚内还设置有搅拌装置。
【技术特征摘要】
1.一种用于单晶炉的热场,其特征在于:包括炉体、加热套筒和坩埚,所述的炉体的底部设置有支撑脚,所述的炉体的顶部安装有密封盖,所述的炉体内设置有分隔板,所述的分隔板将炉体1的内部空间分隔成上下两层,其中上层为加热室,下层为燃烧室,所述的加热套筒安装在加热室内,所述的坩埚通过高度调节机构连接在加热套筒内,分隔板的底部安装有抽风机,所述的抽风机通过送风管与加热套筒的内部空间相连通,所述的坩埚内还设置有搅拌装置。2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的热场,其特征在于:所述的搅拌装置包括伺服电机、搅拌轴、连接筒和搅拌框架,所述的搅拌轴转动连接在坩埚内,所述的伺服电机安装在坩埚的外壁上,伺服电机的出轴端伸入至坩埚内并与搅拌轴相连,所述的搅拌框架通过连接筒连接在搅拌轴上。3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的热场,其特征在于:所述的加热...
【专利技术属性】
技术研发人员:耿禹恒,
申请(专利权)人:徐州振丰原喷灌设备有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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