晶圆干燥装置制造方法及图纸

该实用新型专利技术涉及一种晶圆干燥装置，包括机械臂和气体喷嘴，其中所述机械臂包括可摇摆部，且所述可摇摆部可相对于待干燥的晶圆发生摇摆；所述气体喷嘴安装于所述机械臂的可摇摆部，可加热干燥晶圆用的气体，以及朝向待干燥的晶圆喷出加热后的气体。上述晶圆干燥装置在机械臂的可摇摆部上设置气体喷嘴，使所述气体喷嘴可在摇摆时朝待干燥的晶圆喷出加热后的气体，使加热后的高温气体与待干燥的晶圆充分接触，将待干燥的晶圆表面的水渍吹干，从而消除水渍的残留，减少残留的水渍对后续工艺过程的影响，提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】
晶圆干燥装置
本技术涉及晶圆加工制造领域，尤其涉及一种晶圆干燥装置。
技术介绍
晶圆在晶边修剪过后的干燥过程是由旋转马达带动晶圆旋转，将晶圆表面的去离子水甩干的过程。采用旋转方式进行晶圆的干燥可能导致晶圆表面存在残留的水渍，对后续的工艺过程产生影响，降低产品的良品率。提供一种能够消除水渍残留、减少晶圆干燥不完全造成的对后续工艺的影响、提高产品良品率的晶圆干燥装置，是本领域亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆干燥装置，能够消除水渍残留、减少晶圆干燥不完全对后续工艺造成的影响、提高产品良品率。为解决上述技术问题，本技术提供了一种晶圆干燥装置，包括机械臂和气体喷嘴，所述机械臂包括可摇摆部，其中，所述气体喷嘴安装于所述机械臂的可摇摆部，并具有一加热单元，用于加热干燥晶圆用的气体，并将加热后的气体朝向待干燥的晶圆喷出；所述机械臂的可摇摆部驱动所述气体喷嘴相对于待干燥的晶圆摆动。可选的，所述机械臂还包括支撑臂，用于将所述晶圆干燥装置固定安装到待干燥的晶圆处；所述可摇摆部安装于所述支撑臂，由所述支撑臂支撑。可选的，所述可摇摆部包括一旋转马达，所述旋转马达用于驱动所述可摇摆部，使所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆干燥装置，其特征在于，包括机械臂和气体喷嘴，所述机械臂包括可摇摆部，其中，所述气体喷嘴安装于所述机械臂的可摇摆部，并具有一加热单元，用于加热干燥晶圆用的气体，并将加热后的气体朝向待干燥的晶圆喷出；所述机械臂的可摇摆部驱动所述气体喷嘴相对于待干燥的晶圆摆动。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆干燥装置，其特征在于，包括机械臂和气体喷嘴，所述机械臂包括可摇摆部，其中，所述气体喷嘴安装于所述机械臂的可摇摆部，并具有一加热单元，用于加热干燥晶圆用的气体，并将加热后的气体朝向待干燥的晶圆喷出；所述机械臂的可摇摆部驱动所述气体喷嘴相对于待干燥的晶圆摆动。2.根据权利要求1所述晶圆干燥装置，其特征在于，所述机械臂还包括支撑臂，用于将所述晶圆干燥装置固定安装到待干燥的晶圆处；所述可摇摆部安装于所述支撑臂，由所述支撑臂支撑。3.根据权利要求2所述晶圆干燥装置，其特征在于，所述可摇摆部包括一旋转马达，所述旋转马达用于驱动所述可摇摆部，使所述可摇摆部相对于所述支撑臂可摇摆。4.根据权利要求1所述晶圆干燥装置，其特征在于，所述气体喷嘴还包括温度传感部和温控开关部，其中所述温度传感部安装到所述加热单元，用于测量加热单元所加热的气体的温度；所述温控开关部连接到所述温度传感部与所述加热单元，用于根据所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏威，辛君，林宗贤，吴龙江，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32