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该实用新型涉及一种晶圆干燥装置，包括机械臂和气体喷嘴，其中所述机械臂包括可摇摆部，且所述可摇摆部可相对于待干燥的晶圆发生摇摆；所述气体喷嘴安装于所述机械臂的可摇摆部，可加热干燥晶圆用的气体，以及朝向待干燥的晶圆喷出加热后的气体。上述晶圆干燥...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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