真空蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种真空蒸镀设备，包括蒸镀室、坩埚组件、加热器以及机械手。所述坩埚组件位于所述蒸镀室内，所述坩埚组件包括第一埚体和多个第二埚体。所述第一埚体具有第一腔体，所述第一腔体具有第一开放端。每个所述第二埚体具有第二腔体，所述第二腔体具有第二开放端和喷口。将任一所述第二开放端可拆卸连接于所述第一开放端，以形成一坩埚。所述加热器位于所述蒸镀室内，并用于加热所述坩埚。所述机械手位于所述蒸镀室内，并用于将任一所述第二开放端与所述第一开放端拆卸或安装。本实用新型专利技术在解决堵塞时无需进行破真空处理，同时解决了疏通作业过程中坩埚下部的蒸发材料纯度降低的问题。

【技术实现步骤摘要】
真空蒸镀设备
本技术涉及真空蒸镀
，尤其涉及一种真空蒸镀设备。
技术介绍
真空镀是一种使用较早且用途较为广泛的薄膜材料制备工艺，其包括真空蒸镀、溅射镀以及离子镀等类型。其中，真空蒸镀的过程为：在真空腔中加热坩埚中的蒸发材料，并使气化的蒸发材料经过坩埚喷口到达基片表面，进而沉积形成薄膜。该过程中，如果坩埚出现加热系统问题，会使气化的蒸发材料在坩埚喷喷口冷却凝固，形成堵塞。同时，蒸发材料在凝固过程中会发生变化，降低了其纯度。为了避免堵塞对薄膜质量的影响，需要进行疏通作业。首先降低真空腔中的温度，接着对真空腔破真空，然后取出坩埚并清理堵塞，紧接着将坩埚重新置于真空腔，最后再进行抽真空和加热步骤。该过程包含一次破真空处理和一次抽真空处理，影响了蒸镀的稳定性。同时，在清理堵塞时，往往会使凝固于坩埚喷口的蒸发材料落入坩埚下部，进而混入盛放于坩埚下部的蒸发材料，降低了坩埚下部的蒸发材料的纯度。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分技术的信息仅用于加强对本技术的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空蒸镀设备，能够在解决堵塞时无需进行破真空处理，同时使凝固于坩埚喷口的纯度较低的蒸发材料难以混入盛放于坩埚下部的蒸发材料，解决了疏通作业过程中坩埚下部的蒸发材料纯度降低的问题。根据本技术的一个方面，提供一种真空蒸镀设备，包括蒸镀室、坩埚组件、加热器以及机械手。所述坩埚组件位于所述蒸镀室内，所述坩埚组件包括第一埚体和多个第二埚体。所述第一埚体具有第一腔体，所述第一腔体具有第一开放端。每个所述第二埚体具有第二腔体，所述第二腔体具有第二开放端和喷口。将任一所述第二开放端可拆卸连接于所述第一开放端，以形成一坩埚。所述加热器位于所述蒸镀室内，并用于加热所述坩埚。所述机械手位于所述蒸镀室内，并用于将任一所述第二开放端与所述第一开放端拆卸或安装。在本技术的一种示例性实施例中，形成一所述坩埚的所述第一开放端和所述第二开放端通过法兰连接。在本技术的一种示例性实施例中，形成一所述坩埚的所述第一开放端和所述第二开放端密封连接。在本技术的一种示例性实施例中，形成一所述坩埚的所述第一开放端和所述第二开放端的连接处设有密封圈。在本技术的一种示例性实施例中，所述加热器包括第一加热器和第二加热器。所述第一加热器用于加热所述第一埚体。所述第二加热器用于加热所述第二埚体。在本技术的一种示例性实施例中，所述第一加热器包括第一筒体，所述第一埚体至少部分地位于所述第一筒体内。在本技术的一种示例性实施例中，所述第二加热器包括第二筒体，所述第二埚体至少部分地位于所述第二筒体内，且所述第二筒体与所述第一筒体可拆卸连接，所述机械手还用于将所述第一筒体和所述第二筒体拆卸或安装。在本技术的一种示例性实施例中，所述第一筒体和所述第二筒体的连接端面与所述第一埚体和所述第二埚体的连接端面位于同一平面。在本技术的一种示例性实施例中，所述第一筒体和所述第二筒体通过法兰连接。在本技术的一种示例性实施例中，所述第一筒体和所述第二筒体均包括导电加热体，用于加热所述第一埚体和所述第二埚体。本技术相比现有技术的有益效果在于：本技术的坩埚组件包括第一埚体和多个第二埚体，且由于第一埚体和任一第二埚体可拆卸连接，从而在形成坩埚的第二埚体的喷口出现堵塞时可将其替换，无需进行破真空操作。同时，还避免了现有疏通作业过程中凝固的蒸发材料混入坩埚下部，解决了坩埚下部的蒸发材料纯度降低的问题。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本技术。附图说明通过参照附图来详细描述其示例性实施例，本公开的上述和其它特征及优点将变得更加明显。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：图1为现有真空蒸镀设备的示意图；图2为本技术实施方式的真空蒸镀设备的示意图；图3为本技术实施方式的坩埚的示意图；图4为本技术实施方式的坩埚与加热器的装配示意图。图中：1、气动单元连接口；2、真空室；3、坩埚；4、蒸汽流；5、基板加热器；6、基板；7、第一埚体；8、第一腔体；9、第一开放端；10、第二埚体；11、第二腔体；12、第二开放端；13、第一法兰；14、第二法兰；15、第一筒体；16、第二筒体；17、蒸发材料；18、蒸镀室；19、加热器；20、机械手。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施例使得本公开将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、材料、装置等。在其它情况下，不详细示出或描述公知技术方案以避免模糊本公开的各方面。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。用语“一个”、“一”、“该”和“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包括”、“具有”以及“设有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。如图1所示，现有的真空蒸镀设备在进行蒸镀工艺时，通过气动单元连接口1使真空室2处于真空状态，并开启基板加热器5对基板6进行加热，接着加热坩埚3中的蒸发材料，使蒸发材料形成蒸汽流4。该蒸汽流4扩散达到基板6时会沉积，进而形成薄膜。该过程中，蒸汽流4在坩埚3喷口会冷却凝固，形成堵塞，进而会影响到薄膜质量。为了避免堵塞对薄膜质量的影响，本技术实施方式提供一种真空蒸镀设备。如图2和图3所示，该真空蒸镀设备包括蒸镀室18、坩埚组件、加热器19以及机械手20。其中：坩埚组件位于所述蒸镀室18内。坩埚组件包括第一埚体7和多个第二埚体10。第一埚体7具有第一腔体8，第一腔体8具有第一开放端9。每个第二埚体10具有第二腔体11，第二腔体11具有第二开放端12和喷口。将任一第二开放端12可拆卸连接于第一开放端9，以形成一坩埚。加热器19位于蒸镀室18内，并用于加热坩埚。机械手20位于所述蒸镀室18内，并用于将任一第二开放端12与第一开放端9拆卸或安装。本技术的真空蒸镀设备的坩埚组件包括第一埚体7和多个第二埚体10，且由于第一埚体7和任一第二埚体10可拆卸连接，从而在形成坩埚的第二埚体10的喷口出现堵塞时可将其替换，无需进行破真空操作。同时，还避免了现有疏通作业过程中凝固的蒸发材料17混入坩埚下部，解决了坩埚下部的蒸发材料17纯度降低的问题。下面对本技术实施方式的蒸发源装置的坩埚的各部件进行详细说明：蒸镀室18能够为蒸发镀膜过程提供工作空间。该蒸镀室18可设有连接蒸镀室18内空间与外界的通孔。该通孔可连接于真空泵，以抽取蒸镀室18内的气体，使蒸镀室18处于真空状态。如图3和图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸镀室；坩埚组件，位于所述蒸镀室内，所述坩埚组件包括第一埚体和多个第二埚体，所述第一埚体具有第一腔体，所述第一腔体具有第一开放端；每个所述第二埚体具有第二腔体，所述第二腔体具有第二开放端和喷口，且将任一所述第二开放端可拆卸连接于所述第一开放端，以形成一坩埚；加热器，位于所述蒸镀室内，并用于加热所述坩埚；机械手，位于所述蒸镀室内，并用于将任一所述第二开放端与所述第一开放端拆卸或安装。

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸镀室；坩埚组件，位于所述蒸镀室内，所述坩埚组件包括第一埚体和多个第二埚体，所述第一埚体具有第一腔体，所述第一腔体具有第一开放端；每个所述第二埚体具有第二腔体，所述第二腔体具有第二开放端和喷口，且将任一所述第二开放端可拆卸连接于所述第一开放端，以形成一坩埚；加热器，位于所述蒸镀室内，并用于加热所述坩埚；机械手，位于所述蒸镀室内，并用于将任一所述第二开放端与所述第一开放端拆卸或安装。2.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，形成一所述坩埚的所述第一开放端和所述第二开放端通过法兰连接。3.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，形成一所述坩埚的所述第一开放端和所述第二开放端密封连接。4.根据权利要求3所述的真空蒸镀设备，其特征在于，形成一所述坩埚的所述第一开放端和所述第二开放端的连接处设有密封圈。5.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：王策，李先林，吕勇，
申请(专利权)人：华夏易能海南新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：海南,46