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本实用新型提供一种真空蒸镀设备，包括蒸镀室、坩埚组件、加热器以及机械手。所述坩埚组件位于所述蒸镀室内，所述坩埚组件包括第一埚体和多个第二埚体。所述第一埚体具有第一腔体，所述第一腔体具有第一开放端。每个所述第二埚体具有第二腔体，所述第二腔体具...
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