一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头制造技术

一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头，涉及硅片技术领域，包括固定轴、喷头、凹槽、凸起、支撑块、连接柱和螺纹，在喷头上分别设有固定轴和若干个凹槽，凹槽内设有连接柱，连接柱上设有螺纹和支撑块，支撑块上设有凸起；本实用新型专利技术结构简单、实用性强，不但可以快速完成硅片的背面损伤，而且相较于对硅片进行喷砂处理的方式而言，大大节约了生产成本，为企业带来了经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头
本技术涉及硅片
，尤其是涉及一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头。
技术介绍
公知的，在集成电路的生产过程中，单晶硅晶圆片表面的金属沾污及缺陷会在硅中引入半导体深能级，形成复合中心，降低少子寿命，还可能在绝缘层中沉淀从而引起电路的击穿，引起器件失效，因此为了提高晶体管和集成电路的成品率和可靠性，除了制造高质量单晶硅晶圆片之外，还用“吸杂”的方式，在背面引入物理损伤，经过适当的热处理工艺，吸引硅中的杂质在硅片的背面或硅片内部沉淀，从而在硅片表面形成无缺陷的洁净区，目前较常用是在硅片背面进行喷砂处理，引入机械损伤以其可以俘获在制造工艺中引入的可移动金属离子污染的优点成为行业内较为通用的工艺技术。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中的不足，本技术公开了一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头，本技术通过在喷头上设置凹槽，在凹槽内设置连接柱、支撑块和凸起，以此来达到快速实现硅片背面损伤的目的。为了实现所述技术目的，本技术采用如下技术方案：一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头，包括固定轴、喷头、凹槽、凸起、支撑块、连接柱和螺纹，在喷头上分别设有固定轴和若干个凹槽，凹槽内设有连接柱，连接柱上设有螺纹和支撑块，支撑块上设有凸起。所述喷头为圆型结构，喷头的中心设有固定轴。所述固定轴为圆柱型结构，固定轴的顶部面与喷头的顶部面相平齐。所述凹槽为圆型结构，凹槽均匀分布在喷头的顶部面上，凹槽的内壁面上设有螺纹。所述连接柱为圆柱型结构，连接柱设置在凹槽内，连接柱的一端与凹槽的内底连接，连接柱的另一端设有支撑块，连接柱的外壁上设有螺纹。所述支撑块为圆型、椭圆型或多边型结构，支撑块的底部面与连接柱的顶部面连接，支撑块与连接柱呈垂直结构连接，连接柱位于支撑块底部面的中心。所述支撑块的顶部面上设有凸起，凸起为异型结构，连接柱、支撑块和凸起为一体结构。由于采用了上述技术方案，本技术具有如下有益效果：本技术所述的一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头，包括固定轴、喷头、凹槽、凸起、支撑块、连接柱和螺纹，通过在喷头上设置凹槽，在凹槽内设置连接柱、支撑块和凸起，以此来达到快速实现硅片背面损伤的目的；本技术结构简单、实用性强，不但可以快速完成硅片的背面损伤，而且相较于对硅片进行喷砂处理的方式而言，大大节约了生产成本，为企业带来了经济效益。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的连接柱、支撑块和凸起的结构示意图；图中：1、固定轴；2、喷头；3、凹槽；4、凸起；5、支撑块；6、连接柱；7、螺纹。具体实施方式通过下面的实施例可以详细的解释本技术，公开本技术的目的旨在保护本技术范围内的一切技术改进。结合附图1~2所述的一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头，包括固定轴1、喷头2、凹槽3、凸起4、支撑块5、连接柱6和螺纹7，在喷头2上分别设有固定轴1和若干个凹槽3，凹槽3内设有连接柱6，连接柱6上设有螺纹7和支撑块5，支撑块5上设有凸起4。所述喷头2为圆型结构，喷头2的中心设有固定轴1。所述固定轴1为圆柱型结构，固定轴1的顶部面与喷头2的顶部面相平齐。所述凹槽3为圆型结构，凹槽3均匀分布在喷头2的顶部面上，凹槽3的内壁面上设有螺纹。所述连接柱6为圆柱型结构，连接柱6设置在凹槽3内，连接柱6的一端与凹槽3的内底连接，连接柱6的另一端设有支撑块5，连接柱6的外壁上设有螺纹7。所述支撑块5为圆型、椭圆型或多边型结构，支撑块5的底部面与连接柱6的顶部面连接，支撑块5与连接柱6呈垂直结构连接，连接柱6位于支撑块5底部面的中心。所述支撑块5的顶部面上设有凸起4，凸起4为异型结构，连接柱6、支撑块5和凸起4为一体结构。实施例1，所述的一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头，在使用的时候，先在喷头2上设置固定轴1和凹槽3，在凹槽3内设置螺纹，将连接柱6对准凹槽3拧紧，使得连接柱6与凹槽3紧密连接，由于连接柱6、支撑块5和凸起4为一体结构，所以连接柱6与凹槽3的连接使得凸起4树立在喷头2的顶部面上，然后将硅片固定在操作台上，通过将固定轴1固定，将喷头2对准硅片，利用电机使得喷头2在固定轴1上进行高速运转，进而使得凸起4与硅片进行充分的接触和摩擦，进而实现硅片的背面损伤。本技术未详述部分为现有技术，尽管结合优选实施方案具体展示和介绍了本技术，具体实现该技术方案方法和途径很多，以上所述仅是本技术的优选实施方式，但所属领域的技术人员应该明白，在不脱离所附权利要求书所限定的本技术的精神和范围内，在形式上和细节上可以对本技术做出各种变化，均为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头，包括固定轴、喷头、凹槽、凸起、支撑块、连接柱和螺纹，其特征是：在喷头上分别设有固定轴和若干个凹槽，凹槽内设有连接柱，连接柱上设有螺纹和支撑块，支撑块上设有凸起。

【技术特征摘要】
1.一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头，包括固定轴、喷头、凹槽、凸起、支撑块、连接柱和螺纹，其特征是：在喷头上分别设有固定轴和若干个凹槽，凹槽内设有连接柱，连接柱上设有螺纹和支撑块，支撑块上设有凸起。2.根据权利要求1所述的一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头，其特征是：所述喷头为圆型结构，喷头的中心设有固定轴。3.根据权利要求1所述的一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头，其特征是：所述固定轴为圆柱型结构，固定轴的顶部面与喷头的顶部面相平齐。4.根据权利要求1所述的一种硅片背面损伤用组合式石英玻璃喷头，其特征是：所述凹槽为圆型结构，凹槽均匀分布在喷头的顶部面上，凹...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐信富，郭金娥，章云杰，韩进军，赵世印，王建伟，徐茂圣，苗战彪，
申请(专利权)人：洛阳市鼎晶电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41