高温真空蒸发离化镀膜装置及其操作方法制造方法及图纸

本发明专利技术为高温真空蒸发离化镀膜装置及其操作方法，涉及镀膜技术领域，包括高温真空密闭的炉体，设于炉体内部的蒸发源，一端伸入炉体内部的电子枪，所述电子枪发射出的电子束射入蒸发源内使得镀层金属蒸发；所述电子枪包括金属套管、可自持放电的中空钽管；所述中空钽管与金属套管之间还设置有导通连接两者的固定锁母；所述金属套管进气口处插设有用于通入工作气体的气体通管；所述蒸发源与电子枪分别与电源的正极、负极连接。本发明专利技术拓宽了电子枪的使用范围，加大了蒸镀的功能涂层的适用领域，并且本发明专利技术的装置可以大大增加了工作气体的电离效率。

High Temperature Vacuum Evaporation Ionization Coating Device and Its Operation Method

The invention relates to a high temperature vacuum evaporation ionization coating device and its operation method, and relates to the technical field of coating, including a high temperature vacuum sealed furnace body, an evaporation source located in the furnace body, an electron gun extending into the furnace body at one end, and an electron beam emitted by the electron gun injecting into the evaporation source to evaporate the coating metal; the electron gun comprises a metal sleeve and a hollow tantalum capable of self-sustaining discharge. The hollow tantalum tube and the metal sleeve are also provided with a fixed lock mother for conducting connection between the two; the air inlet of the metal sleeve is inserted with a gas through tube for entering the working gas; the evaporation source and the electron gun are respectively connected with the positive and negative poles of the power supply. The invention widens the application range of the electron gun, enlarges the application field of the functional coating evaporated, and the device of the invention can greatly increase the ionization efficiency of the working gas.

【技术实现步骤摘要】
高温真空蒸发离化镀膜装置及其操作方法
本专利技术涉及镀膜
，具体是高温真空蒸发离化镀膜装置及其操作方法。
技术介绍
现有技术中，物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，在材料表面镀功能涂层。此项技术最先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等。现有技术中的蒸发镀膜仅适用低温状态下，用于在非金属表面镀膜，对于较高温度下对工件的镀膜的设备或是方法还未见有相关报道。
技术实现思路
为了解决现有技术中存在的技术问题，本专利技术提供高温真空蒸发离化镀膜装置及其操作方法。为了实现本专利技术的一个目的，本专利技术采用了以下技术方案：高温真空蒸发离化镀膜装置，包括高温真空密闭的炉体、设于炉体内部的蒸发源、电子射出端伸入炉体内部的电子枪，所述电子枪发射出的电子束射入蒸发源内使得镀层金属蒸发；所述电子枪包括金属套管与可自持放电的中空钽管；所述中空钽管一端通过固定锁母与金属套管端部导通连接，另一端用于射出电子束；所述金属套管进气口处插设有用于通入工作气体的气体通管；所述蒸发源与电子枪分别与电源的正极、负极电性连接；所述炉体内设有待镀件。作为优选的，所述金属套管内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.高温真空蒸发离化镀膜装置，包括高温真空密闭的炉体(1)，设于炉体(1)内部的蒸发源(2)，电子射出端伸入炉体(1)内部的电子枪(3)，其特征在于：所述电子枪(3)发射出的电子束射入蒸发源内使得镀层金属蒸发；所述电子枪(3)包括金属套管(31)与可自持放电的中空钽管(32)；所述中空钽管(32)一端与金属套管(31)端部导通连接，另一端用于射出电子束；所述中空钽管(32)与金属套管(31)之间还设置有导通连接两者的固定锁母(37)；所述金属套管(31)进气口处插设有用于通入工作气体的气体通管(33)；所述蒸发源(2)与电子枪(3)分别与电源的正极、负极电性连接。

【技术特征摘要】
1.高温真空蒸发离化镀膜装置，包括高温真空密闭的炉体(1)，设于炉体(1)内部的蒸发源(2)，电子射出端伸入炉体(1)内部的电子枪(3)，其特征在于：所述电子枪(3)发射出的电子束射入蒸发源内使得镀层金属蒸发；所述电子枪(3)包括金属套管(31)与可自持放电的中空钽管(32)；所述中空钽管(32)一端与金属套管(31)端部导通连接，另一端用于射出电子束；所述中空钽管(32)与金属套管(31)之间还设置有导通连接两者的固定锁母(37)；所述金属套管(31)进气口处插设有用于通入工作气体的气体通管(33)；所述蒸发源(2)与电子枪(3)分别与电源的正极、负极电性连接。2.根据权利要求1所述的高温真空蒸发离化镀膜装置，其特征在于：所述金属套管(31)还设置有用于对气体通管(33)进行冷却的冷却回路(34)；所述蒸发源(2)底部设置有水冷回路。3.根据权利要求1所述的高温真空蒸发离化镀膜装置，其特征在于：所述金属套管(31)的管身套设有用于与炉体(1)绝缘的绝缘套管(35)，金属套管(31)的端部设有与金属套管(31)不相接触的保护套(36)；所述保护套(36)与金属套管(31)间设有连接两者用于防止两者短接的陶瓷绝缘子(38)。4.根据权利要求3所述的高温真空蒸发离化镀膜装置，其特征在于：所述保护套(36)为一端密封的筒状，套设在金属套管(31)位于炉体(1)内部一端，保护套(36)于开口处与绝缘套管(35)封接。5.根据权利要求3所述的高温真空蒸发离化镀膜装置，其特征在于：所述金属套管(31)为铜制材料；所述气体通管(33)为铜制材料；所述工作气体为氩气，或是氩气与氧气、氮气、...

【专利技术属性】
技术研发人员：莫申波，周卫星，
申请(专利权)人：合肥如一真空设备有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34