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本发明为高温真空蒸发离化镀膜装置及其操作方法，涉及镀膜技术领域，包括高温真空密闭的炉体，设于炉体内部的蒸发源，一端伸入炉体内部的电子枪，所述电子枪发射出的电子束射入蒸发源内使得镀层金属蒸发；所述电子枪包括金属套管、可自持放电的中空钽管；所述...
该专利属于合肥如一真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥如一真空设备有限公司授权不得商用。

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