一种差压溅射薄膜压力敏感元件及其封装方法技术

本发明专利技术公开了一种差压溅射薄膜压力敏感元件及其封装方法，溅射薄膜压力敏感元件的薄膜表面浸泡于硅油中，用来测量压力；带陶瓷密封的环形电连接器将溅射薄膜压力敏感元件的电路信号引出封装壳体；硅油将压力传递到溅射薄膜压力敏感元件的薄膜表面；膜片将单侧的测量压力传递到硅油上；压环、膜片与环形电连接器的外壳焊接到一起，密封硅油。差压封装的溅射薄膜压力敏感元件，是将作用在膜片及溅射薄膜压力敏感元件上的两个大小不同的压力共同作用，使得溅射薄膜敏感元件的应变区产生不同的应变，使得溅射薄膜敏感元件的四个薄膜电阻产生不同的电阻变化，最终在惠斯顿电桥的连接下产生一定比例的信号输出，从而达到差压测量的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种差压溅射薄膜压力敏感元件及其封装方法
本专利技术属于压力测量
，具体涉及一种溅射薄膜敏感元件及其封装方法。
技术介绍
根据压力测量的参考点不同，压力传感器分为表压型、差压型和绝压型三种类型。由溅射薄膜压力敏感元件制作的压力传感器是典型的表压型压力传感器。溅射薄膜压力敏感元件，采用了应变式电阻结构，在不锈钢基底上，采用离子束溅射镀膜、离子束刻蚀以及微加工工艺相配合，制成薄膜压敏结构，并通过特定的薄膜构成，使得四个薄膜电阻(R1、R2、R3、R4)感受压力后形成等比例的电阻值增大或减小，再通过惠斯顿电桥结构，使薄膜敏感元件能够将感受到的压力大小转化成电压信号输出。常见的差压传感器种类有压阻式和电容式两种结构。电容式差压传感器的工作原理：压力传感器被测介质的两种压力通入高、低两压力室，作用在电容式差压传感器敏感元件的两侧隔离片上，通过隔离片和元件内的填充液传送到测量膜片两侧。当两侧压力不一致时，致使测量膜片产生位移，其位移量和压力差成正比，故两侧电容量就不等，通过振荡和解调环节，转换成与压力成正比的信号。压阻式差压传感器是根据半导体材料的压阻效应在半导体材料的基片上经扩散电阻而制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种差压溅射薄膜压力敏感元件，其特征在于：包括一个金属材料制成的罩筒形溅射薄膜压力敏感元件(1)，陶瓷密封的环形电连接器(2)，承受并传递压力的膜片(3)，起到压力传递作用的硅油(6)，用于焊接封装的压环(4)；溅射薄膜压力敏感元件(1)的薄膜表面浸泡于硅油(6)中，用来测量压力；带陶瓷密封的环形电连接器(2)将溅射薄膜压力敏感元件的电路信号引出封装壳体；硅油(6)将压力传递到溅射薄膜压力敏感元件(1)的薄膜表面；膜片(3)将单侧的测量压力传递到硅油(6)上；压环(4)、膜片(3)与环形电连接器(2)的外壳(9)焊接到一起，密封硅油(6)。

【技术特征摘要】
1.一种差压溅射薄膜压力敏感元件，其特征在于：包括一个金属材料制成的罩筒形溅射薄膜压力敏感元件(1)，陶瓷密封的环形电连接器(2)，承受并传递压力的膜片(3)，起到压力传递作用的硅油(6)，用于焊接封装的压环(4)；溅射薄膜压力敏感元件(1)的薄膜表面浸泡于硅油(6)中，用来测量压力；带陶瓷密封的环形电连接器(2)将溅射薄膜压力敏感元件的电路信号引出封装壳体；硅油(6)将压力传递到溅射薄膜压力敏感元件(1)的薄膜表面；膜片(3)将单侧的测量压力传递到硅油(6)上；压环(4)、膜片(3)与环形电连接器(2)的外壳(9)焊接到一起，密封硅油(6)。2.根据权利要求1所述的差压溅射薄膜压力敏感元件，其特征在于：所述敏感元件的封装方法包括以下步骤：(1)、在溅射薄膜压力...

【专利技术属性】
技术研发人员：戚龙，陈鹏，张颖英，彭旗，李莹，杜雷涛，
申请(专利权)人：陕西电器研究所，
类型：发明
国别省市：陕西,61