感光性树脂组合物、干膜、固化物、印刷电路板及半导体元件制造技术

提供进行了金属覆盖的基板上的厚感光膜(例如，5μm以上)的显影性特别优异、并且分辨率也优异、显影后的图案形状良好的感光性树脂组合物、具有由该组合物得到的树脂层的干膜、该组合物或该干膜的树脂层的固化物、具有该固化物的印刷电路板及半导体元件。一种感光性树脂组合物、使用其的干膜、固化物、印刷电路板及半导体元件，所述感光性树脂组合物含有：(A)聚苯并恶唑前体、(B)感光剂、(C)硫醇化合物、及(D)尿素化合物及三聚氰胺系化合物中的至少任一种。

【技术实现步骤摘要】
感光性树脂组合物、干膜、固化物、印刷电路板及半导体元件
本专利技术涉及感光性树脂组合物、干膜、固化物、印刷电路板及半导体元件。
技术介绍
作为在碱性水溶液中能显影的感光性树脂组合物，使用将聚苯并恶唑(以下，也称为“PBO”)前体和重氮萘醌化合物等光产酸剂配混而成的组合物。将这种组合物热固化而得到的聚苯并恶唑固化物的耐热性及电绝缘性优异，因此在电气材料的表面保护膜、层间绝缘膜、例如半导体元件的涂膜、柔性印刷电路板材料、耐热绝缘性层间材料等电子部件中的应用正在进展。关于使用了聚苯并恶唑的感光性树脂组合物，例如，专利文献1中，出于阻碍铜覆盖晶圆上的显影后的残留物(以下，也称为“浮渣”)的形成的目的，公开了在聚苯并恶唑前体聚合物中配混包含S原子的嘧啶骨架化合物而成的感光性树脂组合物。另外，专利文献2中，以提供高灵敏度、图案的形状、未曝光部的残膜率也良好的正型的感光性聚合物组合物为目的，公开了含有如下物质的技术：选自规定的聚酰胺酸酯、以具有酚羟基的二胺和四羧酸、其酐或其衍生物为原料而得到的聚酰亚胺、以二羧酸和二羟基二胺为原料而得到的聚苯并恶唑前体中的碱性水溶液可溶性的聚合物；二叠氮基邻醌(o-本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：(A)聚苯并恶唑前体、(B)感光剂、(C)硫醇化合物、以及(D)尿素化合物及三聚氰胺系化合物中的至少任一种。

【技术特征摘要】
2017.07.31 JP 2017-1486111.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：(A)聚苯并恶唑前体、(B)感光剂、(C)硫醇化合物、以及(D)尿素化合物及三聚氰胺系化合物中的至少任一种。2.一种干膜，其特征在于，具有将...

【专利技术属性】
技术研发人员：许成强，秋元真步，
申请(专利权)人：太阳控股株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP