一种三自由度的平行度调节器制造技术

本发明专利技术公开了三自由度的平行度调节器，调节器安装在平台台体的一侧，调节器包括基座、第一调节旋钮、第二调节旋钮和锁紧螺钉，基座安装在平台台体的一侧，第一调节旋钮、第二调节旋钮和锁紧螺钉均安装在基座上，用于调节并锁紧第一调节旋钮与第二调节旋钮的位置；调节台上开设有调节槽，第一调节旋钮、第二调节旋钮与调节槽相配合，调节台的第一调节轴与第二调节轴分别与第一调节旋钮、第二调节旋钮相配合。本发明专利技术的有益效果是夹角为120°的调节轴，实现了三个自由度的调节，灵活度高，两个调节轴采用串联模式，在调节时不会相互干扰，调节器安装在平行度调节器的一侧，占用体积小、采用柔性铰链实现单一方向调节倾斜度，有效提高调节精度。

A Parallel Degree Regulator with Three Degrees of Freedom

The invention discloses a three-degree-of-freedom parallelism adjuster, which is installed on one side of the platform body. The adjuster includes a base, a first adjusting knob, a second adjusting knob and a locking screw. The base is installed on one side of the platform body. The first adjusting knob, a second adjusting knob and a locking screw are all installed on the base for adjusting and locking the first adjusting knob and the second adjusting screw. The position of the knob; the adjusting slot is arranged on the adjusting table. The first adjusting knob and the second adjusting knob are matched with the adjusting slot. The first adjusting shaft and the second adjusting shaft of the adjusting table are matched with the first adjusting knob and the second adjusting knob respectively. The beneficial effect of the present invention is that the adjusting shaft with an angle of 120 degrees has realized three degrees of freedom adjustment with high flexibility. The two adjusting shafts adopt a series mode and do not interfere with each other during adjustment. The adjuster is installed on one side of the parallelism adjuster, occupies a small volume and adopts flexible hinges to adjust the inclination in a single direction, thus effectively improving the adjusting accuracy.

【技术实现步骤摘要】
一种三自由度的平行度调节器
本专利技术属于精密仪器检测设备
，尤其是涉及一种三自由度的平行度调节器。
技术介绍
平行度调节器，也称为倾斜平台，是用来调节样品的倾斜角度的一种平台，被广泛应用在光学、测量等对角度有要求的领域中。随着纳米级别的高精度定位技术的快速发展，纳米级别的检测技术已日趋成熟，检测仪器与被检测物体之间的平行度要求也越来越高。目前，传统的平行度调节器(如图1所示)，调整面与底座采用弹簧连接，在底座受到震动时，调整面的角度不容易保持，易发生变化，并且两个调节轴之间的夹角为90°，其调节的灵活度低，两个调节轴采用并联模式，在进行调节时会相互干扰，影响调节的精度；另外，传统的平行度调节器的体积较大大，使用不方便。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种结构简单、操作简单、调节精度高、可在三个自由度上进行调节、占用体积小的三自由度的平行度调节器。本专利技术的技术方案如下：一种三自由度的平行度调节器，包括平台台体、调节器和调节台，所述调节器安装在所述平台台体的一侧，所述平台台体与所述调节台连接；所述调节器包括基座、第一调节旋钮、第二调节旋钮和锁紧螺钉，所述基座安装在所述平台台体的一侧，所述第一调节旋钮、第二调节旋钮和锁紧螺钉均安装在所述基座上，用于调节并锁紧所述第一调节旋钮与第二调节旋钮的位置；所述调节台上开设有调节槽，所述第一调节旋钮、第二调节旋钮与所述调节槽相配合，所述调节台上设有第一调节轴和第二调节轴，所述第一调节轴与第二调节轴分别与所述第一调节旋钮、第二调节旋钮相配合，所述第一调节旋钮用于在所述第一调节轴的方向上调节，所述第二调节旋钮用于在所述第二调节轴的方向上调节。在上述技术方案中，所述第一调节轴、第二调节轴之间的夹角为120°。在上述技术方案中，所述调节台采用弧形结构的柔性铰链。在上述技术方案中，所述第一调节旋钮、第二调节旋钮朝向所述调节槽的一端为圆锥体。在上述技术方案中，所述圆椎体的锥角的误差为±10urad。在上述技术方案中，所述调节槽的误差为±10urad。在上述技术方案中，所述平台台体的截面为正六边形。本专利技术具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，夹角为120°的调节轴，实现了三个自由度的调节，调节的灵活度高，两个调节轴采用串联模式，在调节时不会相互干扰，调节器安装在平行度调节器的一侧，减少占用的体积，采用柔性铰链实现单一方向调节倾斜度，有效提高调节精度，使用便捷。附图说明图1是现有技术的主视图；图2是现有技术的侧视图；图3是本专利技术的三自由度的平行度调节器的主视图；图4是本专利技术的三自由度的平行度调节器的侧视图；图5是本专利技术中A的局部放大图；图中：1、平台台体2、调节器3、调节台4、基座5、第一调节旋钮6、第二调节旋钮7、锁紧螺钉8、调节槽9、第一调节轴10、第二调节轴具体实施方式以下结合具体实施例对本专利技术作进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，并不用于限定本专利技术，决不限制本专利技术的保护范围。实施例1如图1、图2所示，现有技术中的平行度调节器，调整台A与台体B通过弹簧D连接，竖直方向调节机构C和水平方向调节机构E调整角度，竖直方向调节机构C与水平方向调节机构E之间的夹角为90°，其调节的灵活度低，并且两个调节机构为并联模式，在调节时相互产生干扰。如图3-图5所示，本专利技术的一种三自由度的平行度调节器，包括平台台体1、调节器2和调节台3，调节器2安装在平台台体1的一侧，平台台体1与调节台3连接；平台台体1的截面为正六边形，调节器2包括基座4、第一调节旋钮5、第二调节旋钮6和锁紧螺钉7，基座4安装在平台台体1的一侧，第一调节旋钮5、第二调节旋钮6和锁紧螺钉7均安装在基座4上，锁紧螺钉7用于调节并锁紧第一调节旋钮5与第二调节旋钮6的位置；调节台3为弧形柔性铰链，弧形柔性铰链上设有第一调节轴9和第二调节轴10，第一调节轴9与第二调节轴10之间的夹角为120°，并且在柔性铰链上开设于调节槽8，第一调节旋钮5、第二调节旋钮6与调节槽8相配合，第一调节旋钮5用于在第一调节轴9的方向上调节，第二调节旋钮6用于在第二调节轴10的方向上调节。第一调节旋钮5、第二调节旋钮6朝向调节槽8的一端为圆锥体，圆椎体的锥角的误差为±10urad，调节槽8的误差为±10urad，以提高调节旋钮的精度。在使用平行度调节器时，第一调节旋钮5沿第一调节轴9的方向调整，第二调节旋钮6沿第二调节轴10的方向调整，调节旋钮的圆锥体与调节槽8相配合，两个调节轴采用串联调节模式，有效的避免了两个调节轴之间的耦合；当调节至适宜位置后，拧紧锁紧螺钉7，限制调节器2的调节位置。采用夹角为120°的调节轴，将平台台体1的自由度扩展为三个夹角为120°的自由度，其调节的灵活度高；使平台适应更多复杂多变的工况，并且采用正六边形的台体能够更好的布置调节旋钮的位置，使其拥有相同的调节力矩和调节精度；通过柔性铰链的单自由度的特性，实现了单个调节轴只能单一方向调节倾斜度，而在垂直方向上不会产生角度变化；调节轴采用串联调节模式，不会相互影响，调节精度高。为了易于说明，实施例中使用了诸如“上”、“下”、“左”、“右”等空间相对术语，用于说明图中示出的一个元件或特征相对于另一个元件或特征的关系。应该理解的是，除了图中示出的方位之外，空间术语意在于包括装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果图中的装置被倒置，被叙述为位于其他元件或特征“下”的元件将定位在其他元件或特征“上”。因此，示例性术语“下”可以包含上和下方位两者。装置可以以其他方式定位(旋转90度或位于其他方位)，这里所用的空间相对说明可相应地解释。而且，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个与另一个具有相同名称的部件区分开来，而不一定要求或者暗示这些部件之间存在任何这种实际的关系或者顺序。以上对本专利技术的一个实施例进行了详细说明，但内容仅为本专利技术的较佳实施例，不能被认为用于限定本专利技术的实施范围。凡依本专利技术申请范围所作的等同变化与改进等，均应仍归属于本专利技术的专利涵盖范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种三自由度的平行度调节器，其特征在于：包括平台台体(1)、调节器(2)和调节台(3)，所述调节器(2)安装在所述平台台体(1)的一侧，所述平台台体(1)与所述调节台(3)连接；所述调节器(2)包括基座(4)、第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)和锁紧螺钉(7)，所述基座(4)安装在所述平台台体(1)的一侧，所述第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)和锁紧螺钉(7)均安装在所述基座(4)上，所述锁紧螺钉用于调节并锁紧所述第一调节旋钮(5)与第二调节旋钮(6)的位置；所述调节台(3)上开设有调节槽(8)，所述第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)与所述调节槽(8)相配合，所述调节台(3)上设有第一调节轴(9)和第二调节轴(10)，所述第一调节轴(9)与第二调节轴(10)分别与所述第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)相配合，所述第一调节旋钮(5)用于在所述第一调节轴(9)的方向上调节，所述第二调节旋钮(6)用于在所述第二调节轴(10)的方向上调节。

【技术特征摘要】
1.一种三自由度的平行度调节器，其特征在于：包括平台台体(1)、调节器(2)和调节台(3)，所述调节器(2)安装在所述平台台体(1)的一侧，所述平台台体(1)与所述调节台(3)连接；所述调节器(2)包括基座(4)、第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)和锁紧螺钉(7)，所述基座(4)安装在所述平台台体(1)的一侧，所述第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)和锁紧螺钉(7)均安装在所述基座(4)上，所述锁紧螺钉用于调节并锁紧所述第一调节旋钮(5)与第二调节旋钮(6)的位置；所述调节台(3)上开设有调节槽(8)，所述第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)与所述调节槽(8)相配合，所述调节台(3)上设有第一调节轴(9)和第二调节轴(10)，所述第一调节轴(9)与第二调节轴(10)分别与所述第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)相配合...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾静，王辉春，
申请(专利权)人：三英精控天津仪器设备有限公司，
类型：发明
国别省市：天津,12