一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，包括，底座，底座的上方通过压紧机构对称固定有两套Y轴气浮导轨；X轴气浮导轨，X轴气浮导轨的两端通过第一螺钉固定在Y轴气浮导轨的Y轴气浮套上，X轴气浮导轨的X轴气浮套上通过第二螺钉固定有二维纳米平台；龙门支座，龙门支座通过第一螺栓对称固定在底座的上方，龙门支座的上方通过第二螺栓固定有龙门横梁；Z轴升降平台和Z轴运动平台通过第三螺栓均固定在龙门横梁的前侧，Z轴运动平台的侧面通过直角转接件固定有三维纳米运动平台。提高扫描检测成像精度，同时实现大行程的运动；可胜任不同范围、不同速度、不同精度要求的多种扫描检测成像应用场景。同精度要求的多种扫描检测成像应用场景。同精度要求的多种扫描检测成像应用场景。

【技术实现步骤摘要】
一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统


[0001]本技术涉及龙门气浮运动系统领域，具体涉及一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统。

技术介绍

[0002]精密光学检测成像主要用在半导体、纳米功能材料、生物、化工、食品、医药研究等领域的样品状态监测，而运动系统是完成精密光学检测成像的重要使用系统，主要用于搭载显微镜、CCD相机、精密光学扫描器(原子力显微镜)等仪器。
[0003]现如今市面上常见的运动系统为实现大范围移动，采用移动式龙门结构搭载Z向位移台，如扫描器安装在Z向位移台，导致扫描器在XY方向不稳定，扫描精度低，应用场景存在局限性。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，提高扫描检测成像精度，同时实现大行程的运动，可胜任不同范围、不同速度、不同精度要求的多种扫描检测成像应用场景。
[0005]根据本技术实施例提供的技术方案，一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，包括，底座，所述底座的上方通过压本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：包括，底座(1)，所述底座(1)的上方通过压紧机构对称固定有两套Y轴气浮导轨(15)；X轴气浮导轨(4)，所述X轴气浮导轨(4)的两端通过第一螺钉固定在所述Y轴气浮导轨(15)的Y轴气浮套上，所述X轴气浮导轨(4)的X轴气浮套上通过第二螺钉固定有二维纳米平台(12)；龙门支座(2)，所述龙门支座(2)通过第一螺栓对称固定在所述底座(1)的上方，所述龙门支座(2)的上方通过第二螺栓固定有龙门横梁(3)；Z轴升降平台(8)和Z轴运动平台(9)通过第三螺栓均固定在所述龙门横梁(3)的前侧，所述Z轴运动平台(9)的前侧通过直角转接件(13)固定有三维纳米运动平台(14)。2.根据权利要求1所述的一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：还包括左侧出线机构(7)和右侧出线机构(11)，所述左侧出线机构(7)和所述右侧出线机构(11)通过第四螺栓固定在所述龙门横梁(3)的前侧。3.根据权利要求1所述的一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：还包括拖链机构(10)，所述拖链机构(10)移动端固定在所述X轴气浮导轨(4)两端，所述拖链机构(10)固定端固定在所述底座(1)两侧。4.根据权利要求1所述的一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：还包括U型直线电机(5)，所述U型直线电机(5)定子对称固定在所述底座(1)两侧，所述U型直线电机(5)动子固定在所述X轴气浮导轨(4)两端。5.根据权利要求1所述的一种用于精密光学检测成像的多自由度龙门气浮运动系统，其特征是：所述Y轴气浮导轨(15)包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：许朋跃，文杰，贾静，
申请(专利权)人：三英精控天津仪器设备有限公司，
类型：新型
国别省市：