一种基于混合等离子体波导的温度传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于混合等离子体波导的温度传感器，其特征是，包括自下而上顺序叠接的基底层、低折射率缓冲层、硫化物层和金属层，所述金属层的上表面中心部位由上自下设有中空的圆柱状谐振腔，以谐振腔的中轴线为基准对称设有第一凹陷直波导和第二凹陷直波导，所述谐振腔的内径大小可调。这种表面等离子传感器不仅体积小、响应快、制备过程简单，同时还能提高灵敏度和Q值，实现生物、医学检测领域的纳米级传感。

A Temperature Sensor Based on Hybrid Plasma Waveguide

The invention discloses a temperature sensor based on a hybrid plasma waveguide, which is characterized by a bottom-up sequence overlapping base layer, a low refractive index buffer layer, a sulfide layer and a metal layer. The central part of the upper surface of the metal layer is provided with a hollow cylindrical resonator from below, and the first concave straight waveguide and the second symmetrically are provided with the central axis of the resonant cavity as a reference. The inner diameter of the cavity is adjustable. This surface plasmon sensor is not only small in size, fast in response and simple in preparation process, but also can improve sensitivity and Q value, and realize nano-scale sensing in the field of biological and medical detection.

【技术实现步骤摘要】
一种基于混合等离子体波导的温度传感器
本专利技术涉及光通信技术及传感领域，具体是一种基于混合等离子体波导的温度传感器。
技术介绍
表面等离子体激元（Surfaceplasmonpolaritons，简称SPPs）是通过改变金属表面的亚波长结构实现的一种光波与可迁移的表面电荷之间电磁模，可以支持金属与介质界面传输的表面等离子波。基于SPP的器件具有尺寸小、响应快、且不受衍射极限的限制，这种独特的性质，使其在纳米量级操纵光能量、高灵敏度传感器、高响应且抗磁干扰等领域发挥着至关重要的作用。《ProcSpie》刊载了“Overviewofplasmonicsensorsandtheirdesignmethods”一文，SookyoungRoh团队提出了基于方形纳米孔阵列的传感器，灵敏度为300nmRIU-1；《纳米·快报》在2010年刊载了“PlanarMetamaterialAnalogueofElectromagneticallyInducedTransparencyforPlasmonicSensing”一文，提出了基于平面超材料的传感器灵敏度可达588nmRIU-1；同年，在“Eff本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于混合等离子体波导的温度传感器，其特征是，包括自下而上顺序叠接的基底层、低折射率缓冲层、硫化物层和金属层，所述金属层的上表面中心部位由上自下设有中空的圆柱状谐振腔，以谐振腔的中轴线为基准对称设有第一凹陷直波导和第二凹陷直波导，所述谐振腔的内径大小可调。

【技术特征摘要】
1.一种基于混合等离子体波导的温度传感器，其特征是，包括自下而上顺序叠接的基底层、低折射率缓冲层、硫化物层和金属层，所述金属层的上表面中心部位由上自下设有中空的圆柱状谐振腔，以谐振腔的中轴线为基准对称设有第一凹陷直波导和第二凹陷直波导，所述谐振腔的内径大小可调。2.根据权利要求1所述的基于混合等离子体波导的温度传感器，其特征是，所述基底层为树脂聚合物层。3.根据权利要求1所述的基于混合等离子体波导的温度传感器，其特征是，所述低折射率缓冲层为聚甲基丙烯酸甲酯膜，即PMMA膜，PMMA膜采用电泳的方法沉积在...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱君，王各，娄健，徐政杰，
申请(专利权)人：广西师范大学，
类型：发明
国别省市：广西,45