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一种基于混合等离子体波导的温度传感器制造技术
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文档序号:19960552
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本发明公开了一种基于混合等离子体波导的温度传感器,其特征是,包括自下而上顺序叠接的基底层、低折射率缓冲层、硫化物层和金属层,所述金属层的上表面中心部位由上自下设有中空的圆柱状谐振腔,以谐振腔的中轴线为基准对称设有第一凹陷直波导和第二凹陷直波...
该专利属于广西师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过广西师范大学授权不得商用。
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