The invention discloses a crucible protection device, which comprises a crucible bottom plate, a composite guard plate arranged on the crucible bottom plate and a crucible cover plate arranged on the upper part of the composite guard plate. The composite guard plate comprises a lower guard plate and an upper guard plate. The upper guard plate is provided with an air outlet, and the upper guard plate is provided with a lower convex part. The lower convex part of the guard plate is clamped in the air outlet of the lower guard plate. The crucible has the advantages of reliable structure, convenient use, flexible adjustment according to the height of the crucible, and favorable reduction of production cost.
【技术实现步骤摘要】
一种坩埚保护装置
本专利技术涉及半导体、光伏器件的制造设备领域,尤其涉及一种坩埚保护装置。
技术介绍
在多晶硅铸锭过程中,需要使用坩埚护板对石英坩埚进行保护,起到隔离污染作用。在实际使用过程中,需要将四块坩埚护板拼接固定在装有硅料的石英坩埚外侧,配合碳-碳盖板和碳-碳底板形成封闭的空间。随着多晶铸锭技术的发展,铸锭的种类越来越多,主要包括:提纯锭、半熔高效多晶硅锭、全熔高效多晶铸锭和铸造单晶硅锭等。不同类型铸锭对坩埚高度要求也不一致,从而坩埚护板高度也要随之调整,导致现有的坩埚护板需要重新设计和购买,造成资源浪费。另一方面,在多晶铸锭过程中,由于坩埚质量或者装料细节等影响,在铸锭过程中会出现硅液溢流现象,容易导致坩埚护板全部损坏,造成铸锭成本大幅度增加。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足,提供一种结构可靠、使用方便、能够根据坩埚高度灵活调整、有利于降低生产成本的坩埚保护装置。为解决上述技术问题,本专利技术采用以下技术方案:一种坩埚保护装置,包括坩埚底板、设于坩埚底板上的组合护板以及设于组合护板上部的坩埚盖板,所述组合护板包括下层护板及上层护板,所述下层护板上部设有出气口,所述上层护板上部设有所述出气口,所述上层护板下部设有下凸部,所述上层护板的下凸部卡设于所述下层护板的出气口内。作为上述技术方案的进一步改进:所述下层护板下部设有溢流口。所述坩埚盖板上设有进气口。所述下层护板左右两侧均设有螺栓孔,所述上层护板左右两侧及上部均设有螺栓孔。所述下层护板的高度为60mm-600mm,所述上层护板的高度为60mm-600mm。所述下层护板和上 ...
【技术保护点】
1.一种坩埚保护装置,包括坩埚底板(6)、设于坩埚底板(6)上的组合护板以及设于组合护板上部的坩埚盖板(7),其特征在于:所述组合护板包括下层护板(1)及上层护板(3),所述下层护板(1)上部设有出气口(2),所述上层护板(3)上部设有所述出气口(2),所述上层护板(3)下部设有下凸部(31),所述上层护板(3)的下凸部(31)卡设于所述下层护板(1)的出气口(2)内。
【技术特征摘要】
1.一种坩埚保护装置,包括坩埚底板(6)、设于坩埚底板(6)上的组合护板以及设于组合护板上部的坩埚盖板(7),其特征在于:所述组合护板包括下层护板(1)及上层护板(3),所述下层护板(1)上部设有出气口(2),所述上层护板(3)上部设有所述出气口(2),所述上层护板(3)下部设有下凸部(31),所述上层护板(3)的下凸部(31)卡设于所述下层护板(1)的出气口(2)内。2.根据权利要求1所述的坩埚保护装置,其特征在于:所述下层护板(1)下部设有溢流口(4)。3.根据权利要求1所述的坩埚...
【专利技术属性】
技术研发人员:明亮,黄美玲,瞿海斌,段金刚,邱昊,
申请(专利权)人:湖南红太阳光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:湖南,43
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