一种具有自动进料的硅片清洗设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有自动进料的硅片清洗设备，包括主体，所述主体由上机体和下机体组成，所述下机体内设置有储水盒，且下机体的后方外壁在储水盒的上方区域安装有抽水管，所述下机体的上方内壁与储水盒对应位置处设置有第一滤板，所述第一滤板的下方安装有转动销，所述下机体的右侧外壁设置有排污管，该设备设置有第一电动推杆和输送带，使用者只用在定时器上设定起到时间，之后，再在物料放置板上放置物料，定时器会直接控制电动推杆在一定时间的推料次数使的每次清洗时的数量一定，同时物料会经过输送带传送到承载板，之后使得物料通过推料转筒被推进放置篮，其操作简单方便无需手动，其可实现自动送料，其实用性较强。

A Silicon Wafer Cleaning Equipment with Automatic Feeding

The utility model discloses a silicon wafer cleaning device with automatic feeding, including a main body, which is composed of an upper body and a lower body. The lower body is provided with a water storage box, and the rear outer wall of the lower body is equipped with a suction pipe in the upper area of the water storage box. The upper inner wall of the lower body and the corresponding position of the water storage box are provided with a first filter plate and a first filter plate. A rotating pin is installed below, and a sewage pipe is arranged on the right outer wall of the lower body. The device is equipped with a first electric push rod and a conveyor belt. The user only uses the time set up on the timer, and then the material is placed on the material placement board. The timer will directly control the number of push rods at a certain time so that the quantity of each cleaning is fixed. At the same time, the material will be placed on the material placement board. The conveyor belt is conveyed to the bearing plate, and then the material is pushed into the basket through the pushing drum. The operation is simple and convenient without manual operation. It can realize automatic feeding, and its practicability is strong.

【技术实现步骤摘要】
一种具有自动进料的硅片清洗设备
本技术属于清洗设备
，具体涉及一种具有自动进料的硅片清洗设备。
技术介绍
半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。而清洗机常用的是物理清洗。在目前市场上常见的硅片清洗机普遍面临着当人们使用设备时，其设备进料大部分都是通过人工手动操作的，其操作繁琐复杂，且需要浪费大量的人力物力，其实用性不强；且大多数硅片的外壁残留有大量的杂物，若直接进行超声波清洗，其清洗后的杂质极易堵塞超声波清洗池，导致设备不能正常使用，其经济效益较低实用性不强；且大多数设备在使用时，超声波清洗池其清洗速度使一定的，若物料表面杂质较多极易造成杂质残留，使得使用者必须要花费大量精力再次清洗，其操作繁琐清洗效果差实用性不强；且大多数硅片的放置架只能放置一种类型的硅片，如较厚的硅片，若需要清洗较薄的硅片时，若直接清洗就会造成混料，使用者清洗后需要花费大量时间筛分，其操作繁琐实用性不强。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有自动进料的硅片清洗设备，以解决上述
技术介绍
中提出的当人们使用设备时，其设备进料大部分都是通过人工手动操作的，其操作繁琐复杂，且需要浪费大量的人力物力，其实用性不强；且大多数硅片的外壁残留有大量的杂物，若直接进行超声波清洗，其清洗后的杂质极易堵塞超声波清洗池，导致设备不能正常使用，其经济效益较低实用性不强；且大多数设备在使用时，超声波清洗池其清洗速度使一定的，若物料表面杂质较多极易造成杂质残留，使得使用者必须要花费大量精力再次清洗，其操作繁琐清洗效果差实用性不强；且大多数硅片的放置架只能放置一种类型的硅片，如较厚的硅片，若需要清洗较薄的硅片时，若直接清洗就会造成混料，使用者清洗后需要花费大量时间筛分，其操作繁琐实用性不强的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有自动进料的硅片清洗设备，包括主体，所述主体由上机体和下机体组成，所述下机体内设置有储水盒，且下机体的后方外壁在储水盒的上方区域安装有抽水管，所述下机体的上方内壁与储水盒对应位置处设置有第一滤板，所述第一滤板的下方安装有转动销，所述下机体的右侧外壁设置有排污管，所述上机体由左工作罩和右工作罩组成，所述左工作罩的上方外壁设置有水箱，所述水箱由进水口、输水管、抽水管和水泵组成，且水箱的右侧安装有抽气泵，所述上机体的左侧外壁设置有进料口，所述进料口内安装有物料放置板，所述物料放置板的左侧外壁安装有定时器，所述定时器的右侧安装有第一电动推杆，所述第一电动推杆的右侧安装有推板，所述上机体的左侧外壁在进料口的下方区域开设有电源接口，且上机体的左侧外壁在进料口的上方区域安装有控制开关，所述物料放置板的下方安装有输送带，所述上机体的后方外壁与输送带对应位置处安装有转动电机，所述输送带的下方安装有限流板，且输送带的右侧安装有承载板，所述承载板的上方安装有推料转筒，所述上机体的前方外壁与推料转筒对应位置处安装有推料电机，所述右工作罩的右侧外壁开设有取料口，所述右工作罩的右侧外壁在取料口的下方区域安装有取料安置板，且且右工作罩的右侧外壁在取料口的上方区域安装有丝杠转动电机，所述丝杠转动电机的左侧安装有丝杠固定套，所述丝杠固定套内安装有丝杠，所述丝杠外套设有放置篮固定套，所述放置篮固定套的下方安装有电动推杆固定板，所述电动推杆固定板的下方安装有第二电动推杆，所述第二电动推杆的下方安装有电机承载板，所述电机承载板的下方安装有旋转电机，所述旋转电机的下方安装有放置篮，所述放置篮的下方安装有超声波清洗池，所述超声波清洗池内安装有杂质过滤板，所述杂质过滤板的下方安装有限位板，所述限位板的下方安装有振子，且限位板的上方外壁开设有排液口，所述排液口的下方安装有电磁阀，所述第一电动推杆与定时器电性连接，所述定时器、电磁阀、振子、旋转电机、第二电动推杆、丝杠转动电机、推料电机、转动电机、抽气泵、水泵、和第一电动推杆均与控制开关电性连接，所述控制开关通过电源接口与外界电源电性连接。优选的，所述左工作罩的上方内壁与外壁之间留有夹层，且夹层的下方外壁开设有透气孔。优选的，所述输送带由滚筒和传送带组成，所述传送带的上方外壁开设有限位槽，所述限位槽内开设有密集的透气孔。优选的，所述杂质过滤板的长度数值等于限位板的长度数值，且杂质过滤板的上方外壁开设有密集的透气孔。优选的，所述放置篮的左侧外壁开设有第一滤孔，且放置篮的右侧外壁开设有第二滤孔，所述第一滤孔的滤孔直径小于第二滤孔，所述放置篮内设置有限位槽，所述限位槽内安装有限位卡块。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该设备结构科学合理使用安全方便，且该设备设置有第一电动推杆和输送带，使用者只用在定时器上设定起到时间，之后，再在物料放置板上放置物料，定时器会直接控制电动推杆在一定时间的推料次数使的每次清洗时的数量一定，同时物料会经过输送带传送到承载板，之后使得物料通过推料转筒被推进放置篮，其操作简单方便无需手动，其可实现自动送料，其实用性较强；且该设备在超声波清洗前还设置有水淋操作，当物料通过左工作罩时水会将杂质清除掉一部分，使得物料进行超声波清洗使，其清洗后的杂质不会轻易堵塞超声波清洗池，导致设备不能正常使用，其经济效益较高实用性较强；且该设备在放置篮上设置有旋转电机，当物料进行超声波清洗时，打开旋转电机其会旋转使得物料与清洗液接触的更充分，同时还增大了清洗液的流动性使得杂质排出的更快，其清洗效果更好，不会轻易造成杂质残留，使得使用者必须要花费大量精力再次清洗的情况，其操作简单清洗效果好实用性强；且该设备在放置篮上设置有两个区域，同时还设置有限位卡块，使得使用者可以随时根据杂质多少或物料的体积来自我改变使得放置篮能够适应更多的情况，其市场竞争力更大，实用性更强，且该设备在输送带上设置有限位槽，其每次输送的物料的量都是固定的，最后包装时更方便，其实用性更强。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术的外观图；图3为本技术的右视图；图4为本技术放置篮俯视图；图5为本技术左工作罩俯视局部剖视图；图6为本技术放置篮结构示意图。图中：1-主体、2-上机体、3-下机体、4-储水盒、5-抽水管、6-第一滤板、7-排污管、8-电磁阀、9-左工作罩、10-右工作罩、11-进料口、12-物料放置板、13-定时器、14-第一电动推杆、15-推板、16-输送带、17-承载板、18-限流板、19-推料转筒、20-水箱、21-抽气泵、22-转动电机、23-超声波清洗池、24-振子、25-杂质过滤板、26-取料口、27-取料安置板、28-丝杠转动电机、29-丝杠固定套、30-丝杠、31-放置篮固定套、32-第二电动推杆、33-旋转电机、34-放置篮。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有自动进料的硅片清洗设备，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)由上机体(2)和下机体(3)组成，所述下机体(3)内设置有储水盒(4)，且下机体(3)的后方外壁在储水盒(4)的上方区域安装有抽水管(5)，所述下机体(3)的上方内壁与储水盒(4)对应位置处设置有第一滤板(6)，所述第一滤板(6)的下方安装有转动销，所述下机体(3)的右侧外壁设置有排污管(7)，所述上机体(2)由左工作罩(9)和右工作罩(10)组成，所述左工作罩(9)的上方外壁设置有水箱(20)，所述水箱(20)由进水口、输水管、抽水管和水泵组成，且水箱(20)的右侧安装有抽气泵(21)，所述上机体(2)的左侧外壁设置有进料口(11)，所述进料口(11)内安装有物料放置板(12)，所述物料放置板(12)的左侧外壁安装有定时器(13)，所述定时器(13)的右侧安装有第一电动推杆(14)，所述第一电动推杆(14)的右侧安装有推板(15)，所述上机体(2)的左侧外壁在进料口(11)的下方区域开设有电源接口，且上机体(2)的左侧外壁在进料口(11)的上方区域安装有控制开关，所述物料放置板(12)的下方安装有输送带(16)，所述上机体(2)的后方外壁与输送带(16)对应位置处安装有转动电机(22)，所述输送带(16)的下方安装有限流板(18)，且输送带(16)的右侧安装有承载板(17)，所述承载板(17)的上方安装有推料转筒(19)，所述上机体(2)的前方外壁与推料转筒(19)对应位置处安装有推料电机，所述右工作罩(10)的右侧外壁开设有取料口(26)，所述右工作罩(10)的右侧外壁在取料口(26)的下方区域安装有取料安置板(27)，且且右工作罩(10)的右侧外壁在取料口(26)的上方区域安装有丝杠转动电机(28)，所述丝杠转动电机(28)的左侧安装有丝杠固定套(29)，所述丝杠固定套(29)内安装有丝杠(30)，所述丝杠(30)外套设有放置篮固定套(31)，所述放置篮固定套(31)的下方安装有电动推杆固定板，所述电动推杆固定板的下方安装有第二电动推杆(32)，所述第二电动推杆(32)的下方安装有电机承载板，所述电机承载板的下方安装有旋转电机(33)，所述旋转电机(33)的下方安装有放置篮(34)，所述放置篮(34)的下方安装有超声波清洗池(23)，所述超声波清洗池(23)内安装有杂质过滤板(25)，所述杂质过滤板(25)的下方安装有限位板，所述限位板的下方安装有振子(24)，且限位板的上方外壁开设有排液口，所述排液口的下方安装有电磁阀(8)，所述第一电动推杆(14)与定时器(13)电性连接，所述定时器(13)、电磁阀(8)、振子(24)、旋转电机(33)、第二电动推杆(32)、丝杠转动电机(28)、推料电机、转动电机(22)、抽气泵(21)、水泵、和第一电动推杆(14)均与控制开关电性连接，所述控制开关通过电源接口与外界电源电性连接。...

【技术特征摘要】
1.一种具有自动进料的硅片清洗设备，包括主体(1)，其特征在于：所述主体(1)由上机体(2)和下机体(3)组成，所述下机体(3)内设置有储水盒(4)，且下机体(3)的后方外壁在储水盒(4)的上方区域安装有抽水管(5)，所述下机体(3)的上方内壁与储水盒(4)对应位置处设置有第一滤板(6)，所述第一滤板(6)的下方安装有转动销，所述下机体(3)的右侧外壁设置有排污管(7)，所述上机体(2)由左工作罩(9)和右工作罩(10)组成，所述左工作罩(9)的上方外壁设置有水箱(20)，所述水箱(20)由进水口、输水管、抽水管和水泵组成，且水箱(20)的右侧安装有抽气泵(21)，所述上机体(2)的左侧外壁设置有进料口(11)，所述进料口(11)内安装有物料放置板(12)，所述物料放置板(12)的左侧外壁安装有定时器(13)，所述定时器(13)的右侧安装有第一电动推杆(14)，所述第一电动推杆(14)的右侧安装有推板(15)，所述上机体(2)的左侧外壁在进料口(11)的下方区域开设有电源接口，且上机体(2)的左侧外壁在进料口(11)的上方区域安装有控制开关，所述物料放置板(12)的下方安装有输送带(16)，所述上机体(2)的后方外壁与输送带(16)对应位置处安装有转动电机(22)，所述输送带(16)的下方安装有限流板(18)，且输送带(16)的右侧安装有承载板(17)，所述承载板(17)的上方安装有推料转筒(19)，所述上机体(2)的前方外壁与推料转筒(19)对应位置处安装有推料电机，所述右工作罩(10)的右侧外壁开设有取料口(26)，所述右工作罩(10)的右侧外壁在取料口(26)的下方区域安装有取料安置板(27)，且且右工作罩(10)的右侧外壁在取料口(26)的上方区域安装有丝杠转动电机(28)，所述丝杠转动电机(28)的左侧安装有丝杠固定套(29)，所述丝杠固定套(29)内安装有...

【专利技术属性】
技术研发人员：马胜南，
申请(专利权)人：南轩天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12