一种新型硅片加工的定心台组件制造技术

本发明专利技术提供一种新型硅片加工的定心台组件，包括定心台安装支架部件、定心台旋转电机安装部件以及加工机构，定心台安装支架部件基于地面放置，该定心台安装支架部件由四根独立的套管组成，套管的管件底部均依次开设有若干个独立的上紧开孔，基于该上紧开孔的孔位底部密封连通有用于连接的一连接垫片，连接垫片的底部紧固设置有内角螺钉，本发明专利技术通过采用的套管、上顶板和四周比所设置的螺母垫片组件用于达成各类螺母的限位安装，上紧固完成后限制下端的套管的一体式的紧固安装，采用的连接拨动块和采用的调节拨动盘的盘面搅动状态实现限制，采用的连接立杆和定心台摆动气缸安装支架部件的牵引结构实现夹限制夹持。部件的牵引结构实现夹限制夹持。部件的牵引结构实现夹限制夹持。

【技术实现步骤摘要】
一种新型硅片加工的定心台组件


[0001]本专利技术属于硅片加工
，具体涉及一种新型硅片加工的定心台组件。

技术介绍

[0002]硅片全名叫：单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%，甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成，单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一；经检索申请号为“CN202120847442.5”所公开的“一种硅片背封机定心台”其记载了“本技术提供了一种硅片背封机定心台，包括安装支架、定位块，定位块与安装支架可拆卸连接；定位块上表面向下凹陷形成用于放置硅片的定位槽；所述定位槽在定位块上设有多个。本技术有益效果：本技术所述的一种硅片背封机定心台能够实现多种不同尺寸的硅片的定心、易于制造、故障率低、安全可靠、便于操作；设置有检测装置，通过光电传感器感知定位块上是否放置硅片。”，但该装置在使用时还存在以下缺陷：传统的定心台组件在进行加工时，其定位组件的抛光结构会导致后期的夹紧抛光比较困难，而且在后期抛光组件的夹持状态中其夹紧抛光比较困难，而且定心台组件在抛光夹紧阶段很难将指定的组件结构实现定位和抛光夹持。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种新型硅片加工的定心台组件，旨在解决现有技术中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种新型硅片加工的定心台组件，包括定心台安装支架部件、定心台旋转电机安装部件以及加工机构；定心台安装支架部件基于地面放置，该定心台安装支架部件由四根独立的套管组成；套管的管件底部均依次开设有若干个独立的上紧开孔，基于该上紧开孔的孔位底部密封连通有用于连接的一连接垫片，所述连接垫片的底部紧固设置有内角螺钉；该内角螺钉的上紧端通过所设的连接销与下端的紧固结构连接设置；四根所述套管的管件底部外侧壁均匀开设有若干个调节开槽，所述调节开槽的槽位底部与下端的紧固端螺纹安装设置，位于四根套管顶端均竖直支撑有一上顶板；所述上顶板的板面四周外侧壁均依次开设有若干个紧固螺钉，所述紧固螺钉的内侧壁分别环绕安装在上顶板板面四周外侧壁；其中上顶板与各类独立的套管的板面连接处安装有适配的螺母垫片组件；
所述上顶板的边侧还安装有标准件，所述标准件的顶端设有放置机构。
[0005]为了将扭矩电机的机壳的限位安装，作为本专利技术一种优选方案：所述定心台旋转电机安装部件包括安装设置在上顶板底端中部的高扭矩电机，所述高扭矩电机的顶部还竖直安装有电机限位套，所述电机限位套的顶端中部安装有用于防护支撑的连接侧板，所述连接侧板的板面侧壁中部均依次开设有若干个圆形开孔，若干个独立的圆形开孔的一端通过连接设置的大头螺钉还平齐设置有两独立的防护侧板，所述防护侧板的板面中部竖直安装有连接底座，所述连接底座的顶端中部与上顶板的板面底部紧固安装设置。
[0006]为了使得对于U型夹持架的安装，作为本专利技术一种优选方案：所述连接底座的顶端中部设有用于联动的一接入支架，所述接入支架的顶端中部设有用于联动支撑的U型夹持架，所述U型夹持架的顶端中部设有加工机构；所述加工机构包括安装设置在上顶板顶端中部的高速回转式快转接头，所述高速回转式快转接头的中部竖直安装有若干根连接立杆，若干根连接立杆的顶部两边侧分别设有快转式连接头，所述快转式连接头的顶端中部竖直安装有I型连接螺钉，所述I型连接螺钉的顶端中部设有定心台摆动气缸安装支架部件。
[0007]为了使得将对应的定心吸盘的组装，作为本专利技术一种优选方案：所述定心台摆动气缸安装支架部件的顶端中部安装有一调节连接立杆，所述调节连接立杆的杆体侧壁中部设有用于联动的定心台吸盘粘贴器，所述定心台吸盘粘贴器的两端中部设有铰接扣，所述铰接扣的顶端中部竖直安装有连接立杆，所述连接立杆的顶端中部设有上下承载支架，所述上下承载支架的顶端中部横向设有接入调节座。
[0008]为了使得将拨动立杆的杆体的限位，作为本专利技术一种优选方案：所述接入调节座的顶端两边侧均铰接有用于联动的拨动滚轴，所述拨动滚轴的顶端中部设有用于铰接的一连接拨动块，所述连接拨动块的侧壁中部横向设有连接基座，所述连接基座的一端安装有拨动立杆，所述拨动立杆的表面开设有若干个连接螺孔，所述连接螺孔的一端设有用于紧固的拨动连接扣，所述拨动连接扣的连接端设有铰接支架，所述铰接支架的一端设有拨动扣。
[0009]为了使得调节螺母结构的限制，作为本专利技术一种优选方案：所述连接拨动块的一端设有用于连接的调节机构，所述调节机构包括安装设置在调节机构中部的拨动基座，所述拨动基座的中部设有一调节螺母，所述调节螺母的一端设有用于限制的调节支撑架，所述调节支撑架的中部安装有一连接滚轴，所述连接滚轴的表面设有调节架，所述调节架的一端设有用于联动的一调节拨动盘，所述调节拨动盘的中部设有用于联动的转盘。
[0010]为了实现调节连接架的夹持结构方面的夹持，作为本专利技术一种优选方案：所述转盘的表面设有用于紧固调节卡扣，所述紧固调节卡扣的一端设有用于连接的拨动孔，所述调节拨动盘的底端中部设有用于联动的驱动机构，所述驱动机构包括一调节连接架，所述调节连接架的一端设有用于连接的拨动支架，所述拨动支架的边侧设有用于连接的一调节螺钉；所述调节螺钉的一端安装有用于扣接的调节基座。
[0011]为了使得将调节拨动盘的夹紧，作为本专利技术一种优选方案：所述调节拨动盘的边侧安装有一旋转机构；所述旋转机构包括安装设置在上顶板一端的载具旋转轴固定座，所述载具旋转轴
固定座的底部安装有旋转载具焊接总成，所述旋转载具焊接总成的底端两边分别设有载具调节滑动支架，所述载具调节滑动支架的前端还设有用于联动设置的一槽内旋转主动轴固定架，所述槽内旋转主动轴固定架的一端还设有若干个独立的十字盘头螺钉，所述十字盘头螺钉的中部设有用于啮合转动的一驱动齿轮。
[0012]为了使得对于竖直立板的结构实现扣紧后的限位，作为本专利技术一种优选方案：所述驱动齿轮数量为3个，且之间的连接端通过啮合所设的啮合槽联动设置，其中位于所述驱动齿轮的底部位置还啮合连接有一载具旋转轴连接齿，所述载具旋转轴连接齿的后端安装有一接入架，所述接入架的一端设有一侧壁固定座，所述侧壁固定座的中部安装有一调节支架，所述调节支架的一端安装有一槽内旋转齿轮挡板，所述旋转齿轮挡板的顶端中部侧壁安装有一竖直立板，所述竖直立板的一端安装有用于联动设置的承载板。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：通过采用的套管、上顶板和四周比所设置的螺母垫片组件用于达成各类螺母的限位安装，上紧固完成后限制下端的套管的一体式的紧固安装，采用的连接拨动块和采用的调节本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型硅片加工的定心台组件，包括定心台安装支架部件（1）、定心台旋转电机安装部件（2）以及加工机构（3）；其特征在于：定心台安装支架部件（1）基于地面放置，该定心台安装支架部件（1）由四根独立的套管（11）组成；套管（11）的管件底部均依次开设有若干个独立的上紧开孔（12），基于该上紧开孔（12）的孔位底部密封连通有用于连接的一连接垫片（13），所述连接垫片（13）的底部紧固设置有内角螺钉（14）；该内角螺钉（14）的上紧端通过所设的连接销与下端的紧固结构连接设置；四根所述套管（11）的管件底部外侧壁均匀开设有若干个调节开槽（15），所述调节开槽（15）的槽位底部与下端的紧固端螺纹安装设置，位于四根套管（11）顶端均竖直支撑有一上顶板（16）；所述上顶板（16）的板面四周外侧壁均依次开设有若干个紧固螺钉（17），所述紧固螺钉（17）的内侧壁分别环绕安装在上顶板（16）板面四周外侧壁；其中上顶板（16）与各类独立的套管（11）的板面连接处安装有适配的螺母垫片组件（18）；所述上顶板（16）的边侧还安装有标准件（19），所述标准件（19）的顶端设有放置机构。2.根据权利要求1所述的一种新型硅片加工的定心台组件，其特征在于：所述定心台旋转电机安装部件（2）包括安装设置在上顶板（16）底端中部的高扭矩电机（21），所述高扭矩电机（21）的顶部还竖直安装有电机限位套（22），所述电机限位套（22）的顶端中部安装有用于防护支撑的连接侧板（23），所述连接侧板（23）的板面侧壁中部均依次开设有若干个圆形开孔（24），若干个独立的圆形开孔（24）的一端通过连接设置的大头螺钉还平齐设置有两独立的防护侧板（25），所述防护侧板（25）的板面中部竖直安装有连接底座，所述连接底座的顶端中部与上顶板（16）的板面底部紧固安装设置。3.根据权利要求2所述的一种新型硅片加工的定心台组件，其特征在于：所述连接底座的顶端中部设有用于联动的一接入支架（26），所述接入支架（26）的顶端中部设有用于联动支撑的U型夹持架（27），所述U型夹持架（27）的顶端中部设有加工机构（3）；所述加工机构（3）包括安装设置在上顶板（16）顶端中部的高速回转式快转接头（31），所述高速回转式快转接头（31）的中部竖直安装有若干根连接立杆（32），若干根所述连接立杆（32）的顶部两边侧分别设有快转式连接头（33），所述快转式连接头（33）的顶端中部竖直安装有I型连接螺钉（34），所述I型连接螺钉（34）的顶端中部设有定心台摆动气缸安装支架部件（35）。4.根据权利要求3所述的一种新型硅片加工的定心台组件，其特征在于：所述定心台摆动气缸安装支架部件（35）的顶端中部安装有一调节连接立杆（36），所述调节连接立杆（36）的杆体侧壁中部设有用于联动的定心台吸盘粘贴器（37），所述定心台吸盘粘贴器（37）的两端中部设有铰接扣（38），所述铰接扣（38）的顶端中部竖直安装有承载立杆（39），所述承载立杆（39）的顶端中部设有上下承载支架（391），所述上下承载支架（391）的顶端中部横向设有接入调节座（392）。5.根据权利要求4所述的一种新型硅片加工...

【专利技术属性】
技术研发人员：马胜南，轩云喜，陈永春，陈平，任玉飞，王旭光，
申请(专利权)人：南轩天津科技有限公司，
类型：发明
国别省市：