【技术实现步骤摘要】
一种新型硅片加工的定心台组件
[0001]本专利技术属于硅片加工
，具体涉及一种新型硅片加工的定心台组件。
技术介绍
[0002]硅片全名叫：单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%，甚至达到99.9999999%以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成，单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一；经检索申请号为“CN202120847442.5”所公开的“一种硅片背封机定心台”其记载了“本技术提供了一种硅片背封机定心台，包括安装支架、定位块，定位块与安装支架可拆卸连接；定位块上表面向下凹陷形成用于放置硅片的定位槽；所述定位槽在定位块上设有多个...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种新型硅片加工的定心台组件，包括定心台安装支架部件（1）、定心台旋转电机安装部件（2）以及加工机构（3）；其特征在于：定心台安装支架部件（1）基于地面放置，该定心台安装支架部件（1）由四根独立的套管（11）组成；套管（11）的管件底部均依次开设有若干个独立的上紧开孔（12），基于该上紧开孔（12）的孔位底部密封连通有用于连接的一连接垫片（13），所述连接垫片（13）的底部紧固设置有内角螺钉（14）；该内角螺钉（14）的上紧端通过所设的连接销与下端的紧固结构连接设置；四根所述套管（11）的管件底部外侧壁均匀开设有若干个调节开槽（15），所述调节开槽（15）的槽位底部与下端的紧固端螺纹安装设置，位于四根套管（11）顶端均竖直支撑有一上顶板（16）；所述上顶板（16）的板面四周外侧壁均依次开设有若干个紧固螺钉（17），所述紧固螺钉（17）的内侧壁分别环绕安装在上顶板（16）板面四周外侧壁；其中上顶板（16）与各类独立的套管（11）的板面连接处安装有适配的螺母垫片组件（18）；所述上顶板（16）的边侧还安装有标准件（19），所述标准件（19）的顶端设有放置机构。2.根据权利要求1所述的一种新型硅片加工的定心台组件，其特征在于：所述定心台旋转电机安装部件（2）包括安装设置在上顶板（16）底端中部的高扭矩电机（21），所述高扭矩电机（21）的顶部还竖直安装有电机限位套（22），所述电机限位套（22）的顶端中部安装有用于防护支撑的连接侧板（23），所述连接侧板（23）的板面侧壁中部均依次开设有若干个圆形开孔（24），若干个独立的圆形开孔（24）的一端通过连接设置的大头螺钉还平齐设置有两独立的防护侧板（25），所述防护侧板（25）的板面中部竖直安装有连接底座，所述连接底座的顶端中部与上顶板（16）的板面底部紧固安装设置。3.根据权利要求2所述的一种新型硅片加工的定心台组件，其特征在于：所述连接底座的顶端中部设有用于联动的一接入支架（26），所述接入支架（26）的顶端中部设有用于联动支撑的U型夹持架（27），所述U型夹持架（27）的顶端中部设有加工机构（3）；所述加工机构（3）包括安装设置在上顶板（16）顶端中部的高速回转式快转接头（31），所述高速回转式快转接头（31）的中部竖直安装有若干根连接立杆（32），若干根所述连接立杆（32）的顶部两边侧分别设有快转式连接头（33），所述快转式连接头（33）的顶端中部竖直安装有I型连接螺钉（34），所述I型连接螺钉（34）的顶端中部设有定心台摆动气缸安装支架部件（35）。4.根据权利要求3所述的一种新型硅片加工的定心台组件，其特征在于：所述定心台摆动气缸安装支架部件（35）的顶端中部安装有一调节连接立杆（36），所述调节连接立杆（36）的杆体侧壁中部设有用于联动的定心台吸盘粘贴器（37），所述定心台吸盘粘贴器（37）的两端中部设有铰接扣（38），所述铰接扣（38）的顶端中部竖直安装有承载立杆（39），所述承载立杆（39）的顶端中部设有上下承载支架（391），所述上下承载支架（391）的顶端中部横向设有接入调节座（392）。5.根据权利要求4所述的一种新型硅片加工...
【专利技术属性】
技术研发人员：马胜南，轩云喜，陈永春，陈平，任玉飞，王旭光，
申请(专利权)人：南轩天津科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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