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本发明提供一种新型硅片加工的定心台组件，包括定心台安装支架部件、定心台旋转电机安装部件以及加工机构，定心台安装支架部件基于地面放置，该定心台安装支架部件由四根独立的套管组成，套管的管件底部均依次开设有若干个独立的上紧开孔，基于该上紧开孔的孔...
该专利属于南轩（天津）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南轩（天津）科技有限公司授权不得商用。

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