【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及单晶硅片加工，具体为一种硅片旋转抛光头组件。
技术介绍
1、单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。
2、经过检索发现申请号为：cn201820586869.2的硅片旋转装置和硅片分选机，其内容为：本申请揭示了一种硅片旋转装置和硅片分选机，属于硅片分选
该硅片旋转装置包括旋转驱动部、升降驱动部和旋转平台，其中：旋转平台上设置有用于吸附硅片的吸附孔；旋转驱动部与旋转平台连接，旋转驱动部带动旋转平台在水平方向上旋转；升降驱动部同时驱动旋转驱动部和旋转平台进行升降运动。本申请利用旋转驱动部提升旋转平台以顶起硅片，利用旋转驱动部驱动旋转平台旋转以带动硅片旋转，达到了不仅避免旋转平台对传输中硅片的影响，还实现了对待旋转硅片的自动旋转的效果。但是还存在以下问题：
3、在传统的硅片抛光加工方面比较单一且无法将抛光头实现更进一步的适配性的加工，导致后期现在落实于硅片旋转抛光的环节上比较单一且具体的抛光的硅片组合适应性的旋转方面无法进一步的加以夹持；
4、传统的硅片旋转抛光方面比较困难的是对于抛光头的组合式的夹紧组件方面比较困难，严重影响到了后期硅片的旋转抛光。
技术实现思路
1、本专利技
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种硅片旋转抛光头组件，一种硅片旋转抛光头组件，包括一支撑机构，所述支撑机构包括一承载底板，所述承载底板的板面侧壁中部安装有一连接承载架，所述连接承载架的侧壁中部开设有一贴合承载板，所述贴合承载板的板面中部均铰接有一传动轴；
3、所述传动轴的侧壁中部横向设有一第一传动滚轴，所述第一传动滚轴的两边侧均设有若干个用于铰接的一第二传动滚轴，所述第二传动滚轴的顶端中部铰接有一紧固螺母，所述紧固螺母的一端安装有l型支架；
4、所述l型支架的底端中部安装有一连接垫片；
5、所述连接垫片的表面开设有若干个开孔；
6、所述l型支架的顶部两边侧分别穿插设有若干根连通杆，若干根所述连通杆的杆体中部横向设有一夹紧端。
7、作为本专利技术一种优选方案：所述夹紧端包括设置在两l型支架顶端中部的一连接横板；
8、其中该连接横板的顶端中部设有用于支撑的升降压缸基座，所述升降压缸基座的一端设有用于支撑的连接套筒，所述连接套筒的四边角位置均竖直安装有第一调节支架，所述第一调节支架的杆体顶端安装有气动座，所述气动座的后端依次设有三根连接阀，所述连接阀的阀体一端设有一u型接入套管，所述u型接入套管的一端安装有一连通套管，所述连通套管的一端设有用于接入的接入头。
9、作为本专利技术一种优选方案：所述l型支架的底端中部并排设有若干个独立的抛光机构；
10、抛光机构包括设置在连接横板底部的抛光底盘，所述抛光底盘的盘面顶端中部传动设有一第三传动滚轴，所述第三传动滚轴的顶端设有联动垫片，所述联动垫片的顶端中部竖直安装有安放座，所述承载底板的侧壁位置还设有用于支撑的加工机构，所述加工机构包括安装设置在承载底板顶端中部的方形承载板，所述方形承载板的顶部两边侧均设有加工托盘，所述加工托盘的中部安装有一装配顶盖。
11、作为本专利技术一种优选方案：所述方形承载板的顶端中部设有用于夹持的夹持限位机构；
12、所述夹持限位机构包括安装设置在方形承载板两边侧的一三角支架，所述三角支架的顶端中部设有一连接三角，所述连接三角的顶端四个边角处均设有承载立杆，所述承载立杆的顶端中部开设有圆形开槽，所述圆形开槽的中部竖直安装有调节基座。
13、作为本专利技术一种优选方案：所述调节基座的顶端中部设有一驱动电机，所述驱动电机的底端中部安装有连接杆轴，所述连接杆轴的底端中部设有连接基座，所述连接基座的顶部四边角位置均竖直安装有接入承载支架，所述接入承载支架的底端中部安装有第二调节支架，所述第二调节支架的顶端中部设有调节顶板。
14、作为本专利技术一种优选方案：所述调节顶板的板面顶部十字交叉设有拨动承载架，所述拨动承载架的一端设有用于调节的装配支架，所述装配支架顶端中部安装有一连接顶板，所述拨动承载架顶端中部设有调节顶杆，所述调节顶杆的一端设有u型支架，所述u型支架的底端中部安装有一接入底座，所述接入底座的底端中部设有用于铰接的控制柜，所述控制柜的顶端中部竖直安装有一承载架。
15、作为本专利技术一种优选方案：所述承载架的边侧设有一装配支架，所述装配顶盖的顶端中部安装有旋转机构；
16、所述旋转机构包括安装设置在装配顶盖顶端中部的一调节挂耳，所述调节挂耳的一端设有螺钉安装垫，所述螺钉安装垫的顶部四个边角位置均开设有圆形开孔，所述圆形开孔的孔位一端设有紧固螺钉，所述紧固螺钉的底部与若干个独立的调节挂耳的表面贴合设置。
17、作为本专利技术一种优选方案：所述调节挂耳环绕设置在调节挂耳四周的调节盘，所述调节盘的边缘位置均开设有若干个圆形上紧孔，若干个所述圆形上紧孔的孔位内部内嵌有用于螺纹连接的一上紧螺母；
18、上紧螺母的底部螺纹安装有转动盘，所述转动盘的中部设有用于驱动的联动盘，所述联动盘的四周外围均内嵌有一螺钉孔，所述螺钉孔环绕开设在指定的联动盘的四周外侧侧壁，位于所述转动盘的两边侧分别安装有夹持机构。
19、作为本专利技术一种优选方案：所述夹持机构包括设置在转动盘四周外侧壁的翻转扣，该翻转扣的扣接端与下端的传动支架紧固设置，所述传动支架的底端中部设有用于铰接的拨动支架，所述传动支架的一端安装有用于调节的夹持板，所述夹持板的一端设有用于调节的夹持架，所述夹持架的中部设有用于联动的安装撑杆，所述安装撑杆的底端中部设有连接立杆，所述连接立杆的底端中部设有梯形基座。
20、作为本专利技术一种优选方案：所述连接立杆的一端安装有承载支架，所述承载支架的顶端中部竖直安装有限位滚轴，所述限位滚轴的顶端中部横向安装有横向板；
21、所述横向板的顶端中部竖直安装有一连接撑杆，所述连接撑杆的顶端中部安装有微调架。
22、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
23、1）通过设有的承载底板和连接承载架的夹紧状态下，对应着传动滚轴的轴向转动后拨动前端的l型支架的铰接结构实现翻转后实现了对应着的u型支架的夹紧端实现连接，采用的连接基座的联动放置后实现传动式的旋转，采用的连接顶板和底端的承载架的夹紧后实现接触并加以限位；
24、2）通过采用的转动盘和圆形上紧孔的孔位旋转后进而促成了对应的转动盘的盘面旋转后进而达成了对于顶端的联动盘的盘面旋转后加以抛光和切割，依照联动盘盘面的旋转状态下，接触进而达成了对本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种硅片旋转抛光头组件，包括一支撑机构（1），其特征在于，所述支撑机构（1）包括一承载底板（11），所述承载底板（11）的板面侧壁中部安装有一连接承载架（12），所述连接承载架（12）的侧壁中部开设有一贴合承载板（14），所述贴合承载板（14）的板面中部均铰接有一传动轴（15）；
2.根据权利要求1所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述夹紧端（2）包括设置在两L型支架（19）顶端中部的一连接横板（21）；
3.根据权利要求1所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述L型支架（19）的底端中部并排设有若干个独立的抛光机构（3）；
4.根据权利要求3所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述方形承载板（41）的顶端中部设有用于夹持的夹持限位机构（5）；
5.根据权利要求4所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述调节基座（55）的顶端中部设有一驱动电机（56），所述驱动电机（56）的底端中部安装有连接杆轴（57），所述连接杆轴（57）的底端中部设有连接基座（58），所述连接基座（58）的顶部四边角位置均竖直安装有
6.根据权利要求5所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述调节顶板（592）的板面顶部十字交叉设有拨动承载架（593），所述拨动承载架（593）的一端设有用于调节的装配支架，所述装配支架顶端中部安装有一连接顶板（594），所述拨动承载架（593）顶端中部设有调节顶杆，所述调节顶杆的一端设有U型支架（596），所述U型支架（596）的底端中部安装有一接入底座（597），所述接入底座（597）的底端中部设有用于铰接的控制柜（598），所述控制柜（598）的顶端中部竖直安装有一承载架（599）。
7.根据权利要求6所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述承载架（599）的边侧设有一装配支架，所述装配顶盖（43）的顶端中部安装有旋转机构（6）；
8.根据权利要求7所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述调节挂耳（61）环绕设置在调节挂耳（61）四周的调节盘（65），所述调节盘（65）的边缘位置均开设有若干个圆形上紧孔（66），若干个所述圆形上紧孔（66）的孔位内部内嵌有用于螺纹连接的一上紧螺母（67）；
9.根据权利要求8所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述夹持机构（7）包括设置在转动盘（68）四周外侧壁的翻转扣（71），该翻转扣（71）的扣接端与下端的传动支架（72）紧固设置，所述传动支架（72）的底端中部设有用于铰接的拨动支架（73），所述传动支架（72）的一端安装有用于调节的夹持板（74），所述夹持板（74）的一端设有用于调节的夹持架，所述夹持架的中部设有用于联动的安装撑杆（75），所述安装撑杆（75）的底端中部设有连接立杆（76），所述连接立杆（76）的底端中部设有梯形基座（77）。
10.根据权利要求9所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述连接立杆（76）的一端安装有承载支架（77），所述承载支架（77）的顶端中部竖直安装有限位滚轴（78），所述限位滚轴（78）的顶端中部横向安装有横向板（79）；
...【技术特征摘要】
1.一种硅片旋转抛光头组件，包括一支撑机构（1），其特征在于，所述支撑机构（1）包括一承载底板（11），所述承载底板（11）的板面侧壁中部安装有一连接承载架（12），所述连接承载架（12）的侧壁中部开设有一贴合承载板（14），所述贴合承载板（14）的板面中部均铰接有一传动轴（15）；
2.根据权利要求1所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述夹紧端（2）包括设置在两l型支架（19）顶端中部的一连接横板（21）；
3.根据权利要求1所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述l型支架（19）的底端中部并排设有若干个独立的抛光机构（3）；
4.根据权利要求3所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述方形承载板（41）的顶端中部设有用于夹持的夹持限位机构（5）；
5.根据权利要求4所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述调节基座（55）的顶端中部设有一驱动电机（56），所述驱动电机（56）的底端中部安装有连接杆轴（57），所述连接杆轴（57）的底端中部设有连接基座（58），所述连接基座（58）的顶部四边角位置均竖直安装有接入承载支架（59），所述接入承载支架（59）的底端中部安装有第二调节支架（591），所述第二调节支架（591）的顶端中部设有调节顶板（592）。
6.根据权利要求5所述的一种硅片旋转抛光头组件，其特征在于：所述调节顶板（592）的板面顶部十字交叉设有拨动承载架（593），所述拨动承载架（593）的一端设有用于调节的装配支架，所述装配支架顶端中部安装有一连接顶板（594），所述拨动承载架（593）顶端中部设有调节顶杆，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：马胜南，陈永春，陈平，任玉飞，王旭光，
申请(专利权)人：南轩天津科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。