本发明专利技术公开了一种晶圆片剥离装置，包括盒体、切割装置、定位装置、限位组件及推进组件，盒体的前内侧壁、后内侧壁和底壁形成为连续的向下凹陷的承载弧面，限位组件固接在盒体的左内侧壁上，推进组件固接在盒体的右内侧壁上，推进组件沿靠近或远离限位组件的方向伸缩。根据本发明专利技术的晶圆片剥离装置，通过设置承载弧面，晶圆片可以整齐放置在承载弧面上，解胶液可以清洗残留的胶水，推进组件可以将晶圆片压紧在限位组件上，实现晶圆片的整齐码放，而且随着靠近限位组件的晶圆片不断转移到后续加工装置，通过推进组件的伸长可以始终压紧剩余的晶圆片，从而形成剥离晶圆片这一工序的循环，实现了自动化剥离晶圆片，节省了人工成本，提高了作业效率。提高了作业效率。提高了作业效率。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆片剥离装置
[0001]本专利技术涉及晶圆片技术加工领域，具体是指一种晶圆片剥离装置。
技术介绍
[0002]硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，晶圆片由晶圆棒切割而来，在晶圆片的相关加工工序中，晶圆棒在切割前会用胶水粘接在树脂板上，经设备切割而形成一片一片的晶圆片，之后清洁晶圆片上残留的胶水，并将晶圆片一一取出，进入后续的打磨工序。
[0003]在现有的技术中，通常将切割后的晶圆片浸泡在热水中，并加入解胶剂以软化胶水，从而将晶圆片剥离，这一工序往往由人工手动操作，技术人员需要佩戴耐高温手套并手工清洁晶圆片上残留的胶水，之后将晶圆片一一取出。这一过程不仅容易造成技术人员烫伤，而且人工成本较高，作业效率低下。
[0004]因此本领域技术人员需要一种散热效果均匀，且散热效率较高的晶圆片剥离装置用以克服上述问题。
技术实现思路
[0005]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提出了一种晶圆片剥离装置，为了解决剥离晶圆片由人工手动操作，且人工成本较高，作业效率低下的技术缺陷，本专利技术创造性地通过将盒体的前内侧壁、后内侧壁和底壁形成为连续的向下凹陷的承载弧面，经过切割装置切割的晶圆片可以整齐放置在承载弧面上，盒体中流动的解胶液可以软化并清洗晶圆片上残留的胶水，推进组件可以将晶圆片压紧在限位组件上，从而实现晶圆片的整齐码放，而且随着靠近限位组件的晶圆片不断转移到后续加工装置，通过推进组件的伸长可以始终压紧剩余的晶圆片，从而形成剥离晶圆片这一工序的循环，实现了自动化剥离晶圆片，节省了人工成本，提高了作业效率。
[0006]本专利技术采取的技术方案如下：本专利技术提出了一种晶圆片剥离装置，包括盒体、切割装置、定位装置、限位组件及推进组件，所述盒体的顶部敞开，所述盒体的前内侧壁、后内侧壁和底壁形成为连续的向下凹陷的承载弧面，所述定位装置有两组且每组所述定位装置包括定位平台及定位件，所述定位平台分别固接在所述盒体的前外侧壁和后外侧壁上，所述定位件分别滑动设置在所述定位平台上，所述切割装置包括两个切割定位块及多束切割丝，两个所述切割定位块分别设置在两个所述定位平台上且与所述定位件抵接，多束所述切割丝平行设置在两个所述切割定位块之间，所述限位组件固接在所述盒体的左内侧壁上，所述推进组件固接在所述盒体的右内侧壁上，所述推进组件沿靠近或远离所述限位组件的方向伸缩。根据本专利技术的晶圆片剥离装置，通过将盒体的前内侧壁、后内侧壁和底壁形成为连续的向下凹陷的承载弧面，经过切割装置切割的晶圆片可以整齐放置在承载弧面上，盒体中流动的解胶液可以软
化并清洗晶圆片上残留的胶水，推进组件可以将晶圆片压紧在限位组件上，从而实现晶圆片的整齐码放，而且随着靠近限位组件的晶圆片不断转移到后续加工装置，通过推进组件的伸长可以始终压紧剩余的晶圆片，从而形成剥离晶圆片这一工序的循环，实现了自动化剥离晶圆片，节省了人工成本，提高了作业效率。
[0007]根据本专利技术的一些实施例，所述盒体的右壁上形成有贯穿的进水孔，所述进水孔远离所述限位组件的一端连接有可开关的进水管，所述盒体的底壁上形成有贯穿的排水孔，所述排水孔远离所述定位装置的一端连接有可开关的排水管。通过设置上述结构，可以更加方便地清洁晶圆片，实现自动化清洁晶圆片。
[0008]根据本专利技术的一些实施例，所述定位平台的顶壁上设有导轨，所述定位件的底部设有与所述导轨配合的滑块。通过滑块与滑轨的配合可以实现定位件在定位平台上滑动，结构简单有效，提高了晶圆片剥离装置的实用性。
[0009]根据本专利技术的一些实施例，所述晶圆片剥离装置包括抓取装置，所述盒体内形成有转移空间，所述承载弧面上形成有转移入口，所述转移入口与所述转移空间连通，所述盒体的后外侧壁上形成有转移出口，所述转移出口与所述转移空间连通，所述抓取装置包括支架及抓取件，所述支架设在所述转移空间内，所述抓取件可移动地与支架连接，所述抓取件密封或打开所述转移入口。抓取件可以拾取晶圆片从转移入口进入转移空间，并且晶圆片可以从转移出口离开盒体，抓取件可以沿支架的延伸方向移动，使得晶圆片沿支架的延伸方向移动，在清洁晶圆片时，抓取件可以密封转移入口，防止解胶液泄露，在清洁晶圆片完成并排出解胶液后，抓取件打开转移入口并逐片将晶圆片转移到后续加工装置。
[0010]根据本专利技术的一些可选实施例，所述晶圆片剥离装置包括辅助推进装置，所述盒体内形成有推进空间且所述推进空间位于所述转移空间的对侧，所述承载弧面上形成有辅助推进口，所述辅助推进装置包括动力装置及辅助推进臂，所述动力装置设在所述推进空间内，所述辅助推进臂穿设于所述辅助推进口并密封所述辅助推进口，所述动力装置带动所述辅助推进臂沿靠近或远离所述抓取装置地方向伸缩。辅助推进臂可以协助抓取件将晶圆片移动到转移空间中，从而提高了剥离装置的可靠性。
[0011]根据本专利技术的一些可选实施例，所述晶圆片剥离装置包括传送装置，所述传送装置包括传送壳体和传送带组件，所述传送壳体与所述盒体固接并密封所述转移出口，所述传送壳体沿远离所述盒体的方向延伸，所述传送带组件与所述支架连接。经抓取件拾取的晶圆片可以从转移出口进入传送装置，传送带组件可以拾取晶圆片并传送至后续加工装置。
[0012]进一步地，所述晶圆片剥离装置包括深度清洁装置，所述深度清洁装置包括清洁壳体、翻转装置及清洁模块，所述清洁壳体连接在所述传送壳体远离所述盒体的一端，所述翻转装置设在所述清洁壳体内且与所述传送带组件连接，所述清洁模块设在所述清洁壳体内。清洁模块可以进一步清洁晶圆片，翻转装置可以将竖直放置的晶圆片翻转为水平放置，从而方便对晶圆片深度清洁。
[0013]根据本专利技术的一些实施例，所述限位组件有三组，每组限位组件包括限位柱及限位件，三个所述限位柱分别固接在所述盒体的左内侧壁上，所述限位件固接在对应的所述限位柱上。三组限位组件可以实现对晶圆片的三点限位，在推进组件压紧晶圆片时可以防止晶圆片发生翻转，从而提高了晶圆片剥离装置的可靠性。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，所述推进组件有两组，每组推进组件包括推进柱及推进件，两个所述推进柱分别固接在所述盒体的右内侧壁上，所述推进件固接在对应的所述推进柱上。两组推进组件可以更加稳定地压紧晶圆片，防止晶圆片发生翻转，从而提高了晶圆片剥离装置的可靠性。
[0015]根据本专利技术的一些可选实施例，所述盒体及所述清洁模块内装有解胶液，所述解胶液内溶解有解胶剂，解胶剂可以有效软化粘接晶圆棒时所用的胶水。
[0016]采用上述结构本专利技术取得的有益效果如下：（1）通过将盒体的前内侧壁、后内侧壁和底壁形成为连续的向下凹陷的承载弧面，经过切割装置切割的晶圆片可以整齐放置在承载弧面上，盒体中流动的解胶液可以软化并清洗晶圆片上残留的胶水，推进组件可以将晶圆片压紧在限位组件上，从而实现晶圆片的整齐码放，而且随着靠近限位组件的晶圆片不断转移到后续加工装置，通过推进组件的伸长可以始终压紧剩余的晶圆片，从而本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆片剥离装置，其特征在于，包括：盒体（1）、切割装置（2）、定位装置（3）、限位组件（4）及推进组件（5），所述盒体（1）的顶部敞开，所述盒体（1）的前内侧壁、后内侧壁和底壁形成为连续的向下凹陷的承载弧面（11），所述定位装置（3）有两组且每组所述定位装置（3）包括定位平台（31）及定位件（32），所述定位平台（31）分别固接在所述盒体（1）的前外侧壁和后外侧壁上，所述定位件（32）分别滑动设置在所述定位平台（31）上，所述切割装置（2）包括两个切割定位块（21）及多束切割丝（22），两个所述切割定位块（21）分别设置在两个所述定位平台（31）上且与所述定位件（32）抵接，多束所述切割丝（22）平行设置在两个所述切割定位块（21）之间，所述限位组件（4）固接在所述盒体（1）的左内侧壁上，所述推进组件（5）固接在所述盒体（1）的右内侧壁上，所述推进组件（5）沿靠近或远离所述限位组件（4）的方向伸缩。2.根据权利要求1所述的一种晶圆片剥离装置，其特征在于，所述盒体（1）的右壁上形成有贯穿的进水孔（12），所述进水孔（12）远离所述限位组件（4）的一端连接有可开关的进水管（121），所述盒体（1）的底壁上形成有贯穿的排水孔（13），所述排水孔（13）远离所述定位装置（3）的一端连接有可开关的排水管（131）。3.根据权利要求1所述的一种晶圆片剥离装置，其特征在于，所述定位平台（31）的顶壁上设有导轨（311），所述定位件（32）的底部设有与所述导轨（311）配合的滑块（321）。4.根据权利要求1所述的一种晶圆片剥离装置，其特征在于，包括：抓取装置（6），所述盒体（1）内形成有转移空间，所述承载弧面（11）上形成有转移入口（111），所述转移入口（111）与所述转移空间连通，所述盒体（1）的后外侧壁上形成有转移出口，所述转移出口与所述转移空间连通，所述抓取装置（6）包括支架（61）及抓取件（62），所述支架（61）设在所述转移空间内，所述抓取件（62）可移动地与支架（61）连接，所述抓取件（62）密封或打开所述转移入口（111）。5...
【专利技术属性】
技术研发人员：马胜南，
申请(专利权)人：南轩天津科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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