下载一种晶圆片剥离装置的技术资料

文档序号:38366941

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本发明公开了一种晶圆片剥离装置,包括盒体、切割装置、定位装置、限位组件及推进组件,盒体的前内侧壁、后内侧壁和底壁形成为连续的向下凹陷的承载弧面,限位组件固接在盒体的左内侧壁上,推进组件固接在盒体的右内侧壁上,推进组件沿靠近或远离限位组件的方...
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