一种硅片边缘剥离机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片边缘剥离机，包括底板、结构块和往复丝杆，所述底板顶部开设有放置槽，所述放置槽内部胶合有一号防护垫，所述底板顶部两端通过螺纹槽连接有一号辅助杆，所述一号辅助杆之间通过轴承安装有丝杆，所述丝杆外侧通过螺纹槽套设有顶板，所述顶板顶部套设套设有立杆，所述立杆底部通过螺纹槽连接有压板，所述压板底部胶合有二号防护垫。本实用新型专利技术方便对硅片进行固定，且可以有效对硅片进行保护，避免其损坏、移位，同时方便调节高度。高度。高度。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片边缘剥离机


[0001]本技术涉及硅片加工设备
，特别涉及一种硅片边缘剥离机。

技术介绍

[0002]单晶硅片简称硅片，是一种圆形的片状材料，其原子经过人工重新排列，是具有晶向的高纯半导体材料，是信息技术和集成电路的基础材料。
[0003]硅片生产的外延工序中一般需要注意自掺杂现象，即外延反应器中，硅片中的重掺成分或杂质在高温下会挥发至气相并参与到外延反应中，严重影响外延层的品质，背封工艺是常用的阻止自掺杂现象的手段，通过在硅片背面沉积二氧化硅薄膜(氧化层)来阻挡重掺成分或杂质的挥发，背封二氧化硅薄膜一般采用气相沉积法沉积，沉积现象将会在晶圆的背面与边缘发生，边缘沉积的二氧化硅薄膜将会对后续倒角处理工艺产生不良影响，因此需要去除。
[0004]现有的一种硅片边缘剥离机不足之处在于：1整体结构复杂，不方便控制打磨块的高度，剥离硅片表面二氧化硅薄膜时容易压坏硅片；2、不能有效对硅片进行固定、保护，剥离硅片边缘的二氧化硅薄膜时容易导致硅片移位。为此，我们提出一种硅片边缘剥离机。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种硅片边缘剥离机，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0007]一种硅片边缘剥离机，包括底板、结构块和往复丝杆，所述底板顶部开设有放置槽，所述放置槽内部胶合有一号防护垫，所述底板顶部两端通过螺纹槽连接有一号辅助杆，所述一号辅助杆之间通过轴承安装有丝杆，所述丝杆外侧通过螺纹槽套设有顶板，所述顶板顶部套设套设有立杆，所述立杆底部通过螺纹槽连接有压板，所述压板底部胶合有二号防护垫。
[0008]进一步地，所述结构块通过螺栓固定有顶板顶部两端，所述结构块之间通过轴承安装有往复丝杆，所述往复丝杆外侧套设有内螺纹滑块，所述内螺纹滑块一侧通过安装架安装有小型电机，所述小型电机底部输出抽通过连接套连接有连接杆，所述连接杆底部通过螺栓固定有打磨块，所述结构块一端通过安装架安装有小型减速电机，所述小型减速电机一侧输出轴通过插销与往复丝杆一端连接。
[0009]进一步地，所述一号辅助杆贯穿顶板，所述丝杆顶端通过插销固定有摇盘，所述摇盘位于顶板顶部；摇盘位于顶板顶部，方便人员转动。
[0010]进一步地，所述顶板内部开设有预留槽，所述连接杆贯穿预留槽；预留槽方便连接杆移动。
[0011]进一步地，所述往复丝杆底部通过螺栓固定有二号辅助杆，所述二号辅助杆贯穿内螺纹滑块。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0013]1、人员将待处理的硅片放在放置槽内，握住摇盘转动丝杆，丝杆转动推动顶板上下移动，方便控制顶板移动距离，人员打开小型电机和小型减速电机，小型电机工作通过连接杆带动打磨块高速转动，小型减速电机工作带动往复丝杆缓慢转动，往复丝杆转动推动内螺纹滑块往复移动，从而带动高速转动打磨块往复移动，对硅片边缘进行打磨，剥离二氧化硅薄膜。
[0014]2、通过设置放置槽、压板、一号防护垫和二号防护垫，顶板下移时，立杆外侧的压缩弹簧推动压板下移，先压在硅片上，对其进行固定，放置槽内的一号防护垫和压板底部的二号防护垫，可以有效对硅片进行保护，避免其损坏，同时可以防止硅片滑动、移位。
附图说明
[0015]图1为本技术一种硅片边缘剥离机的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术一种硅片边缘剥离机的往复丝杆结构示意图。
[0017]图3为本技术一种硅片边缘剥离机的立杆结构示意图。
[0018]图中：1、底板；2、顶板；3、结构块；4、丝杆；5、一号辅助杆；6、放置槽；7、一号防护垫；8、摇盘；9、立杆；10、预留槽；11、往复丝杆；12、内螺纹滑块；13、小型电机；14、二号辅助杆；15、小型减速电机；16、连接杆；17、打磨块；18、压板；19、二号防护垫；20、压缩弹簧。
具体实施方式
[0019]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0020]如图1
‑
3所示，一种硅片边缘剥离机，包括底板1、结构块3 和侧板11，所述底板1顶部开设有放置槽6，所述放置槽6内部胶合有一号防护垫7，所述底板1顶部两端通过螺纹槽连接有一号辅助杆5，所述一号辅助杆5之间通过轴承安装有丝杆4，所述丝杆4外侧通过螺纹槽套设有顶板2，所述顶板2顶部套设套设有立杆9，所述立杆9底部通过螺纹槽连接有压板18，所述压板18底部胶合有二号防护垫19。
[0021]其中，所述结构块3通过螺栓固定有顶板2顶部两端，所述结构块3之间通过轴承安装有往复丝杆11，所述往复丝杆11外侧套设有内螺纹滑块12，所述内螺纹滑块12一侧通过安装架安装有小型电机13，所述小型电机13底部输出抽通过连接套连接有连接杆16，所述连接杆16底部通过螺栓固定有打磨块17，所述结构块3一端通过安装架安装有小型减速电机15，所述小型减速电机 15一侧输出轴通过插销与往复丝杆11一端连接。
[0022]本实施例中如图2所示，小型电机13工作通过连接杆16带动打磨块17高速转动，小型减速电机15工作带动往复丝杆11缓慢转动，往复丝杆11转动推动内螺纹滑块12往复移动，从而带动高速转动打磨块17往复移动。
[0023]其中，所述一号辅助杆5贯穿顶板2，所述丝杆4顶端通过插销固定有摇盘8，所述摇盘8位于顶板2顶部。
[0024]本实施例中如图1所示，一号辅助杆5可以提高顶板2的结构稳定性，使其不易歪斜。
[0025]其中，所述顶板2内部开设有预留槽10，所述连接杆16贯穿预留槽10。
[0026]本实施例中如图2所示，预留槽10方便连接杆16移动。
[0027]其中，所述往复丝杆11底部通过螺栓固定有二号辅助杆14，所述二号辅助杆14贯穿内螺纹滑块12。
[0028]本实施例中如图2所示二号，辅助杆14可以提高内螺纹滑块 12的结构稳定性，使其不会转动。
[0029]需要说明的是，本技术为一种硅片边缘剥离机，工作时，人员使用电源线将小型减速电机15和小型电机13与外部电源连接，将待处理的硅片放在放置槽6内，握住摇盘8转动丝杆 4，丝杆4转动推动顶板2上下移动，顶板2下移时，立杆9外侧的压缩弹簧20推动压板18下移，先压在硅片上，对其进行固定，放置槽6内的一号防护垫7和压板18底部的二号防护垫19，可以有效对硅片进行保护，避免其损坏，同时可以防止硅片滑动、移位，人员打开小型电机13和小型减速电机15，小型电机 13工作通过连接杆16带动打磨块17高速转动，小型减速电机15 工作带动往复丝杆11缓慢转动，往复丝杆11转动推动内螺纹滑块12往复移动，从而带动高速转动打磨块17往复移动，对硅片边缘进行打磨，剥离二氧化硅薄膜，一号辅助杆5可以提高顶板2 的结构稳定性，使其不易歪斜。
[0030本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片边缘剥离机，包括底板(1)、结构块(3)、往复丝杆(11)和连接杆(16)，其特征在于：所述底板(1)顶部开设有放置槽(6)，所述放置槽(6)内部胶合有一号防护垫(7)，所述底板(1)顶部两端通过螺纹槽连接有一号辅助杆(5)，所述一号辅助杆(5)之间通过轴承安装有丝杆(4)，所述丝杆(4)外侧通过螺纹槽套设有顶板(2)，所述顶板(2)顶部套设套设有立杆(9)，所述立杆(9)底部通过螺纹槽连接有压板(18)，所述压板(18)底部胶合有二号防护垫(19)。2.根据权利要求1所述的一种硅片边缘剥离机，其特征在于：所述结构块(3)通过螺栓固定有顶板(2)顶部两端，所述结构块(3)之间通过轴承安装有往复丝杆(11)，所述往复丝杆(11)外侧套设有内螺纹滑块(12)，所述内螺纹滑块(12)一侧通过安装架安装有小型电机(...

【专利技术属性】
技术研发人员：马胜南，
申请(专利权)人：南轩天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：