一种硅片自动校准机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片自动校准机构，包括纵向滑轨、横向滑轨和基板，所述基板的下端通过限位槽嵌设有纵向滑轨，所述纵向滑轨之间焊接有导向套，所述基板的顶部两侧通过限位螺钉设置有横向滑轨，所述横向滑轨之间通过聚氨酯胶粘结有固定条，所述横向滑轨的顶部设置有硅片承载板。该新型硅片自动校准机构能在横向和纵向上精准校准定位，滑动的过程中稳定效果显著，适合广泛推广使用。适合广泛推广使用。适合广泛推广使用。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片自动校准机构


[0001]本技术涉及自动校准
，特别涉及一种硅片自动校准机构。

技术介绍

[0002]硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至悄悄进入每一个家庭。硅片在生产的过程中需要进行自动校准定位，便于操作和加工。
[0003]现有的硅片自动校准机构存在以下缺点：1、硅片自动校准机构不能在横向和纵向上精准校准定位；2、滑动的过程中稳定效果不显著。为此，我们提出一种硅片自动校准机构。

技术实现思路

[0004]本技术的主要目的在于提供一种硅片自动校准机构，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0006]一种硅片自动校准机构，包括纵向滑轨、横向滑轨和基板，所述基板的下端通过限位槽嵌设有纵向滑轨，所述纵向滑轨之间焊接有导向套，所述基板的顶部两侧通过限位螺钉设置有横向滑轨，所述横向滑轨之间通过聚氨酯胶粘结有固定条，所述横向滑轨的顶部设置有硅片承载板。
[0007]进一步地，所述导向套内贯穿有导向杆，所述导向杆的一端通过螺钉安装有L形推杆，所述L形推杆的顶部一端通过定位螺栓安装有硅片推板，所述基板的底部一端焊接有固定端块，所述固定端块内通过螺栓孔安装有调节螺杆，且调节螺杆的一端部通过轴承固定在导向杆一端。
[0008]进一步地，所述基板的底部两端通过螺钉安装有纵向滑块，且纵向滑块位于纵向滑轨；利用纵向滑块位于纵向滑轨内，使基板在纵向滑轨上纵向滑动到指定的位置。
[0009]进一步地，所述固定条上设置有减速槽，且固定条为PP材料制成。
[0010]进一步地，所述硅片承载板的底部两端通过螺钉安装有横向滑块，且横向滑块位于横向滑轨内；从而使L形推杆一侧的硅片推板推动硅片承载板进行横向滑动。
[0011]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0012]1.本技术一种硅片自动校准机构，首先将硅片置于硅片承载板的顶部，利用纵向滑块位于纵向滑轨内，使基板在纵向滑轨上纵向滑动到指定的位置，纵向位置确定后，工作人员旋动固定端块一侧的调节螺杆，带动导向杆在导向套内水平移动，从而使L形推杆一侧的硅片推板推动硅片承载板进行横向滑动。
[0013]2.本技术一种硅片自动校准机构，利用横向滑块在横向滑轨内滑动，使硅片
推板顶部的硅片平稳运行，实现精准横向定位，并且利用固定条顶部的减速槽，增加与硅片承载板之间的阻力，使硅片承载板稳定效果显著，防止晃动，固定条为PP材料制成，弹性高，密贴效果好，并且耐酸碱腐蚀，不易损坏，经久耐用。
附图说明
[0014]图1为本技术一种硅片自动校准机构的侧视图。
[0015]图2为本技术一种硅片自动校准机构的俯视图。
[0016]图3为本技术一种硅片自动校准机构的固定端块和调节螺杆结构示意图。
[0017]图中：1、基板；2、固定条；3、横向滑轨；4、导向套；5、固定端块；6、调节螺杆；7、纵向滑轨；8、L形推杆；9、硅片推板；10、硅片承载板；11、限位螺钉；12、导向杆；13、纵向滑块；14、定位螺栓；15、横向滑块。
具体实施方式
[0018]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0019]如图1
‑
3所示，一种硅片自动校准机构，包括纵向滑轨7、横向滑轨3和基板1，所述基板1的下端通过限位槽嵌设有纵向滑轨7，所述纵向滑轨7之间焊接有导向套4，所述基板1的顶部两侧通过限位螺钉11设置有横向滑轨3，所述横向滑轨3之间通过聚氨酯胶粘结有固定条2，所述横向滑轨3的顶部设置有硅片承载板10。
[0020]其中，所述导向套4内贯穿有导向杆12，所述导向杆12的一端通过螺钉安装有L形推杆8，所述L形推杆8的顶部一端通过定位螺栓14安装有硅片推板9，所述基板1的底部一端焊接有固定端块5，所述固定端块5内通过螺栓孔安装有调节螺杆6，且调节螺杆6的一端部通过轴承固定在导向杆12一端。
[0021]本实施例中如图1、3所示，工作人员旋动固定端块5一侧的调节螺杆6，带动导向杆12在导向套4内水平移动，从而使L形推杆8一侧的硅片推板9推动硅片承载板10进行横向滑动。
[0022]其中，所述基板1的底部两端通过螺钉安装有纵向滑块13，且纵向滑块13位于纵向滑轨7。
[0023]本实施例中如图1、2所示，利用纵向滑块13位于纵向滑轨7内，使基板1在纵向滑轨7上纵向滑动到指定的位置。
[0024]其中，所述固定条2上设置有减速槽16，且固定条2为PP材料制成。
[0025]本实施例中如图2所示，固定条2为PP材料制成，弹性高，密贴效果好，并且耐酸碱腐蚀，不易损坏，经久耐用。
[0026]其中，所述硅片承载板10的底部两端通过螺钉安装有横向滑块15，且横向滑块15位于横向滑轨3内。
[0027]本实施例中如图1所示，横向滑块15位于横向滑轨3内，使硅片承载板10横向滑动，便于精准定位。
[0028]需要说明的是，本技术为一种硅片自动校准机构，工作时，首先将硅片置于硅片承载板10的顶部，利用纵向滑块13位于纵向滑轨7内，使基板1在纵向滑轨7上纵向滑动到
指定的位置，纵向位置确定后，工作人员旋动固定端块5一侧的调节螺杆6，带动导向杆12在导向套4内水平移动，从而使L形推杆8一侧的硅片推板9推动硅片承载板10进行横向滑动，利用横向滑块15在横向滑轨3内滑动，使硅片推板9顶部的硅片平稳运行，实现精准横向定位，并且利用固定条2顶部的减速槽16，增加与硅片承载板10之间的阻力，使硅片承载板10稳定效果显著，防止晃动，固定条2为PP材料制成，弹性高，密贴效果好，并且耐酸碱腐蚀，不易损坏，经久耐用。
[0029]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片自动校准机构，包括纵向滑轨(7)、横向滑轨(3)和基板(1)，其特征在于：所述基板(1)的下端通过限位槽嵌设有纵向滑轨(7)，所述纵向滑轨(7)之间焊接有导向套(4)，所述基板(1)的顶部两侧通过限位螺钉(11)设置有横向滑轨(3)，所述横向滑轨(3)之间通过聚氨酯胶粘结有固定条(2)，所述横向滑轨(3)的顶部设置有硅片承载板(10)。2.根据权利要求1所述的一种硅片自动校准机构，其特征在于：所述导向套(4)内贯穿有导向杆(12)，所述导向杆(12)的一端通过螺钉安装有L形推杆(8)，所述L形推杆(8)的顶部一端通过定位螺栓(14)安装有硅片推板(9)，所述基板(1)的底部...

【专利技术属性】
技术研发人员：马胜南，
申请(专利权)人：南轩天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：