一种硅片升降机构、硅片交接装置以及光刻机制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片升降机构、硅片交接装置以及光刻机，其中，所述硅片升降机构包括：运动台、升降柱、复位单元以及底座；所述运动台包括一运动部，所述运动部可相对于所述底座做升降运动；所述升降柱固定在所述运动部上并随所述运动部做升降运动；所述复位单元的两端分别与所述升降柱以及所述底座相连，所述复位单元垂直作用于所述升降柱底部使所述运动部自动复位。由此，使得所述复位单元始终保持垂直状态，解决了现有硅片升降机构因为采用斜拉方式而导致复位难的问题。同时，由于所述运动台采用的是更成熟的模块化设计，结构、制作工艺和装配工艺都相对简单，故具有更好的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片升降机构、硅片交接装置以及光刻机
本技术涉及光刻
，特别涉及一种硅片升降机构、硅片交接装置以及光刻机。
技术介绍
光刻机的硅片交接装置配合传输机械手，可实现硅片的交接功能。硅片交接装置交接硅片时，需通过硅片升降机构的升降改变吸嘴的位置来对硅片进行吸附与释放。已有硅片升降机构的升降多采用电机驱动的方式，价格比较昂贵，故现阶段成本相对比较低的通过气动控制的硅片升降机构得到了本领域研究人员的广泛关注。请参考图1，为现有一种通过气动控制的硅片升降机构的结构示意图，该硅片升降机构采用圆柱形气缸，由活塞杆11、活塞套12、斜拉弹簧13以及直线轴承14等部件组成，结构复杂，对零部件的制造工艺和装配工艺都要求较高，由于空间限制和行程的约束，此种气缸只能自制，同时该升降机构的复位只能采用斜拉方式，对配合和润滑都提出了较高的要求，维修和保养特别困难。斜拉弹簧13的工作原理如下：假设弹簧的拉力为F，力与水平方向的夹角为α，则：水平方向的分力：Fx＝Fcosα竖直方向的分力：Fy＝Fsinα斜拉弹簧13通过竖直方向的分力Fy使气缸复位，而水平方向上的分力Fx则会导致与斜拉弹簧13连接的活塞杆1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片升降机构，其特征在于，所述硅片升降机构包括：运动台、升降柱、复位单元以及底座；所述运动台包括一运动部，所述运动部可相对于所述底座做升降运动；所述升降柱固定在所述运动部上随所述运动部做升降运动；所述复位单元的两端分别与所述升降柱以及所述底座相连，所述复位单元垂直作用于所述升降柱底部使所述运动部复位，复位方向平行于所述运动部的上升方向。

【技术特征摘要】
1.一种硅片升降机构，其特征在于，所述硅片升降机构包括：运动台、升降柱、复位单元以及底座；所述运动台包括一运动部，所述运动部可相对于所述底座做升降运动；所述升降柱固定在所述运动部上随所述运动部做升降运动；所述复位单元的两端分别与所述升降柱以及所述底座相连，所述复位单元垂直作用于所述升降柱底部使所述运动部复位，复位方向平行于所述运动部的上升方向。2.如权利要求1所述的硅片升降机构，其特征在于，所述复位单元采用拉簧组件，所述拉簧组件包括多根垂直于所述底座设置的弹簧，所述弹簧一端与所述升降柱相连，另一端与所述底座相连。3.如权利要求1所述的硅片升降机构，其特征在于，所述升降柱具有真空通道，所述真空通道的入口位于所述升降柱上，所述真空通道从所述入口开始呈折形向上贯穿所述升降柱。4.如权利要求1所述的硅片升降机构，其特征在于，所述运动台还包括一气动单元，所述气动单元位于所述运动部的内部，通过所述气动单元使所述运动部向上运动。5.如权利要求1所述的硅片升降机构，其特征在于，所述运动台还包括一支撑部，所述支撑部固定在所述底座上，所述运动部与所述支撑部并行设置并可沿着所述支撑部的侧面做升降运动。6.如权利要求5所述的硅片升降机构，其特征在于，所述运动台还包括一限位组件，所述限位组件控制所述运动部的行程。7.如权利要求6所述的硅片升降机构，其特征在于，所述限位组件包括第一限位件以及第二限位件，所述第一限位件固定在所述支撑部的侧面限定所述运动部运动的上行程，所述第二限位件固定在所述支撑部...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐玉良，齐芊枫，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31