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本实用新型公开了一种硅片升降机构、硅片交接装置以及光刻机，其中，所述硅片升降机构包括：运动台、升降柱、复位单元以及底座；所述运动台包括一运动部，所述运动部可相对于所述底座做升降运动；所述升降柱固定在所述运动部上并随所述运动部做升降运动；所述...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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