一种大面积投影光刻系统技术方案

一种大面积投影光刻系统，包括光源、光纤、DMD系统、光束吸收板，DMD芯片卡在导热外壳的一面上，导热外壳的另一面则卡有隔热板，散热罩的表面涂有一层反光漆，紧贴隔热板的散热罩表面开有多个均匀排布的进气口，散热罩内通过固定块固定有微型暖气片体，隔热板表面固定有向微型暖气片体吹风的散热扇，散热扇的其中一侧隔热板表面还固定有微型水泵，微型水泵的进液端通过管道与导热外壳连通，微型水泵的出液端则通过多条管道与微型暖气片体的片体连通，在散热扇的另一侧还设置有多条连通微型暖气片体和导热外壳的回流管。本实用新型专利技术具有灵活性，曝光面积大，精度高，分辨率高，成像质量高，成本低等优势。

【技术实现步骤摘要】
一种大面积投影光刻系统
本技术涉及投影光刻
，具体地说是一种大面积投影光刻系统。
技术介绍
光刻图形的结构从简单到复杂，特征尺寸越来越小，传统掩模光刻遇到了制作困难和成本大的问题，严重影响了产品研发发及生产进度。其中DMD芯片是最主要的制约因素之一，但目前的DMD芯片散热能力较差，针对现有技术存在问题，专利技术一种高精度、曝光面积大的光刻系统。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术的目的是提供一种大面积投影光刻系统，对现有技术进行改进，解决上述存在的问题。本技术为实现上述目的，一种大面积投影光刻系统，包括光源、光纤、DMD系统、光束吸收板，光源射出的光线经光纤输入到匀光透镜组，再由匀光透镜组分散照射到DMD系统的DMD芯片，其中一部分光线经DMD芯片反射到投影物镜组，另一部分光线则被光束吸收板吸收，经过投影物镜组的光线再经过处理后投射到平台系统的PCB基板上，DMD芯片卡在导热外壳的一面上，且与导热外壳之间涂有导热硅胶，导热外壳的另一面则卡有隔热板，隔热板表面则固定有向外开口的四棱锥形散热罩，散热罩的表面涂有一层反光漆，紧贴隔热板的散热罩表面开有多个均匀排布的进气口，散热罩内通过固定块本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大面积投影光刻系统，其特征在于：包括光源（1）、光纤（2）、DMD系统、光束吸收板（3），光源（1）射出的光线经光纤（2）输入到匀光透镜组（4），再由匀光透镜组（4）分散照射到DMD系统的DMD芯片（5），其中一部分光线经DMD芯片（5）反射到投影物镜组（6），另一部分光线则被光束吸收板（3）吸收，经过投影物镜组（6）的光线再经过处理后投射到平台系统（7）的PCB基板（8）上，DMD芯片（5）卡在导热外壳（9）的一面上，且与导热外壳（9）之间涂有导热硅胶，导热外壳（9）的另一面则卡有隔热板（10），隔热板（10）表面则固定有向外开口的四棱锥形散热罩（11），散热罩（11）的表面涂有一层...

【技术特征摘要】
1.一种大面积投影光刻系统，其特征在于：包括光源（1）、光纤（2）、DMD系统、光束吸收板（3），光源（1）射出的光线经光纤（2）输入到匀光透镜组（4），再由匀光透镜组（4）分散照射到DMD系统的DMD芯片（5），其中一部分光线经DMD芯片（5）反射到投影物镜组（6），另一部分光线则被光束吸收板（3）吸收，经过投影物镜组（6）的光线再经过处理后投射到平台系统（7）的PCB基板（8）上，DMD芯片（5）卡在导热外壳（9）的一面上，且与导热外壳（9）之间涂有导热硅胶，导热外壳（9）的另一面则卡有隔热板（10），隔热板（10）表面则固定有向外开口的四棱锥形散热罩（11），散热罩（11）的表面涂有一层反光漆（12），紧贴隔热板（10）的散热罩（11）表面开有多个均匀排布的进气口（13），散热罩（11）内通过固...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩太林，王英志，刘红，胡俊，陈玉群，宫玉琳，郎百和，刘迪，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：新型
国别省市：吉林,22