一种投影物镜柔性调平装置及其调平方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种投影物镜柔性调平装置及其调平方法，包括物镜托架板、安装板、柔性块和调平机构，所述物镜托架板上安装有物镜，所述柔性块的上层与物镜托架板下底面平行设置，所述柔性块的下层与安装板的上表面平行设置；所述柔性块通过调平机构调节实现物镜托架板在X和Y轴方向微位移，实现物镜在X和Y轴方向上的调平。本发明专利技术提供一种投影物镜柔性调平装置及其调平方法，保证物镜的光轴与硅片表面垂直，并保证物镜的理想像平面与理想的硅片上表面重合。

【技术实现步骤摘要】
201610425138

【技术保护点】
一种投影物镜柔性调平装置，其特征在于：包括物镜托架板(3)、安装板(4)、柔性块(6)和调平机构，所述物镜托架板(3)上安装有物镜(1)，所述柔性块(6)的上层与物镜托架板(3)下底面平行设置，所述柔性块(6)的下层与安装板(4)的上表面平行设置；所述柔性块(6)通过调平机构调节实现物镜托架板(3)在X和Y轴方向微位移，实现物镜(1)在X和Y轴方向上的调平。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：程刚，张慧珍，山显雷，
申请(专利权)人：安徽德衍智控科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34