透光性薄膜制造技术

透光性薄膜依次具备透明基材和透光性导电层，透光性导电层自透明基材侧起依次具备第1无机氧化物层、金属层、和第2无机氧化物层，第1无机氧化物层不含有晶粒，第2无机氧化物层含有晶粒。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】透光性薄膜
本专利技术涉及透光性薄膜，详细而言，涉及适合用于光学用途的透光性薄膜。
技术介绍
以往以来，已知具备透明导电层的透明导电性薄膜等透光性薄膜用于触摸面板等光学用途。例如，提出了在玻璃基板上层叠有依次形成透明氧化物薄膜、银系薄膜及透明氧化物薄膜而成的导电层的透明导电膜(例如，参照专利文献1)。专利文献1的透明导电膜中，2层透明氧化导电膜均由包含氧化铟的混合氧化物形成。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平9-176837号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题专利文献1中，在2层透明氧化导电膜之间插入有银系薄膜，因此低电阻优异。另外，由于导电层为透明氧化物薄膜、银系薄膜及透明氧化物薄膜的3层结构，因此在对导电层进行图案化时，能够抑制经图案化的导电层(布线图案)的可视性。但是，银系薄膜不耐湿热，即使银系薄膜的上表面及下表面被透明氧化物薄膜覆盖，银系薄膜也会腐蚀、变色。因此，透明导电膜的外观变不良。本专利技术的目的在于提供低电阻及透明性优异、并且湿热耐久性优异的透光性薄膜。用于解决问题的方案本专利技术[1]包括一种透光性薄膜，其依次具备透明基材和透光性导电层，前述透光性导电层自前述透明基材侧起依次具备第1无机氧化物层、金属层、和第2无机氧化物层，前述第1无机氧化物层不含有晶粒，前述第2无机氧化物层含有晶粒。本专利技术[2]包括[1]所述的透光性薄膜，其中，前述金属层为银层或银合金层。本专利技术[3]包括[1]或[2]所述的透光性薄膜，其中，前述第1无机氧化物层及前述第2无机氧化物层均含有氧化铟。本专利技术[4]包括[1]～[3]中任一项所述的透光性薄膜，其中，前述第1无机氧化物层及前述第2无机氧化物层均含有铟锡复合氧化物。本专利技术[5]包括[1]～[4]中任一项所述的透光性薄膜，其中，前述第2无机氧化物层为具有非晶质部及结晶质部的半结晶膜。本专利技术[6]包括[1]～[5]中任一项所述的透光性薄膜，其中，前述第2无机氧化物层含有在厚度方向不贯通前述第2无机氧化物层的晶粒。本专利技术[7]包括[1]～[6]中任一项所述的透光性薄膜，其中，前述透光性导电层具有图案形状。本专利技术[8]包括[7]所述的透光性薄膜，其中，还具备粘合剂层，所述粘合剂层相对于前述透明基材设置在前述透光性导电层的相反侧的表面。专利技术的效果根据本专利技术的透光性薄膜，低电阻及透明性优异，并且湿热耐久性优异，能够抑制由湿热导致的外观不良。附图说明图1示出第1实施方式的透光性薄膜的截面图。图2中，图2A～B示出图1所示的透光性薄膜的局部放大图。图2A示出第2无机氧化物层为完全结晶膜时的示意图。图2B示出第2无机氧化物层为半结晶膜时的示意图。图3示出图1所示的透光性薄膜中透光性导电层具有图案形状时的截面图。图4示出第2实施方式的透光性薄膜的截面图。图5示出作为第1实施方式的透光性薄膜的变形例的在透明基材的上表面直接配置有第1无机氧化物层的透光性薄膜的截面图。图6示出作为第1实施方式的透光性薄膜的变形例的在保护层及第1无机氧化物层之插入有光学调整层的透光性薄膜的截面图。具体实施方式[第1实施方式]参照图1，对本专利技术的第1实施方式的透光性薄膜1进行说明。在图1中，纸面上下方向为上下方向(厚度方向、第1方向)，纸面上侧为上侧(厚度方向的一侧、第1方向的一侧)、纸面下侧为下侧(厚度方向的另一侧、第1方向的另一侧)。在图1中，纸面左右方向为左右方向(宽度方向、与第1方向正交的第2方向)，纸面左侧为左侧(第2方向的一侧)，纸面右侧为右侧(第2方向的另一侧)。在图1中，纸厚方向为前后方向(与第1方向及第2方向正交的第3方向)，纸面的面前一侧为前侧(第3方向的一侧)、纸面后侧为后侧(第3方向的另一侧)。具体而言，依据各图的方向箭头。1.透光性薄膜透光性薄膜1形成具有规定的厚度的薄膜形状(包含片形状)，沿与厚度方向正交的规定方向(前后方向及左右方向、即面方向)延伸，具有平坦的上表面及平坦的下表面(2个主表面)。透光性薄膜1例如为包含于光学装置(例如，图像显示装置、调光装置)中的触摸面板用基材、红外线反射用基材、调光面板等的一个部件，即，不是光学装置。即，透光性薄膜1为用于制作光学装置等的部件，为能不含LCD模块等图像显示元件、LED等光源地单独流通、并在产业上利用的器件。另外，透光性薄膜1为使可见光透过的薄膜，包含透明导电性薄膜。具体而言，如图1所示，第1实施方式的透光性薄膜1为依次具备透明基材2、保护层3、和透光性导电层4的透光性层叠薄膜。即，透光性薄膜1具备透明基材2、配置于透明基材2的上侧的保护层3、和配置于保护层3的上侧的透光性导电层4。优选透光性薄膜1仅包含透明基材2、保护层3、和透光性导电层4。以下，对各层进行详细叙述。2.透明基材透明基材2为透光性薄膜1的最下层，为用于确保透光性薄膜1的机械强度的支撑材料。透明基材2与保护层3一起支撑透光性导电层4。透明基材2例如包含高分子薄膜。高分子薄膜具有透明性及挠性。作为高分子薄膜的材料，例如可列举出聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯树脂、例如聚甲基丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸类树脂(丙烯酸类树脂和/或甲基丙烯酸类树脂)、例如聚乙烯、聚丙烯、环烯烃聚合物等烯烃树脂、例如聚碳酸酯树脂、聚醚砜树脂、聚芳酯树脂、三聚氰胺树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂、纤维素树脂、聚苯乙烯树脂、降冰片烯树脂等。这些高分子薄膜可以单独使用或组合使用2种以上。从透明性、耐热性、机械特性等观点出发，优选可列举出烯烃树脂、聚酯树脂等，更优选可列举出环烯烃聚合物、PET等。透明基材2的厚度例如为2μm以上，优选为20μm以上，另外，例如为300μm以下，优选为200μm以下、更优选为150μm以下。另外，从保持第1无机氧化物层5的非晶性的观点出发，透明基材2优选含有微量的水。即，透明基材2中，优选高分子薄膜含有水。3.保护层保护层3为用于使透光性导电层4的上表面不易产生擦伤(即，获得优异的耐擦伤性)的擦伤保护层。另外，保护层3也是为了在参照图3那样在之后的工序中使透光性导电层4形成为布线图案等图案形状后，不识别到非图案部9与图案部10的差异(即，为了抑制布线图案的可视性)而对透光性薄膜1的光学物性进行调整的光学调整层。保护层3具有薄膜形状(包含片形状)，以接触透明基材2的上表面的方式配置于透明基材2的上表面整面。保护层3由树脂组合物形成。树脂组合物含有例如树脂、颗粒等。树脂组合物优选含有树脂，更优选仅包含树脂。作为树脂，可列举出固化性树脂、热塑性树脂(例如，聚烯烃树脂)等，优选可列举出固化性树脂。作为固化性树脂，例如可列举出通过活性能量射线(具体而言，紫外线、电子束等)的照射发生固化的活性能量射线固化性树脂、例如通过加热发生固化的热固化性树脂等，优选可列举出活性能量射线固化性树脂。活性能量射线固化性树脂例如可列举出分子中含有具有聚合性碳-碳双键的官能团的聚合物。作为这样的官能团，例如可列举出乙烯基、(甲基)丙烯酰基(甲基丙烯酰基和/或丙烯酰基)等。作为活性能量射线固化性树脂，例如，可列举出侧链含有官能团的(甲基)丙烯酸类树脂(丙烯酸类树脂和/或甲基丙烯酸类树脂)等。这些树脂可以单独使用或组合使用2种以上。作为颗粒，例如可列举本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种透光性薄膜，其特征在于，依次具备：透明基材和透光性导电层，所述透光性导电层自所述透明基材起依次具备：第1无机氧化物层、金属层、和第2无机氧化物层，所述第1无机氧化物层不含晶粒，所述第2无机氧化物层含有晶粒。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.01 JP 2016-074471;2017.03.28 JP 2017-063681.一种透光性薄膜，其特征在于，依次具备：透明基材和透光性导电层，所述透光性导电层自所述透明基材起依次具备：第1无机氧化物层、金属层、和第2无机氧化物层，所述第1无机氧化物层不含晶粒，所述第2无机氧化物层含有晶粒。2.根据权利要求1所述的透光性薄膜，其特征在于，所述金属层为银层或银合金层。3.根据权利要求1所述的透光性薄膜，其特征在于，所述第1无机氧化物层及所述第2...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤野望，梨木智刚，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP