一种多单元共用一组滴胶头的实现装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种多单元共用一组滴胶头的实现装置，包括基板、喷嘴、胶杯、晶圆、上下伸缩装置和电动执行器；若干所述胶杯均布在所述基板上；所述晶圆设置在所述胶杯内；所述电动执行器安装在所述基板上一侧，所述电动执行器用于移动所述上下伸缩装置；所述上下伸缩装置安装在所述电动执行器上，所述上下伸缩装置与所述喷嘴连接，所述上下伸缩装置用于控制所述喷嘴上下高度；所述喷嘴用于给所述晶圆涂胶。本发明专利技术结构简单，控制方便，实现一个喷嘴对应多腔体进行供胶，大大优化了结构，简化了整个装置的空间，成本也大大降低。

【技术实现步骤摘要】
一种多单元共用一组滴胶头的实现装置
本专利技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种多单元共用一组滴胶头的实现装置。
技术介绍
在半导体
中，当要把晶圆上形成半导体涂层、绝缘层或电极层腐蚀成预定的图案时，就在涂层的表面上形成保护膜作为图案部分的掩膜。现有技术中，一个供胶装置单独对应一个胶杯上的晶圆进行喷涂，如果设置很多个胶杯那就得设置很多个供胶装置，这样的结构就非常复杂，整个装置的空间也变得非常紧凑，设计不合理。
技术实现思路
要解决的技术问题本专利技术要解决的问题是提供一种多单元共用一组滴胶头的实现装置，以克服现有技术中结构复杂，整个装置的空间变得非常紧凑，设计不合理的缺陷。技术方案为解决所述技术问题，本专利技术提供一种多单元共用一组滴胶头的实现装置，包括基板、喷嘴、胶杯、晶圆、上下伸缩装置和电动执行器；若干所述胶杯均布在所述基板上；所述晶圆设置在所述胶杯内；所述电动执行器安装在所述基板上一侧，所述电动执行器用于移动所述上下伸缩装置；所述上下伸缩装置安装在所述电动执行器上，所述上下伸缩装置与所述喷嘴连接，所述上下伸缩装置用于控制所述喷嘴上下高度；所述喷嘴用于给所述晶圆涂胶。优选的，所述电动执行器包括驱动电机、轨道、滑块、锁紧块、主动轮、被动轮、皮带、转轴和电机座；所述轨道固定安装在所述基板上；所述电机座与所述电机配合安装在所述基板上；所述滑块可滑动的设置在所述轨道上；所述滑块的下端部延伸至所述轨道内部空腔，通过所述锁紧块将所述皮带和所述滑块固定在一起，实现所述滑块与所述皮带同步移动；所述主动轮固定安装在所述驱动电机的驱动轴上；所述被动轮与所述转轴转动配合，所述转轴安装在所述轨道内部一侧；所述皮带一端与所述主动轮连接，另一端与所述被动轮连接。优选的，所述上下伸缩装置包括底板、支撑板、气动滑台、胶臂、支座、连接座和L形块；所述底板固定安装到所述滑块上；所述支撑板固定安装到所述底板上；所述气动滑台固定安装在所述支撑板一侧；所述气动滑台的活塞杆与所述L形块插接固定，所述气动滑台的活塞杆上下伸缩带动所述L形块上下移动；所述胶臂一端与所述L形块固定，另一端与所述支座固定；所述连接座一端与所述支座固定，另一端与所述喷嘴固定，且所述支座、连接座及喷嘴相互连通。优选的，所述基板上还设置有润湿杯，所述喷嘴与所述润湿杯相适配。优选的，所述胶杯内还设置有用于固定所述晶圆的吸盘。优选的，若干所述胶杯一侧还设置有用于给所述晶圆去边的去边臂。有益效果为：本专利技术的多单元共用一组滴胶头的实现装置，结构简单，控制方便，实现一个喷嘴对应多腔体进行供胶，大大优化了结构，简化了整个装置的空间，成本也大大降低。附图说明图1为本专利技术一种多单元共用一组滴胶头的实现装置的结构示意图；图2为本专利技术一种多单元共用一组滴胶头的实现装置另一方向的结构示意图；图3为电动执行器的结构示意图；图4为滑块的结构示意图；图5为上下伸缩装置的爆炸图。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不用来限制本专利技术的范围。如图1所示，本专利技术的一种多单元共用一组滴胶头的实现装置，包括基板1、喷嘴2、胶杯3、晶圆4、上下伸缩装置6和电动执行器7；若干所述胶杯3均布在所述基板1上；所述晶圆4设置在所述胶杯3内；所述电动执行器7安装在所述基板1上一侧，所述电动执行器7用于移动所述上下伸缩装置6；所述上下伸缩装置6安装在所述电动执行器7上，所述上下伸缩装置6与所述喷嘴2连接，所述上下伸缩装置6用于控制所述喷嘴2上下高度；所述喷嘴2用于给所述晶圆4涂胶。如图2至图4所示，所述电动执行器7包括驱动电机701、轨道702、滑块703、锁紧块704、主动轮705、被动轮706、皮带707、转轴708和电机座709；所述轨道702用螺钉固定安装在所述基板1上；所述电机座709与所述电机701配合用螺钉安装在所述基板1上；所述滑块703可滑动的设置在所述轨道702上；所述滑块703的下端部710延伸至所述轨道702内部空腔，通过所述锁紧块704将所述皮带707和所述滑块703固定在一起，实现所述滑块703与所述皮带707同步移动，所述锁紧块704与所述滑块703用螺钉固定；所述主动轮705固定安装在所述驱动电机701的驱动轴上；所述被动轮706与所述转轴708转动配合，所述转轴708安装在所述轨道702内部一侧；所述皮带707一端与所述主动轮705连接，另一端与所述被动轮706连接。如图5所示，所述上下伸缩装置6包括底板601、支撑板602、气动滑台603、胶臂604、支座605、连接座606和L形块607；所述底板601用螺钉固定安装到所述滑块703上；所述支撑板602用螺钉固定安装到所述底板601上；所述气动滑台603用螺钉固定安装在所述支撑板602一侧；所述气动滑台603的活塞杆与所述L形块607插接固定，所述气动滑台603的活塞杆上下伸缩带动所述L形块607上下移动；所述胶臂604一端与所述L形块607用螺钉固定，另一端与所述支座605用螺钉固定；所述连接座606一端与所述支座605用螺钉固定，另一端与所述喷嘴2固定，且所述支座605、连接座606及喷嘴2相互连通。如图1所示，所述基板1上用螺钉还设置有润湿杯5，所述喷嘴2与所述润湿杯5相适配，润湿杯5起到给喷嘴2保湿的作用。所述胶杯3内还设置有用于固定所述晶圆4的吸盘8，便于胶杯3快速固定。若干所述胶杯3一侧还设置有用于给所述晶圆4去边的去边臂9。本实施例选取胶杯3个数为三个，可以根据实际情况放置更多胶杯3，更多胶杯3的同时延长皮带和轨道的长度即可。本专利技术的工作原理是：一个喷嘴2实现给3组晶圆4进行供胶，供胶时，启动气动滑台603，使L形块607及胶臂604向上顶起，从而使喷嘴2脱离润湿杯5，之后启动驱动电机701，带动皮带707转动，从而带动滑块703移动，移动到第一个胶杯3正上方时，喷嘴2向下给晶圆4滴胶，滴完之后继续移动到第二个胶杯3及第三个胶杯3正上方进行滴胶，滴完之后进行复位即可。本专利技术结构简单，控制方便，实现一个喷嘴对应多腔体进行供胶，大大优化了结构，简化了整个装置的空间，成本也大大降低。综上所述，上述实施方式并非是本专利技术的限制性实施方式，凡本领域的技术人员在本专利技术的实质内容的基础上所进行的修饰或者等效变形，均在本专利技术的技术范畴。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多单元共用一组滴胶头的实现装置，其特征在于：包括基板(1)、喷嘴(2)、胶杯(3)、晶圆(4)、上下伸缩装置(6)和电动执行器(7)；若干所述胶杯(3)均布在所述基板(1)上；所述晶圆(4)设置在所述胶杯(3)内；所述电动执行器(7)安装在所述基板(1)上一侧，所述电动执行器(7)用于移动所述上下伸缩装置(6)；所述上下伸缩装置(6)安装在所述电动执行器(7)上，所述上下伸缩装置(6)与所述喷嘴(2)连接，所述上下伸缩装置(6)用于控制所述喷嘴(2)上下高度；所述喷嘴(2)用于给所述晶圆(4)涂胶。

【技术特征摘要】
1.一种多单元共用一组滴胶头的实现装置，其特征在于：包括基板(1)、喷嘴(2)、胶杯(3)、晶圆(4)、上下伸缩装置(6)和电动执行器(7)；若干所述胶杯(3)均布在所述基板(1)上；所述晶圆(4)设置在所述胶杯(3)内；所述电动执行器(7)安装在所述基板(1)上一侧，所述电动执行器(7)用于移动所述上下伸缩装置(6)；所述上下伸缩装置(6)安装在所述电动执行器(7)上，所述上下伸缩装置(6)与所述喷嘴(2)连接，所述上下伸缩装置(6)用于控制所述喷嘴(2)上下高度；所述喷嘴(2)用于给所述晶圆(4)涂胶。2.根据权利要求1所述的多单元共用一组滴胶头的实现装置，其特征在于：所述电动执行器(7)包括驱动电机(701)、轨道(702)、滑块(703)、锁紧块(704)、主动轮(705)、被动轮(706)、皮带(707)、转轴(708)和电机座(709)；所述轨道(702)固定安装在所述基板(1)上；所述电机座(709)与所述电机(701)配合安装在所述基板(1)上；所述滑块(703)可滑动的设置在所述轨道(702)上；所述滑块(703)的下端部(710)延伸至所述轨道(702)内部空腔，通过所述锁紧块(704)将所述皮带(707)和所述滑块(703)固定在一起，实现所述滑块(703)与所述皮带(707)同步移动；所述主动轮(705)固定安装在所述驱动电机(701)的驱动轴上；所述被动轮(706)与所述转轴(708)转动配合，所述转轴(708)安装在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王冲，陈胜华，
申请(专利权)人：宁波润华全芯微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33