多测试类型探针卡和对应的测试系统技术方案

本申请涉及多测试类型探针卡和对应的测试系统。用于在晶圆分类工艺期间测试衬底的裸片的探针卡包括印刷电路板(PCB)和测试位置，所述测试位置被布置为在测试周期期间分别连接到所述裸片中的一个裸片。测试位置包括第一引脚连接带和第一引脚组。第一引脚连接带连接到PCB。第一引脚组连接到第一引脚连接带并且包括用于测试设备在第一裸片上执行第一类型测试的引脚配置。测试位置仅包括第一引脚组中的引脚。第一引脚组中的引脚的数目少于用于在第一裸片上执行第二类型测试的引脚的数目。以比第一类型测试更慢的处理速度执行第二类型测试。

【技术实现步骤摘要】
多测试类型探针卡和对应的测试系统相关申请的交叉引用本申请要求于2017年6月12日提交的美国临时申请第62/518,412号的权益。上面引用的申请的全部公开内容通过引用并入本文。
本公开涉及晶圆分类(wafersort)工艺。
技术介绍
通常经由探针、测试器和探针卡来实现晶圆分类工艺，以在刀片分割(或切割)和封装之前测试晶圆的电路。在切割之后，晶圆的各个电路和对应区域通常被称为裸片。在下文中，在切割之前的晶圆的电路和对应区域可以被称为“晶圆的裸片”或简称为“裸片”。在晶圆分类工艺期间，探针卡连接到测试器，定位在探针的卡保持件上，并安置在衬底支撑件上。探针卡包括向下触碰裸片的焊盘和/或触点的引脚。测试器将电源和测试信号提供给一个或多个待测试裸片。测试器监控引脚的状态和/或接收来自待测试裸片的响应信号。可以测试衬底上的每个裸片并将结果记录在表格(被称为“晶圆图”)中。该表格分别包括针对裸片的值，其中每个值例如指示对应的裸片测试通过还是测试失败。在切割之后，通过的裸片被封装，而失败的裸片被丢弃。
技术实现思路
提供用于在晶圆分类工艺期间测试衬底的裸片的探针卡。探针卡包括印刷电路板和第一测试位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡，用于在晶圆分类工艺期间测试衬底的多个裸片，所述探针卡包括：印刷电路板；和第一测试位置，所述第一测试位置被布置成在测试周期期间分别连接到所述多个裸片中的选定裸片，其中所述第一测试位置包括：第一引脚连接带，连接到所述印刷电路板，和第一引脚组，连接到所述第一测试位置的所述第一引脚连接带，其中所述第一引脚组包括用于测试设备在第一裸片上执行第一类型测试的引脚配置，其中所述第一测试位置包括所述第一引脚组中的引脚并且不包括其他引脚，其中所述第一引脚组中的引脚的数目少于用于在所述第一裸片上执行第二类型测试的引脚的数目，并且其中以比所述第一类型测试更慢的处理速度执行所述第二类型测试。

【技术特征摘要】
2017.06.12 US 62/518,4121.一种探针卡，用于在晶圆分类工艺期间测试衬底的多个裸片，所述探针卡包括：印刷电路板；和第一测试位置，所述第一测试位置被布置成在测试周期期间分别连接到所述多个裸片中的选定裸片，其中所述第一测试位置包括：第一引脚连接带，连接到所述印刷电路板，和第一引脚组，连接到所述第一测试位置的所述第一引脚连接带，其中所述第一引脚组包括用于测试设备在第一裸片上执行第一类型测试的引脚配置，其中所述第一测试位置包括所述第一引脚组中的引脚并且不包括其他引脚，其中所述第一引脚组中的引脚的数目少于用于在所述第一裸片上执行第二类型测试的引脚的数目，并且其中以比所述第一类型测试更慢的处理速度执行所述第二类型测试。2.根据权利要求1所述的探针卡，还包括第二测试位置，其中所述第二测试位置包括：第二引脚连接带，连接到所述印刷电路板；和第二引脚组，连接到所述第二测试位置的所述第二引脚连接带，其中所述第二引脚组包括用于所述测试设备在第二裸片上执行所述第一类型测试或所述第二类型测试的引脚配置。3.根据权利要求2所述的探针卡，其中：所述第二引脚组包括全组引脚，以便在所述第二裸片上执行所述第二类型测试；和所述第二引脚组包括比所述第一引脚组多的引脚。4.一种测试系统，包括：根据权利要求1所述的探针卡；所述测试设备，连接至所述探针卡，为所述探针卡供电，并经由所述探针卡接收来自所述第一裸片的状态信号，其中所述状态信号指示在所述第一类型测试期间由所述第一裸片执行的内置自测试的结果；处理器；存储器；和多测试类型探针应用，存储在所述存储器中并包括指令，所述指令可由所述处理器执行并且用于相对于所述衬底来定位所述探针卡，发起所述第一类型测试，包括为所述第一裸片供电，和接收来自所述第一裸片的所述状态信号并将所述内置自测试的所述结果存储在所述存储器中。5.根据权利要求4所述的测试系统，其中，在所述第一类型测试期间，所述第一裸片在所述第一裸片的最大处理速度的预定范围内操作。6.根据权利要求4所述的测试系统，其中：所述探针卡包括第二测试位置；所述第二测试位置包括第二引脚连接带，连接到所述印刷电路板，和第二引脚组，连接到所述第二测试位置的所述第二引脚连接带，其中所述第二引脚组包括用于所述测试设备执行所述第一类型测试或所述第二类型测试的引脚配置；所述指令进一步用于在第一测试周期期间利用所述第一测试位置测试所述第一裸片；和在第二测试周期期间利用所述第二测试位置测试所述第一裸片。7.根据权利要求6所述的测试系统，其中，所述指令进一步用于：使用所述第一测试位置来测试所述多个裸片的一部分裸片中的每个裸片；和使用所述第二测试位置来测试所述多个裸片的所述一部分裸片中的每个裸片。8.根据权利要求6所述的探针卡，其中：所述探针卡包括多个测试位置；所述多个测试位置包括所述第一测试位置和所述第二测试位置；和所述多个测试位置以对角线图案、交叉图案或线性图案布置。9.一种探针卡，用于在晶圆分类工艺期间测试衬底的多个裸片，所述探针卡包括：印刷电路板；和多个测试位置，被布置为分别连接到所述多个裸片，其中所述多个测试位置包括第一测试位置，第二测试位置，多个引脚连接带，连接到所述印刷电路板，其中所述多个引脚连接带包括第一引脚连接带和第二引脚连接带，第一引脚组，连接到所述第一测试位置的所述第一引脚连接带，其中所述第一引脚组包括用于测试设备在第一裸片上执行第一类型测试的引脚配置，和第二引脚组，连接到所述第二测试位置的所述第二引脚连接带，其中所述第二引脚组包括用于所述测试设备在第二裸片上执行第二类型测试的引脚配置，并且其中所述第二引脚组包括比所述第一引脚组多的引脚，并且其中在所述第二类型测试期间以比在所述第一类型测试期间操作所述第一裸片时更慢的处理速度来操作所述第二裸片。10.根据权利要求9所述的探针卡，其中：所述第一引脚组包括电源引脚和状态引脚，并且不...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·加纳波尔，M·戈尼亚，S·吴，M·雅各布斯，
申请(专利权)人：马维尔国际贸易有限公司，
类型：发明
国别省市：巴巴多斯,BB