一种探针台用防撞报警机构制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体晶圆测试领域，特别涉及一种探针台用防撞报警机构，包括设于烤箱内的烤架，烤架一端设有用于取出半导体晶圆的出口，所述烤架内壁两侧设有与半导体晶圆边缘形状配合的弧形内壁，弧形内壁上设有用于卡住半导体晶圆的卡槽，出口与其正对的烤箱内壁之间设有支架，支架上设有用于感应半导体晶圆位置变化的传感器。本实用新型专利技术的目的是提供一种探针台用防撞报警机构，其具有降低半导体晶圆在烤箱内壁上撞伤概率的优点。本实用新型专利技术具有以下有益效果：提高了烤架的结构强度，使其不易因高温或搬运受力而变形，延长了烤架的使用寿命；能够对半导体晶圆起到保护作用，避免半导体晶圆在烤箱内壁上撞伤。

【技术实现步骤摘要】
一种探针台用防撞报警机构
本技术涉及半导体晶圆测试领域，特别涉及一种探针台用防撞报警机构。
技术介绍
半导体可靠性测试（晶圆级可靠性测试）通常在高达350℃的环境温度下通过晶圆探针器进行，目前多使用探针台进行测试。对于半导体晶圆的电气测试，探针卡上的一组探针通常被保持在适当位置，同时使（安装在卡盘上的）半导体晶圆上的晶粒与探针电气接触。功能齐全的探针台一般都具有烘烤箱，将若干片半导体晶圆装入烤架内，然后将烤架放入烘烤箱内，从而对半导体晶圆进行余热升温。烤架一般是塑料制品，使用时间长后由于高温和搬运受力等因素影响会产生变形，而探针台在工作时不可避免会产生微小的震动，烤架的变形是不可预测的，而一旦烤架变形量达到可使半导体晶圆移出的程度时，探针台的震动会使半导体晶圆装到烤箱内壁上，将会损坏半导体晶圆。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种探针台用防撞报警机构，其具有降低半导体晶圆在烤箱内壁上撞伤概率的优点。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种探针台用防撞报警机构，包括设于烤箱内的烤架，烤架一端设有用于取出半导体晶圆的出口，所述烤架内壁两侧设有与半导体晶圆边缘形状配合的弧形内壁，弧形内壁上设有用于卡住半导体晶圆的卡槽，出口与其正对的烤箱内壁之间设有支架，支架上设有用于感应半导体晶圆位置变化的传感器。通过采用上述技术方案，通过弧形的卡槽固定半导体晶圆，既方便插入和抽出半导体晶圆，又提高了半导体晶圆的固定稳定性；同时利用传感器感应半导体晶圆位置的变化，一旦半导体晶圆从出口处向烤箱内壁移动超过一定距离，传感器触发系统中的蜂鸣器报警，或在探针台的屏幕上显示报警图案，从而提醒操作人员将半导体晶圆复位，因此降低了半导体晶圆在烤箱内壁上撞伤的概率。优选的，所述传感器为距离传感器。通过采用上述技术方案，距离传感器发射红外线/超声波，当半导体晶圆未从出口移出时，红外线/超声波经烤箱底部反射回来，距离传感器通过测算发射和接收红外线/超声波的时间差，计算出距离；而当半导体晶圆移出出口反射红外线/超声波时，距离传感器计算处的距离改变，继而反馈报警。优选的，所述传感器为光电传感器，光电传感器包括发送器和接收器，发送器位于烤架上方，接收器位于烤架下方并正对发送器。通过采用上述技术方案，当半导体晶圆未从出口移出时，发送器发射的光线能够被接收器接收到，此为正常状态；而当半导体晶圆移出出口遮挡光线时，接收器未能接收到光信号，光电转换产生变化，继而反馈报警。优选的，所述烤架一端设有开口，开口正对出口，开口宽度小于半导体晶圆的直径。通过采用上述技术方案，开口比半导体晶圆小，可配合弧形的卡槽卡住半导体晶圆，开口使半导体晶圆一部分露出，可提高预加热的效率。优选的，所述烤架的出口两侧向外延伸设有第一板块，烤架顶部两侧向外延伸设有第二板块，第二板块与第一板块相连。通过采用上述技术方案，可提高烤架整体的结构强度，使其不易变形，而且还可将第二板块作为提拉烤架的把手。优选的，所述第一板块顶端设有倒角。通过采用上述技术方案，可避免锋利的边角伤人。优选的，所述烤架顶端凸出设有桥板，桥板与烤架顶端连接设有加强板。通过采用上述技术方案，将桥板作为提拉烤架的把手，加强板提高了桥板与烤架的连接强度，提拉桥板可避免直接提拉烤架顶部导致的烤架变形。优选的，所述烤架底部设有第一底板、第二底板及连接板，第一底板与第二底板分别与烤架两侧面的底部连接，连接板连接第一底板与第二底板。通过采用上述技术方案，既保证了烤架底部的连接强度，又可使半导体晶片大部分露出，从而提高预加热效率。综上所述，本技术具有以下有益效果：1、提高了烤架的结构强度，使其不易因高温或搬运受力而变形，延长了烤架的使用寿命；2、能够对半导体晶圆起到保护作用，避免半导体晶圆在烤箱内壁上撞伤。附图说明图1是探针台用防撞报警机构的整体结构示意图；图2是装有半导体晶圆的烤架结构示意图；图3是未装半导体晶圆的烤架结构示意图；图4是烤架底部结构示意图；图5是烤架及支架与烤箱的连接示意图。图中，1、烤箱；2、烤架；2a、弧形内壁；2b、卡槽；21、出口；22、开口；3、半导体晶圆；4、支架；5、传感器；51、发送器；52、接收器；6、第一板块；61、倒角；7、第二板块；8、桥板；9、加强板；10、第一底板；11、第二底板；12、连接板。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细说明。实施例1一种探针台用防撞报警机构，如图1、图2所示，包括烤架2，若干片半导体晶圆3插于烤架2内，烤架2置于探针台的烤箱1内。烤架2上设有位置相对的出口21和开口22，开口22宽度小于圆形的半导体晶圆3的直径，半导体晶圆3卡紧于开口22处，可从出口21处将半导体晶圆3抽出烤架2。如图3所示，烤架2上靠近开口22的两侧设有弧形内壁2a，弧形内壁2a与半导体晶圆3边缘贴合，弧形内壁2a上还从上至下设有若干道卡槽2b，半导体晶圆3卡于卡槽2b内。如图1所示，烤架2的出口21与正对出口21的烤箱1内壁之间设有支架4，支架4顶部位置高出烤架2，支架4顶部固定有传感器5，该传感器5为距离传感器，距离传感器位于所有半导体晶圆3的上方。距离传感器发射红外线/超声波，当半导体晶圆3未从出口21移出时，红外线/超声波经烤箱1底部反射回来，距离传感器通过测算发射和接收红外线/超声波的时间差，计算出距离；而当半导体晶圆3移出出口21反射红外线/超声波时，距离传感器计算处的距离改变，继而反馈报警。报警以蜂鸣器鸣叫，或在探针台的屏幕上显示报警图案等方式发出，提醒操作人员将半导体晶圆复位，因此降低了半导体晶圆在烤箱内壁上撞伤的概率。如图2所示，由于将装满半导体晶圆3的烤架2取出或放入烤箱1时，需要操作人员用手提着烤架2，因此需要对烤架2进行结构上的加固，于是设计烤架2在出口21两侧均向外延伸出第一板块6，烤架2顶部两侧向外延伸出第二板块7，第一板块6与第二板块7连成一体。为防止锋利尖角伤人，将第一板块6顶端设计成圆角或倒角61。如图2所示，由于操作人员提拉烤架2时直接抓住烤架2顶部两侧，易使烤架2扩张变形，因此在烤架2顶部设有用作提拉把手的桥板8，桥板8与烤架2顶部连接有多块加强板9。如图4所示，烤架2底部也设有连接板12，连接板12连接烤架2两侧边，防止烤架2扩张变形。烤架2两侧面的底部分别一体成型有第一底板10和第二底板11，连接板12连接第一底板10与第二底板11。实施例2一种探针台用防撞报警机构，如图5所示，与实施例1不同的是，传感器5为光电传感器，光电传感器包括发送器51和接收器52。发送器51固定在支架4上，且位于所有半导体晶圆3的上方；接收器52固定于烤架2底部，正对发送器51，且接收器52位于所有半导体晶圆3的下方。当半导体晶圆3未从出口21移出时，发送器51发射的光线能够被接收器52接收到，此为正常状态；而当半导体晶圆3移出出口21遮挡光线时，接收器52未能接收到光信号，光电转换产生变化，继而反馈报警。上述的实施例仅仅是对本技术的解释，其并不是对本技术的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本技术的权利要求范围内都受到专利法的保护。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针台用防撞报警机构，包括设于烤箱（1）内的烤架（2），烤架（2）一端设有用于取出半导体晶圆（3）的出口（21），其特征是：所述烤架（2）内壁两侧设有与半导体晶圆（3）边缘形状配合的弧形内壁（2a），弧形内壁（2a）上设有用于卡住半导体晶圆（3）的卡槽（2b），出口（21）与其正对的烤箱（1）内壁之间设有支架（4），支架（4）上设有用于感应半导体晶圆（3）位置变化的传感器（5）。

【技术特征摘要】
1.一种探针台用防撞报警机构，包括设于烤箱（1）内的烤架（2），烤架（2）一端设有用于取出半导体晶圆（3）的出口（21），其特征是：所述烤架（2）内壁两侧设有与半导体晶圆（3）边缘形状配合的弧形内壁（2a），弧形内壁（2a）上设有用于卡住半导体晶圆（3）的卡槽（2b），出口（21）与其正对的烤箱（1）内壁之间设有支架（4），支架（4）上设有用于感应半导体晶圆（3）位置变化的传感器（5）。2.根据权利要求1所述的一种探针台用防撞报警机构，其特征是：所述传感器（5）为距离传感器。3.根据权利要求1所述的一种探针台用防撞报警机构，其特征是：所述传感器（5）为光电传感器，光电传感器包括发送器（51）和接收器（52），发送器（51）位于烤架（2）上方，接收器（52）位于烤架（2）下方并正对发送器（51）。4.根据权利要求1所述的一种探针台用防撞报警机构，其特征是：所述烤架（2）一端设有开...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛昌和，何志强，
申请(专利权)人：江阴佳泰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32