【技术实现步骤摘要】
一种高产能管式炉装置
本技术涉及太阳能电池制造
,尤其涉及一种高产能管式炉装置。
技术介绍
在所有的太阳能电池中,硅太阳能电池是商业推广范围最大的太阳能电池。光电转换的太阳能电池可以将太阳能直接转换成电能,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。P型硅片需要扩散磷元素获得PN结,N型硅片需要扩散硼元素获得PN结。电池片的生产过程中,部分工艺需要在硅片上扩散或者沉积一些元素,形成某种薄层结构。如硼扩散工艺、磷扩散工艺、低压硼扩散工艺、低压磷扩散工艺等。扩散工艺是制备太阳电池最关键的工序之一。扩散结果的均匀性会直接影响电池片电性能参数的正态分布。而扩散炉的需求主要有两个,一是较好的扩散控制,使得扩散结果均匀稳定;二是设备产能高,空间利用率高。现有的扩散炉高度很高,炉体框架结构不稳定,大部分设备都是在炉管侧面安装一些机械部件,目的一是为了炉体的稳定,二是可安装一些进出舟的机械机构,从而整个炉体宽度增大,增加整个炉体的稳定性。同时由于炉体结构太高,也影响了人的观察和手动操作,若要增大炉管直径,势必又要增加设备高度,对炉体结构的稳定性要求就越大;若要缩小炉管直径, ...
【技术保护点】
1.一种高产能管式炉装置,其特征在于,包括主控模块、电气控制模块、炉本体、排热模块、若干炉管、若干加热装置;每一炉管对应一加热装置;所述主控模块用于控制电气控制模块、排热模块、加热装置工作;所述电气控制模块安装于炉本体底部,热排模块安装于炉本体顶部;所述炉本体包括至少两列炉腔,每列炉腔包括若干个炉腔,每一炉腔内置一炉管。
【技术特征摘要】
1.一种高产能管式炉装置,其特征在于,包括主控模块、电气控制模块、炉本体、排热模块、若干炉管、若干加热装置;每一炉管对应一加热装置;所述主控模块用于控制电气控制模块、排热模块、加热装置工作;所述电气控制模块安装于炉本体底部,热排模块安装于炉本体顶部;所述炉本体包括至少两列炉腔,每列炉腔包括若干个炉腔,每一炉腔内置一炉管。2.根据权利要求1所述的高产能管式炉装置,其特征在于,所述管式炉装置还包括预防漏水机构;所述预防漏水机构包括一导流板、两导流管;所述导流板的横截面呈V型构造,导流板的中间开设一通孔,导流板经该通孔卡接在炉本体的底部外侧;所述导流板两端的V型尖端处各开设一导流孔,每一导流孔底部对应安装一导流管。3.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:庞爱锁,林佳继,刘群,伊凡·裴力林,朱太荣,范棋翔,
申请(专利权)人:深圳市拉普拉斯能源技术有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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