一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法技术

本发明专利技术公开了一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，它包括以下步骤：1)制绒：将原硅片通过去除损伤层、银沉积、挖孔、初步脱银、扩孔的处理后(步骤间都有水漂洗)，通过一种化学混合液处理，所述混合液为氢氧化钾、氨水、双氧水和水组成的碱性混合液，且混合液中的体积比为氢氧化钾：氨水：双氧水：水＝2～23:3～6:1～15:191～229，所述的氢氧化钾的浓度为40％～48％，所述的氨水的浓度为20％～27％，所述的双氧水的浓度为22％～30％，并将湿法黑硅制绒硅片减重控制在0.35～0.45g；2)从正常产线流程的扩散工序开始进入到正常产线流程中处理即可，本发明专利技术提供一种能降低电池片量产的低效比例的解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法。

【技术实现步骤摘要】
一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法
本专利技术涉及多晶硅太阳能电池生产
，尤其涉及一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法。
技术介绍
随着光伏行业的发展和技术的不断创新，湿法黑硅技术已经实现量产化，在湿法黑硅技术日益成熟和量产化过程中，湿法制绒对绒面结构、反射率控制以及后道扩散、刻蚀、PECVD和丝网印刷的匹配显得尤为重要，由于用该方法制绒可形成纳米级绒面，对于硅片的陷光效果有着不可估量的作用，但是需要用到重金属(如银)的催化剂，故而硅片表面金属的清洗和脱除成为不可忽视的工艺技术问题。如果金属残留在硅片表面，势必会引起金属污染，硅片表面复合中心点数量大幅增加，从而导致电池片效率低下，必须有效遏制，电致发光(英文electroluminescent)，又可称电场发光，简称EL。“龟裂纹”是湿法黑硅电池片的EL拍摄图像上有类似于乌龟背壳条纹结构的影像，该类电池片效率比正常电池片低0.2％以上，主要表现在开压下降(20mV以上)，短流大幅度下降(50mA以上)。因此有效避免硅片表面金属残留、去除多晶硅电池片“龟裂纹”是非常重要的，据现有技术，湿法黑硅制绒体系中用银本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，它包括以下步骤：1)制绒：将原硅片通过去除损伤层、银沉积、挖孔、初步脱银、扩孔的处理后(步骤间都有水漂洗)，通过一种化学混合液处理，所述混合液为氢氧化钾、氨水、双氧水和水组成的碱性混合液，且混合液中的体积比为氢氧化钾：氨水：双氧水：水＝1～30:2～9:1～19:180～235，所述的氢氧化钾的浓度为40％～48％，所述的氨水的浓度为20％～27％，所述的双氧水的浓度为22％～30％，并将湿法黑硅制绒硅片减重控制在0.35～0.45g；2)从正常产线流程的扩散工序开始进入到正常产线流程中处理即可，就是依次进行扩散、去PSG、刻蚀、PECVD镀...

【技术特征摘要】
1.一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，它包括以下步骤：1)制绒：将原硅片通过去除损伤层、银沉积、挖孔、初步脱银、扩孔的处理后(步骤间都有水漂洗)，通过一种化学混合液处理，所述混合液为氢氧化钾、氨水、双氧水和水组成的碱性混合液，且混合液中的体积比为氢氧化钾：氨水：双氧水：水＝1～30:2～9:1～19:180～235，所述的氢氧化钾的浓度为40％～48％，所述的氨水的浓度为20％～27％，所述的双氧水的浓度为22％～30％，并将湿法黑硅制绒硅片减重控制在0.35～0.45g；2)从正常产线流程的扩散工序开始进入到正常产线流程中处理即可，就是依次进行扩散、去PSG、刻蚀、PECVD镀膜、丝网印刷和测试。2.根据权利要求1所述的一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，其特征在于：所述的混合液中的体积比为氢氧化钾：氨水：双氧水：水＝2～23:3～6:1～15:191～229。3.根据权利要求2所述的一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，其特征在于：所述的混合液中的体积比为氢氧化钾：氨水：双氧水：水＝23:5:15:192。4.根据权利要求1所述的一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，其特征在于：所述的氢氧化钾的浓度为42％～46％。5.根据权利要求1所述的一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，其特征在于：所述的氨水的浓度为22％～26％。6.根据权利要求1所述的一种解决金刚线湿法刻蚀...

【专利技术属性】
技术研发人员：章天瑜，张文锋，胡玉婷，张文超，范启泽，张雄伟，
申请(专利权)人：东方日升新能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33