【技术实现步骤摘要】
用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置
本技术涉及一种用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置，主要用于有机物发光材料、有机光伏材料和有机场效应管材料的蒸发镀膜设备的关机装置。
技术介绍
蒸发源装置在承载有机物进行蒸发镀膜时，需要对蒸发源装置进行测温，实时监控温度，而目前的蒸发源装置，热电偶只测取了蒸发源装置周围的温度，存在一定的误差，具有一定的局限性，并且目前大多数电热丝采用铁铬铝丝或者镍镉丝，容易断裂，使用寿命短。
技术实现思路
本技术解决的技术问题是克服现有技术中存在的不足，而提供一种温度测量准确，使用寿命长，集成度高的用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置。本申请解决上述技术问题所采用的技术方案包括：一种用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置，包括设置在壳体内的坩埚、电热丝和热电偶，其特征在于：所述的热电偶设置在坩埚的底部，所述的坩埚上环形设置有第二孔，所述的电热丝通过第二孔绕在坩埚上。优选的，还设置有挡板、第一杆、第二杆和旋转电机，所述的热电偶和电热丝设置在第二杆内，所述的第一杆的上面设置有挡板，所述的第一杆的下面设置有旋转电机。优选的，还设置有集成法兰，所述的第一杆和第二杆设置在集成法兰上。优选的，所述的电热丝采用钽丝，所述的坩埚采用氮化硼。本申请具有以下特点:温度测量准确，使用寿命长，装置的集成度高。附图说明图1是本申请实施例的主视图。图2是本申请实施例的图1的A-A剖视图。图3是本申请实施例的图2的X的局部放大图。图4是本申请实施例的坩埚的俯视图。图中：11热电偶，12坩埚，13第一孔，14壳体，15第二孔，16电热丝，17热电偶，2集成法兰，31挡板，32第一杆，4旋转电...
【技术保护点】
1.一种用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置，包括设置在壳体内的坩埚、电热丝和热电偶，其特征在于：所述的热电偶设置在坩埚的底部，所述的坩埚上环形设置有第二孔，所述的电热丝通过第二孔绕在坩埚上。
【技术特征摘要】
1.一种用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置，包括设置在壳体内的坩埚、电热丝和热电偶，其特征在于：所述的热电偶设置在坩埚的底部，所述的坩埚上环形设置有第二孔，所述的电热丝通过第二孔绕在坩埚上。2.根据权利要求1所述的用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置，其特征在于：还设置有挡板、第一杆、第二杆和旋转电机，所述的热电偶和电热丝...
【专利技术属性】
技术研发人员：金炯，杨林，姜琼，
申请(专利权)人：杭州赛威斯真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33
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