本实用新型公开一种用于液氮温度的方形玻璃观察窗的密封结构，用于将方形玻璃观察窗和腔室的观察通道进行密封。方形玻璃观察窗固定在上压板上，方形玻璃观察窗的四周侧面均为斜面；腔室的观察通道的尺寸形状与方形玻璃观察窗相配合，腔室的观察通道的四周...

本申请公开一种用于超高真空系统的玻璃管密封结构，上密封法兰和下密封法兰均包括呈圆盘状的法兰本体；下密封法兰的法兰本体的中心处开设有第一锥形孔和第一通孔，下密封法兰的法兰本体的上端面连接有凸出圆环台阶；铟丝密封环放置在凸出圆环台阶内；上密...

本实用新型涉及一种防水型分子泵机组，机械泵和分子泵连接，均安装在防水机组外壳内。防水机组外壳的相对两侧壁上均设置有若干个防水对流口。分子泵的抽气口穿过防水机组外壳的一侧壁，并且该侧壁上还设置有散热风扇、排气口、电源插座、油液观察窗；在与...

本申请公开一种冷屏、装有该冷屏的有机物升华提纯设备以及提纯方法，冷屏包括外冷屏和接头；外冷屏的底部为非封闭，顶部的顶面分为一号上顶面和二号上顶面，将二号上顶面沿轴向向上拉伸形成一凸起结构，该凸起结构中由一号上顶面和二号上顶面的分割线向上...

本申请涉及一种用于真空镀膜装置的样品台，包括支撑板、安装板、升降机构、挡板机构、样品放置盒、膜厚检测仪、导柱、壳体、旋转机构、电极机构、连接管道，其特征是支撑板上固定有导柱、升降机构，导柱上滑动套装安装板，安装板上固定挡板机构、壳体、膜...

本申请公开了一种用于磁控溅射生产线的一体式溅射环靶，包括磁控溅射室、电信号输入口和靶杆，磁控溅射室包括靶材固定座、靶材、靶导磁座、磁钢和靶头座，所述的靶材设置在所述的靶材固定座的下部，所述的靶杆连接所述的靶头座，所述的磁钢设置在靶头座和...

本申请公开了一种磁控溅射圆形双环靶，包括第一磁钢、第二磁钢、靶材安装台、屏蔽罩和水冷通道，所述的第一磁钢、第二磁钢、靶材安装台和水冷通道设置在屏蔽罩内，所述的靶材安装台设置在第二磁钢上，所述的第二磁钢环形设置在第一磁钢的四周，其特征在于...

本申请公开了一种用于磁控溅射生产线的环靶，包括第一磁钢、第二磁钢、靶材安装台、屏蔽罩和冷却水通入口，所述的靶材安装台设置在第一磁钢和第二磁钢上，所述的第一磁钢、第二磁钢和靶材安装台设置在屏蔽罩内，所述的冷却水通入口设置在靶材安装台上，其...

本申请公开了一种束线型磁控溅射生产线，包括设置在支架上的进出样室、镀膜室、高温退火室，进出样室内固定设置有第一基片放置架，在高温退火室内设置有第三基片放置架，其特征在于：还设置有基片传送室、缓存室和第一升降机构，基片传送室分别连接进出样...

本申请涉及一种磁控溅射与电子束复合型镀膜机，包括机箱、安装板、升降机构、基片挡板机构、水冷接口、真空机构、样品放置盒、膜厚检测仪、导柱、旋转机构、磁控溅射机构、电子束发生器、加热机构、连接管道，机箱上固定有导柱、升降机构，导柱上滑动套装...

本申请公开了一种用于有机物蒸发镀膜机的有机物束源炉，包括蒸发源、第二杆、连接件和集成法兰，所述的蒸发源连接所述的第二杆，第二杆穿过所述的连接件固定安装在所述的集成法兰上，其特征在于：还设置有升降装置，所述的升降装置包括旋钮、螺杆、导柱和...

本申请公开了一种用于有机物蒸发镀膜机的蒸发源装置，包括设置在壳体内的坩埚、电热丝和热电偶，其特征在于：所述的热电偶设置在坩埚的底部，所述的坩埚上环形设置有第二孔，所述的电热丝通过第二孔绕在坩埚上，本申请具有以下特点:温度测量准确，使用寿...

本申请公开一种用于超高真空系统的玻璃管密封结构及密封方法，上密封法兰和下密封法兰均包括呈圆盘状的法兰本体；下密封法兰的法兰本体的中心处开设有第一锥形孔和第一通孔，下密封法兰的法兰本体的上端面连接有凸出圆环台阶；铟丝密封环放置在凸出圆环台...

本申请公开一种冷屏、装有该冷屏的有机物升华提纯设备以及提纯方法，冷屏包括外冷屏和接头；外冷屏的底部为非封闭，顶部的顶面分为一号上顶面和二号上顶面，将二号上顶面沿轴向向上拉伸形成一凸起结构，该凸起结构中由一号上顶面和二号上顶面的分割线向上...

本申请公开了一种用于芯片测试的低温恒温器，包括进液管接口、抽气口、进液管、回气管和测试窗口腔体，液氦从进液管接口进入到进液管内再进入到所述的测试窗口腔体内进行温度冷却，进液管与回气管连接，氦气经过回气管到抽气口回收，其特征在于：所述的测...

本申请公开了.一种材料吸气放气率测试装置，包括设置在工作面上的吸气测试系统和放气测试系统、进出样室和进出样分子泵，进出样室连接进出样分子泵，其特征在于：吸气测试系统和放气测试系统交叉设置，交叉点为进出样室，吸气性能测试系统包括吸气送样杆...

本申请公开了.一种材料吸气放气率测试装置，包括设置在工作面上的吸气测试系统和放气测试系统、进出样室和进出样分子泵，进出样室连接进出样分子泵，其特征在于：吸气测试系统和放气测试系统交叉设置，交叉点为进出样室，吸气性能测试系统包括吸气送样杆...

本申请涉及一种用于真空镀膜装置的样品台，包括支撑板、安装板、升降机构、挡板机构、样品放置盒、膜厚检测仪、导柱、壳体、旋转机构、电极机构、连接管道，其特征是支撑板上固定有导柱、升降机构，导柱上滑动套装安装板，安装板上固定挡板机构、壳体、膜...

本申请公开了一种束线型磁控溅射生产线，包括设置在支架上的进出样室、镀膜室、高温退火室，进出样室内固定设置有第一基片放置架，在高温退火室内设置有第三基片放置架，其特征在于：还设置有基片传送室、缓存室和第一升降机构，基片传送室分别连接进出样...

本申请涉及一种磁控溅射与电子束复合型镀膜机，包括机箱、安装板、升降机构、基片挡板机构、水冷接口、真空机构、样品放置盒、膜厚检测仪、导柱、旋转机构、磁控溅射机构、电子束发生器、加热机构、连接管道，机箱上固定有导柱、升降机构，导柱上滑动套装...