The application involves a sample table for a vacuum coating device, including a supporting plate, an installation plate, a lifting mechanism, a baffle mechanism, a sample placement box, a film thickness detector, a guide column, a shell, a rotating mechanism, an electrode mechanism, and a connecting pipe. The feature is a sliding suit on the supporting plate, a guide column, a lifting mechanism, and a sliding suit on the guide column. Mounting plate, fixed baffle mechanism, shell and film thickness tester on the installation board, the lifting mechanism and the mounting plate are combined with the mounting plate to adjust the relative height along the guide column, and the probe of the film thickness detector is relative to the processed product fixed under the sample placing box, and the connecting pipe is rotated and installed on the mounting plate. The anode of the electrode mechanism is set on the shell. The cathode of the electrode mechanism is set on the processed product. The rotating mechanism is installed on the shell. The rotating mechanism is used to drive the connecting pipe to rotate and drive the sample placement box to rotate. The application is simple, easy to use, functional and effective.
【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜装置的样品台
本申请涉及一种用于真空镀膜装置的样品台,主要适用于真空镀膜系统中被镀膜样品的夹持并实现旋转、加热、冷却、测膜厚等功能。
技术介绍
现有技术的缺陷是无法实现直接式水冷,也无法实现薄膜膜厚探头和样品同步升降功能,其中的样品盒不能根据需要进行角度的调整,加热水冷功能不能简洁方便地做在一套系统里。
技术实现思路
本申请解决的技术问题是克服现有技术中存在的上述不足,而提供一种结构简洁,使用方便,功能多,效果好的用于真空镀膜装置的样品台。本申请解决上述技术问题所采用的技术方案是:用于真空镀膜装置的样品台,包括支撑板、安装板、升降机构、样品放置盒、膜厚检测仪、导柱、壳体、旋转机构、电极机构、连接管道,其特征是支撑板上固定有导柱、升降机构,导柱上滑动套装安装板,安装板上固定、壳体、膜厚检测仪,升降机构与安装板配合并驱动安装板沿导柱上下升降调整相对高度;膜厚检测仪的探头与固定在样品放置盒下的被加工产品相对高度不变;连接管道转动安装在安装板上并与样品放置盒连接,电极机构的阳极设置在壳体上,电极机构阴极设置在磁控溅射环靶上,壳体上安装有旋转机构,旋转机构用来驱动连接管道转动并带动样品放置盒转动,使得基片镀膜更均匀。本申请还设置有挡板机构,挡板机构用来驱动挡板挡住或者不挡住真空镀膜物。本申请所述连接管道通过二组以上绝缘轴承转动安装在真空镀膜装置的样品台上。本申请所述连接管道为双套管,双套管通过水冷接口分别与进水管、排水管连通,进水通过双套管内、外通道中的一个与样品放置盒换热后再经过双套管内、外通道中的另一个流出水冷接口,样品放置盒底面紧贴被加工产品,导热 ...
【技术保护点】
1.一种用于真空镀膜装置的样品台,包括支撑板、安装板、升降机构、挡板机构、样品放置盒、膜厚检测仪、导柱、壳体、旋转机构、电极机构、连接管道,其特征是:所述支撑板上固定有导柱、升降机构,导柱上滑动套装安装板,安装板上固定挡板机构、壳体、膜厚检测仪,升降机构与安装板配合并驱动安装板沿导柱上下升降;膜厚检测仪的探头与固定在样品放置盒下的被加工产品相对高度不变;连接管道转动安装在安装板上并与样品放置盒连接,电极机构的阳极设置在壳体上,电极机构阴极设置在磁控溅射环靶上,壳体上安装有旋转机构,旋转机构用来驱动连接管道转动。
【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜装置的样品台,包括支撑板、安装板、升降机构、挡板机构、样品放置盒、膜厚检测仪、导柱、壳体、旋转机构、电极机构、连接管道,其特征是:所述支撑板上固定有导柱、升降机构,导柱上滑动套装安装板,安装板上固定挡板机构、壳体、膜厚检测仪,升降机构与安装板配合并驱动安装板沿导柱上下升降;膜厚检测仪的探头与固定在样品放置盒下的被加工产品相对高度不变;连接管道转动安装在安装板上并与样品放置盒连接,电极机构的阳极设置在壳体上,电极机构阴极设置在磁控溅射环靶上,壳体上安装有旋转机构,旋转机构用来驱动连接管道转动。2.根据权利要求1所述用于真空镀膜装置的样品台,其特征是:所述连接管道为双套管,双套管通过水冷接口分别与进水管、排水管连通,进水通过双套管内、外通道中的一个与样品放置盒换热后再经过双套管内、外通道中的另一个流出水冷接口,样品放置盒底面紧贴被加工产品。3.根据权利要求1或2所述用于真空镀膜装置的样品台,其特征是:还设置有样品盒固定机构,样品盒固定...
【专利技术属性】
技术研发人员:金炯,杨林,姜琼,
申请(专利权)人:杭州赛威斯真空技术有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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