一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法制造方法及图纸

技术编号:19358713 阅读:36 留言:0更新日期:2018-11-07 20:55
本发明专利技术提供一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法,涉及显示技术领域,用于解决沉积过程中如何快速疏通堵塞的喷嘴的问题。有机蒸汽沉积装置,包括有机材料供给装置和与所述有机材料供给装置连接的多个喷头;所述喷头包括增压装置以及设置在所述增压装置相对两侧的喷嘴和激光器,所述有机材料供给装置用于将其输出的沉积气体输送至所述激光器与所述喷嘴之间,所述激光器用于向所述喷嘴发射激光,所述增压装置用于将所述有机材料供给装置传输的沉积气体加压后从所述喷嘴喷出。

An organic vapor deposition device and its control method

The invention provides an organic vapor deposition device and a control method thereof, which relates to the display technology field and is used to solve the problem of how to quickly dredge blocked nozzles in the deposition process. An organic vapor deposition device includes an organic material supply device and a plurality of nozzles connected with the organic material supply device; the nozzle includes a booster device and a nozzle and a laser arranged on opposite sides of the booster device, and the organic material supply device is used for conveying the deposited gas output by the organic material supply device to the excitation. Between the optical device and the nozzle, the laser is used to emit a laser to the nozzle, and the pressurizing device is used to pressurize the deposited gas transmitted by the organic material feeding device and eject it from the nozzle.

【技术实现步骤摘要】
一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法
本专利技术涉及显示
,尤其涉及一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法。
技术介绍
目前,利用有机材料制成的光电器件备受亲睐,制造这种器件所使用的许多材料相对便宜,因此与无机器件相比,有机光电器件潜在地具有成本优势。另外,有机材料的固有性能,例如其柔性,可使得它们非常适合于特定的应用,例如在柔性基底上的制造。有机光电器件的实例包括有机电致发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode,简称OLED)、有机光敏晶体管、有机光生伏打电池和有机光检测器。对于OLED器件来说,有机材料相对于常规材料可具有性能优势。例如,通常可容易地采用合适的掺杂剂微调有机发射层发光时的波长。此处所使用的术语“有机材料”包括制造有机光电器件可使用的聚合物材料以及小分子有机材料。现有普通的有机材料沉积的装置和方法中通常是通过掩膜来实现图案化的沉积,然而这种加工方式效率低,并且导致有机材料浪费严重。为了避免采用掩膜带来的有机材料浪费的问题和控制有机材料沉积的均一性,本领域技术人员提出采用有机蒸汽材料沉积装置完成沉积,然而现有的有机蒸汽材料沉积装置在沉积过程中,有机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机蒸汽沉积装置,其特征在于,包括有机材料供给装置和与所述有机材料供给装置连接的多个喷头;所述喷头包括增压装置以及设置在所述增压装置相对两侧的喷嘴和激光器,所述有机材料供给装置用于将其输出的沉积气体输送至所述激光器与所述喷嘴之间,所述激光器用于向所述喷嘴发射激光,所述增压装置用于将所述有机材料供给装置传输的沉积气体加压后从所述喷嘴喷出。

【技术特征摘要】
1.一种有机蒸汽沉积装置,其特征在于,包括有机材料供给装置和与所述有机材料供给装置连接的多个喷头;所述喷头包括增压装置以及设置在所述增压装置相对两侧的喷嘴和激光器,所述有机材料供给装置用于将其输出的沉积气体输送至所述激光器与所述喷嘴之间,所述激光器用于向所述喷嘴发射激光,所述增压装置用于将所述有机材料供给装置传输的沉积气体加压后从所述喷嘴喷出。2.根据权利要求1所述的有机蒸汽沉积装置,其特征在于,所述有机材料供给装置包括多个独立的子供给装置;所述子供给装置包括混合匀压腔室、与所述混合匀压腔室连接的蒸汽源供给装置和高压载气供给装置、设置在所述混合匀压腔室内的控温元件,所述混合匀压腔室的出口连接多个所述喷头;多个所述蒸汽源供给装置供给的有机蒸汽不完全相同;所述高压载气供给装置供给的载气不与所述蒸汽源供给装置供给的有机蒸汽发生气相反应。3.根据权利要求1所述的有机蒸汽沉积装置,其特征在于,所述有机蒸汽沉积装置还包括设置在所述喷嘴的出口方向上的承载基板及冷却系统,所述承载基板设置在所述喷嘴的下方;所述冷却系统设置在所述承载基板的下方;或者,所述冷却系统设置在所述承载基板的内部。4.根据权利要求3所述的有机蒸汽沉积装置,其特征在于,所述有机蒸汽沉积装置还包括设置在所述承载基板上的激光接收器,所述激光接收器用于根据接收到的激光强度判断所述喷头与沉积过程中放置在所述承载基板上的沉积基板的相对位置。5.根据权利要求1所述的有机蒸汽沉积装置,其特征在于,所述增压装置包括压电陶瓷管、进口阀、出口阀和微机电系统,所述进口阀和所述出口阀分别位于所述压电陶瓷管的进口端和出口端;所述微机电系统与所述压电陶瓷管连接以控制所述压电陶瓷管的变形,所述微机电系统与所述进口阀和所述出口阀连接以控制所述进口阀和所述出口...

【专利技术属性】
技术研发人员:井杨坤
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司合肥鑫晟光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:北京,11

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