The utility model relates to a three T type OLED steam plating line source, which comprises three crucible, which is arranged in a row of equal spacing, and the interior is fitted with an organic material, respectively; three air balance tubes are connected with a crucible respectively, and a plurality of nozzles are provided at the top of each air balance tube, and all the spray is described. The mouth is arranged in a row. The three T OLED evaporation line source of the utility model has three crucibles, which are respectively filled with fillers, with small sealing area and convenient loading and filling. They correspond to the left, middle and right parts of the line source nozzles, respectively, and control the speed of the left, right and left sides respectively, so that they are easy to control.
【技术实现步骤摘要】
一种三T型OLED蒸镀线源
本技术涉及蒸镀
，特别涉及一种三T型OLED蒸镀线源。
技术介绍
现有的量产蒸镀设备的线源多为“一字型”，顾名思义，一字型线源即一种外形近似汉字“一”的线性蒸发源。如图1所示，传统一字型线源的有机材是通过线源主体2顶端的一排水平间隔排布的喷嘴1喷出。一字型线源也可以近似理解为一个长方体，长方体内部添加有机材料，顶端有一排水平间隔排布的喷嘴，当长方体侧壁被加热时，内部有机材料即气化而从顶端喷嘴处喷出，并最终在基板上沉积成膜。虽然一字型线源目前应用很广泛，但是一字型线源由于自身结构限制，存在一些缺点。其中，装、退材料困难及系统惯性大速率难于控制两个缺点尤为致命。前者因为一字型线源内部都有一支长条形内坩埚，向内坩埚装填材料时，很难做到水平方向的均匀。加入材料后需要做端面密封将内坩埚封闭在线源内，这一过程非常繁琐，且有一定难度。而“系统惯性大速率难于控制”是由于一字型线源全部材料都是平铺在一字长条形内坩埚中，而内坩埚的侧面几乎都在加热丝的辐射范围内。所以升温降温都很难控制，因此说其系统惯性大，速率控制困难。日本ULVAC和韩国SFA公司都...
【技术保护点】
1.一种三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，包括：三个坩埚(3)，其等间距设置成一排，内部分别装有蒸镀有机材料；三个气流平衡管(4)，每个气流平衡管(4)分别与一个坩埚(3)相连；每个气流平衡管(4)的顶部分别设有多个喷嘴(1)，所有的所述喷嘴(1)排列为一排。
【技术特征摘要】
1.一种三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，包括：三个坩埚(3)，其等间距设置成一排，内部分别装有蒸镀有机材料；三个气流平衡管(4)，每个气流平衡管(4)分别与一个坩埚(3)相连；每个气流平衡管(4)的顶部分别设有多个喷嘴(1)，所有的所述喷嘴(1)排列为一排。2.根据权利要求1所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，中间的气流平衡管(4)上的多个喷嘴(1)的间距大于两侧的气流平衡管(4)上的多个喷嘴(1)的间距。3.根据权利要求1所述的三T型OLED蒸镀线源，其特征在于，每个所述气流平衡管(4...
【专利技术属性】
技术研发人员：林文晶，彭勃，
申请(专利权)人：上海升翕光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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