温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种有机蒸汽沉积装置及其控制方法，涉及显示技术领域，用于解决沉积过程中如何快速疏通堵塞的喷嘴的问题。有机蒸汽沉积装置，包括有机材料供给装置和与所述有机材料供给装置连接的多个喷头；所述喷头包括增压装置以及设置在所述增压装置相对两侧的...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司授权不得商用。