The utility model relates to a turbine molecular pump, which belongs to the technical field of vacuum pump, comprising a main shell of a turbine molecular pump, a motor shell, a bearing stack, a first bearing, a lower oil cap, a spindle, a stator, a motor main engine, a bearing seat, a second bearing, a component on the motor housing, an upper cover, a core sleeve, a movable sheet group, a static sheet group, a isolation ring, and a static ring. Inlet, outlet, spring cover and spring. The turbine molecular pump of the invention combines the bearing with the spindle in a way that can greatly reduce the axial length of the rotor, so that the molecular pump can achieve a higher speed. At the same time, the structure has lower electromagnetic loss, which can greatly reduce the temperature rise caused by the loss; at the same time, it can greatly reduce the unbalanced mass of the rotor at high speed, reduce the vibration and noise of the rotor; and the overall structure of the application is compact and reduces the production cost.
【技术实现步骤摘要】
一种涡轮分子泵
本专利技术属于真空泵
,具体地,涉及一种涡轮分子泵。
技术介绍
分子泵是根据分子动量传输原理而设计的真空泵,能获得10-9Pa的超高真空设备,在半导体制造、薄膜制备、聚变技术和质谱分析等工业领域有着广泛的应用。其抽气原理是在分子流区域内依靠高速运动的刚体表面携带气体分子或传递动量给气体分子,使气体分子产生定向运动并逐级压缩,从而实现抽气的目的。涡轮分子泵属于高速旋转机械,其是一种利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵主要由泵体、涡轮转子、主轴、静涡轮级和驱动装置等组成,泵体包括泵盖和泵座,主轴设置在泵体中心,并与涡轮转子固定,用于固定涡轮转子的旋转中心线与主轴轴线重合,涡轮转子和静涡轮级交替排列。目前市场上存在各式各样的涡轮分子泵,但是分子泵的密封性能和稳定性仍有待进一步提高,本申请是为了解决本申请而设计的一种涡轮分子泵。
技术实现思路
专利技术目的:本专利技术的目的是提供一种涡轮分子泵,解决了涡轮分子泵使用过程中动片组的稳定性和整体密封性能,同时结构稳定,制造成本低。技术方案:本专利技术提供了一种涡轮分子泵,包括涡轮分子泵主壳体、电机壳体、轴承堆块、第一轴承、下挡油盖、主轴、定子、电机主机、轴承座、第二轴承、电机壳上组件、上挡盖、芯套、动片组、静片组、隔动环、隔静环、进气口、出气口、弹簧盖板和弹簧,所述涡轮分子泵主壳体的下端部套设在电机主机上端部的外壁上,所述电机壳体设置在电机主机内部,并且电机壳体、电机主机和涡轮分子泵主壳体的中心线处于同一轴线上,所述弹簧盖板罩设在电机壳体的下端部,所述弹 ...
【技术保护点】
1.一种涡轮分子泵,其特征在于:包括涡轮分子泵主壳体(1)、电机壳体(2)、轴承堆块(3)、第一轴承(4)、下挡油盖(5)、主轴(6)、定子(7)、电机主机(8)、轴承座(9)、第二轴承(10)、电机壳上组件(11)、上挡盖(12)、芯套(13)、动片组(14)、静片组(15)、隔动环(16)、隔静环(17)、进气口(18)、出气口(19)、弹簧盖板(20)和弹簧,所述涡轮分子泵主壳体(1)的下端部套设在电机主机(8)上端部的外壁上,所述电机壳体(2)设置在电机主机(8)内部,并且电机壳体(2)、电机主机(8)和涡轮分子泵主壳体(1)的中心线处于同一轴线上,所述弹簧盖板(20)罩设在电机壳体(2)的下端部,所述弹簧设置在轴承堆块(3)的下端部内,所述轴承堆块(3)设置在电机壳体(2)内部,所述第一轴承(4)设置在轴承堆块(3)的上端部内,所述下挡油盖(5)设置在电机壳体(2)内,并且下挡油盖(5)位于第一轴承(4)上方,所述主轴(6)的下端部设置于电机主机(8)的中心位置,并且主轴(6)的上端部设置于涡轮分子泵主壳体(1)内的中心位置,所述定子(7)设置在电机主机(8)内,并且定子(7 ...
【技术特征摘要】
1.一种涡轮分子泵,其特征在于:包括涡轮分子泵主壳体(1)、电机壳体(2)、轴承堆块(3)、第一轴承(4)、下挡油盖(5)、主轴(6)、定子(7)、电机主机(8)、轴承座(9)、第二轴承(10)、电机壳上组件(11)、上挡盖(12)、芯套(13)、动片组(14)、静片组(15)、隔动环(16)、隔静环(17)、进气口(18)、出气口(19)、弹簧盖板(20)和弹簧,所述涡轮分子泵主壳体(1)的下端部套设在电机主机(8)上端部的外壁上,所述电机壳体(2)设置在电机主机(8)内部,并且电机壳体(2)、电机主机(8)和涡轮分子泵主壳体(1)的中心线处于同一轴线上,所述弹簧盖板(20)罩设在电机壳体(2)的下端部,所述弹簧设置在轴承堆块(3)的下端部内,所述轴承堆块(3)设置在电机壳体(2)内部,所述第一轴承(4)设置在轴承堆块(3)的上端部内,所述下挡油盖(5)设置在电机壳体(2)内,并且下挡油盖(5)位于第一轴承(4)上方,所述主轴(6)的下端部设置于电机主机(8)的中心位置,并且主轴(6)的上端部设置于涡轮分子泵主壳体(1)内的中心位置,所述定子(7)设置在电机主机(8)内,并且定子(7)套设在主轴(6)的外部,所述轴承座(9)设置在电机壳上组件(11)内的中心位置,并且轴承座(9)套设在主轴(6)上端部的外部,所述第二轴承(10)设置在轴承座(9)的上端部上,并且第二轴承(10)位于电机壳上组件(11)内上端部,所述电机壳上组件(11)设置在芯套(13)的下端部内,所述上挡盖(12)罩设在电机壳上组件(11)的上端部,并且上挡盖(12)位于芯套(13)内,所述芯套(13)设置在涡轮分子泵主壳体(1)内的中心位置,并且芯套(13)套设在主轴(6)上端部的外壁上,所述动片组(14)设置在芯套(13)的外壁上,并且动片组(14)设置在涡轮分子泵主壳体(1)内,所述静片组(15)设置在涡轮分子泵主壳体(1)上,所述隔动环(16)套设在芯套(13)的外壁上,并且隔动环(16)处于动片组(14)的相邻的动轮叶之间,所述隔静环(17)设置在涡轮分子泵主壳体(1)上,并且隔静环(17)处于静片组(15)相邻的定轮叶之间,所述进气口(18)位于在涡轮分子泵主壳体(1)的上端部,所述出气口(19)位于涡轮分子泵主壳体(1)的下端部。2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵,其特征在于:所述进气口(18)上罩设有防护网(21),所述涡轮分子泵主壳体(1)的上端部设有第一凹槽(22),所述防护网(21)的外圆周设置在第一凹槽(22)内,所述涡轮分子泵主壳体(1)的上端部设有第二凹槽(23),所述第二凹槽(23)的直径大于第一凹槽(22)的直径,所述第二凹槽(23)设有第一密封圈(24),所述涡轮分子泵主壳体(1)的上端部外壁罩设有塑料盖(25),所述塑料盖(25)位于防护网(21)上方。3.根据权利要求1所述的涡轮分子泵,其特征在于:所述电机主机(8)的外壁上设有第一凸台(26),所述涡轮分子...
【专利技术属性】
技术研发人员:高峰,王伟,
申请(专利权)人:太仓市凯福士机械有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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