用于分子泵的涡轮叶片制造技术

一种用于分子泵的涡轮叶片，主要特点在于：所述的涡轮叶片的整体轮廓为圆盘状，在其中央部位为开有安装孔的圆盘，在所述的圆盘的周围开有叶齿，所述的叶齿在径向沿圆周均布。所述的叶齿为台阶式变截面叶齿。所述的台阶式变截面叶齿与所述的圆盘形成倾斜角。所述的台阶式变截面叶齿的台阶数≥２道，所述的台阶式变截面叶齿的台阶面为弧面１，台阶根部２为倒角或圆弧过渡。所述的弧面１半径为８－１５ｃｍ。本发明专利技术结构比较简单，工艺相当稳定，便于制造。更为重要的是，在高速运转时具有有很高的强度，明显提高了使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于分子泵的涡轮叶片，其特征在于：所述的涡轮叶片的整体轮廓为圆盘状，在其中央部位为开有安装孔的圆盘，在所述的圆盘的周围开有叶齿，所述的叶齿在径向沿圆周均布。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱岳，
申请(专利权)人：朱岳，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]