涡轮分子泵制造技术

本发明专利技术涉及一种带有转子（１８）的涡轮分子泵（１０），所述转子（１８）通过至少一个滚动轴承（１６）安装在外壳（１２）上。所述滚动轴承（１６）具有不旋转的轴承套（２０）和旋转的轴承套（２２）。所述不旋转的轴承套（２０）借助于弹性振动环（１４）安装在外壳（１２）上。所述振动环（１４）以各向异性的方式构成，使得刚性在圆周上为不均匀的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
涡轮分子泵（１０），具有通过滚动轴承（１６）安装在外壳（１２）上的转子（１８），其中所述滚动轴承（１６）具有不旋转的轴承套（２０）和旋转的轴承套（２２），并且所述不旋转的轴承套（２０）借助于弹性振动环（１４）安装在外壳（１２）上，其特征在于，所述振动环（１４）以各向异性的方式构成，使得刚性在圆周上为不均匀的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖纳赫尔策，
申请(专利权)人：厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]