分子泵制造技术

一种分子泵，所述分子泵包括电机组件１、动叶轮组件２、静叶片４、电机主轴５、泵壳６、泵底盘７和排气口８。主要特点在于：动叶轮组件２直联在所述的电机主轴５上。动叶轮组件２由动叶片３串联组成，并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片。动叶片３与所述的静叶片４交错排列。静叶片４叶齿的内、外端均为整体环形，其外环形内径小于或等于动叶片３的外径。分子泵的末级叶片为静叶片４。静叶片４固定在所述的泵壳６和泵底盘７上。抽气级叶片的数量≥１级。压缩级叶片的数量≥２级。本实用新型专利技术结构设计合理，强度高而使用寿命长，具有大抽速和压缩比，能够抑制气体分子轴向返流。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种分子泵，所述的分子泵包括电机组件（１）、动叶轮组件（２）、静叶片（４）、电机主轴（５）、泵壳（６）、泵底盘（７）和排气口（８）；其特征在于：　　　　所述的动叶轮组件（２）直联在所述的电机主轴（５）上；　　　　所述的动叶轮组件（２）由动叶片（３）串联组成，并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片；　　　　所述的动叶片（３）与所述的静叶片（４）交错排列；　　　　所述的静叶片（４）的叶齿的内、外端均为整体环形，其外环形内径小于或等于所述的动叶片（３）的外径；　　　　所述的分子泵的末级叶片为静叶片（４）；　　　　所述的静叶片（４）固定在所述的泵壳（６）和泵底盘（７）上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱岳，
申请(专利权)人：朱岳，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]