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文档序号:2173561

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一种分子泵,所述分子泵包括电机组件1、动叶轮组件2、静叶片4、电机主轴5、泵壳6、泵底盘7和排气口8。主要特点在于:动叶轮组件2直联在所述的电机主轴5上。动叶轮组件2由动叶片3串联组成,并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片。动叶片3...
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