泵送装置制造方法及图纸

一种差动泵送真空系统，其包括第一，第二和第三室，以及抽空所述室的泵送装置。所述泵送装置包括复合泵，所述复合泵包括连接到第一室的出口的第一入口；连接到第二室的出口的第二入口；第一泵送部分和在第一泵送部分下游的第二泵送部分，设置所述泵送部分，以便从第一入口进入复合泵的流体穿过第一和第二泵送部分，从第二入口进入复合泵的流体仅仅穿过所述泵送部分的第二泵送部分。所述泵送装置还包括具有连接到第三室的出口上的入口的增压泵和具有连接到增压泵的排出管道上的入口的前级泵。从复合泵的流体排出物可按照需要传送至第二增压泵入口和前级泵入口。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于差动地抽吸许多室的泵送装置，所述泵送装置包括复合泵，该复合泵包括用于接收来自第一室的流体的第一入口；用于接收来自第二室的流体的第二入口；第一泵送部分以及设置在第一泵送部分下游的第二泵送部分，设置所述泵送部分以便从第一入口进入复合泵的流体穿过第一和第二泵送部分，从第二入口进入复合泵的流体仅仅穿过所述部分中的第二部分；具有用于接收来自第三室的流体的入口的增压泵，具有用于接收来自增压泵排出的流体的入口的前级泵，用于从复合泵排出的流体传送至增压泵和前级泵中的一个的装置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：ID斯通斯，
申请(专利权)人：英国氧气集团有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]