【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种真空泵,包括第一抽吸部分、位于第一抽吸部分下游的第二抽吸部分、位于第二抽吸部分下游的第三抽吸部分、第一泵入口,流体可通过所述第一泵入口进入所述泵并且朝向泵出口通过各个抽吸部分,以及第二泵入口,流体可通过所述第二泵入口进入所述泵并且朝向出口仅通过第二和第三抽吸部分,其中第三抽吸部分包括形成在其定子中的螺旋凹槽,并且第一和第二抽吸部分中的至少一个包括形成在其转子中的螺旋凹槽。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:ID斯通斯,DJ古德温,
申请(专利权)人:英国爱德华兹有限公司,
类型:发明
国别省市:GB[英国]
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