真空泵制造技术

一种涡轮分子泵，其包括构造有布置在转子处的转动圆筒部和布置在转动圆筒部的外周侧的固定圆筒(24)的拖曳泵单元，固定圆筒与转动圆筒部之间留有间隙。固定圆筒(24)包括：圆筒上部(240a)，其固定于基部(1)；以及圆筒下部(240b)，其经由槽(243)连接于圆筒上部(240a)的排气下游侧，该槽(243)形成为使得：在转动圆筒部(32)破坏并且破坏的转动圆筒部(32)撞击固定圆筒(24)，使固定圆筒(24)经受在与转动圆筒部(32)转动的方向一致的方向上作用的转矩时，在槽(243)处发生破断。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：小龟正人，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：