【技术实现步骤摘要】
晶片研磨盘
本技术涉及晶片生产设备领域,具体是晶片研磨盘。
技术介绍
石英晶体是目前世界上用量最大的晶体材料,利用晶体本身具有的物理特性制造出的电子元器件,如石英晶体谐振器、晶体滤波器和石英晶体振荡器等。因其在频率端的稳定性特征作为频率基准或是作为频率源,在数字电路、电子产品及通讯设备领域均得到了广泛的应用。晶片的厚度加工精度要求非常高,一般都是通过研磨来获得的。现有的研磨机的研磨盘存在研磨时,研磨块与晶片接触力不均匀,导致晶片研磨质量不稳定,研磨效率低等缺点。
技术实现思路
针对上述不足,本技术的目的在于,提供研磨块与各位置的晶片接触力均匀,晶片研磨质量好,研磨效率高,适合大范围推广应用的晶片研磨盘。为实现上述目的,本技术提供以下技术方案:晶片研磨盘,包括盘体,盘体正中设置有与研磨机转轴匹配的轴孔,盘体内设置有与其同心的永磁铁圈,盘体上下表面均设置有若干晶片固定槽,盘体同一面的若干个晶片固定槽位于同一圆周上,盘体上下表面均设置有环形凹槽,环形凹槽位于晶片固定槽外侧且与盘体同心设置,环形凹槽内设置有研磨垫圈,研磨垫圈通过插销固定在环形凹槽内。进一步优化的方案,所述的盘体和 ...
【技术保护点】
1.晶片研磨盘,包括盘体,盘体正中设置有与研磨机转轴匹配的轴孔,其特征在于:盘体内设置有与其同心的永磁铁圈,盘体上下表面均设置有若干晶片固定槽,盘体同一面的若干个晶片固定槽位于同一圆周上,盘体上下表面均设置有环形凹槽,环形凹槽位于晶片固定槽外侧且与盘体同心设置,环形凹槽内设置有研磨垫圈,研磨垫圈通过插销固定在环形凹槽内。
【技术特征摘要】
1.晶片研磨盘,包括盘体,盘体正中设置有与研磨机转轴匹配的轴孔,其特征在于:盘体内设置有与其同心的永磁铁圈,盘体上下表面均设置有若干晶片固定槽,盘体同一面的若干个晶片固定槽位于同一圆周上,盘体上下表面均...
【专利技术属性】
技术研发人员:周朱华,王祖勇,
申请(专利权)人:嘉兴晶控电子有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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